(54) ПРИЗМЕННЫЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТР С ФСЖУСИРСВКОЙ ПО ЭНЕРГИИ Целью изобретени вл етс повышение разрешающей способности массспектрометра . Цель достигаетс тем, что в преа- лагаемом масс-спектрометре поверхности полюсов oтклof ющeгo магнитного элемента наклонены оруг по отношению к другу, так же как и поверхности электродов электростати ческих отклон ющих элементов, причем кра полюсов и электродов представл ют собой пр мые линии, сход щиес в одной точке. Поверхности полюсов отклон ющего магнита и поверхности электродов отклон ющих электростати ческих элементов лежат на плоскост х , пересекающихс по одной и той же пр мой, причем электрические и маг нитные элементы лежат по разные стороны от плоскости, проход щей через эту пр мую перпендикул рно к средней плоскости, а кра полюсов и электродо представл ют собой пр мые линии, пер секающиес в одной точке. Таким образом, электростатические элементы представл ют собой электростатические клиновидные линзы, а маг™ нитные - магнитные клиновидные линзы Последние отличаютс от магнитны 1пиновианых призм тем, что падающие ria них объемные параллельные пучки после отклонени в магнитном поле не сохран ют свою параллельность. Дв гранные углы между поверхност ми ма нитных полюсов и поверхност ми элект дов могут быть различны, но средние плоскости электростатических и магнитных клиновидных линз должны быть совмещены. В средней плоскости парал лельность падающего на всю систему отклон ющих элементов пучка сохран етс и после отклонени вследствие подоби траектории в электрических и магнитных пол х, образованных клиновидными электродами и полюсами. Маг нитный отклон ющий элемент создает дисперсию по массе. Сохранение парал лельности объемного пучка при заданной величине магнитного пол обеспечиваетс подбором потенциалов на эле дах клиновидных электростатических линз. Кроме того, клиновидные электр статические линзы обеспечивают фокусировку по энергии и увеличение дисперсии по массе, обусловленной магни ным элементом. Дл наиболее точной настройки масс-спектрометра целесооб 94 разно преаусмотроть в конструкции а- полнительные клиновидные ли)зы. На чертеже схематически изображен предлагаемый масс-спектрометр в про- акци х на среднюю плоскость xz и на перпендикул рную к ней плоскость .Масс-спектрсметр включает в себ источник 1 и приемник 2 ионов, колиматорную 3 и фокусирующую 4 ионные линзы, призму, состо щую из клиновидного магнитного отклон ющего элемента с полюснь1ми наконечниками 5, основных электростатических клиновидных линз с электродами 6, 7 и 6, 8 и дополнительных электростатических клиновидных линз с электродами 7, 9 и 8, 10. Ионный пучок, исход щий из каждой точки источника ионов, расположенного в фокалыюй плоскости коллиматорной линзы 3, преобразуетс последней в параллельный пучок, поступающий в призму, котора разлагает его в спектр по массам, осуществл одновременно его фокусировку по энергии и, сохран параллельность пучка ионов каждой массы на выходе из призмы. После прохождени призмы ионный пучок фокусируетс линзой на щель приемного устройства , через которую таким образом проход т ионы в узком интервале масс. Измен нешр жешюсть магнитного пол , можно сн ть зависимость количества ионов в пучке от их массы, т. е. получить спектр по массам. Расчеты на ЭВМ показали, чТо параметры предлагаемого масс-спектрометра , при которых его разрешающа способность близка к оптимальной, следующие . Двугранный угол между поверхност ми магнитных полюсов 5 , между поверхност ми электродов . Углы g , Jg и -Jj между кра ми электродов клиновидных линз равны 2О , 2О , и 80 соответственно. Углы V и V между биссектрисами углов V, и V и осью Z равны соответстве шо 2О и 4О, углова дисперси отклон ющего магнитного элемента DO 3,9, а линейна дисперси всего прибора равнаО 6{, что примерно в 2,5 раза превыщает линейную дисперсию прототипа . Соответственно будет больше и разрешающа способность предлагаемого масс-спектрометра. Ф о рмула изобретени Призменный масс-спектрометр с фо )к;усировкой по энергии, содержащий ис(54) PRESSURE MASS-SPECTROMETER WITH FSCUUSING ON ENERGY The aim of the invention is to increase the resolution of the mass spectrometer. The goal is achieved by the fact that in the mass spectrometer, the surface of the poles of the off-center magnetic element is inclined with respect to the friend, as well as the surfaces of the electrodes of the electrostatic deflecting elements, and the edges of the poles and electrodes are straight lines in one point. The surfaces of the poles of the deflecting magnet and the surfaces of the electrodes of the deflecting electrostatic elements lie on planes intersecting along the same straight line, with the electric and magnetic elements lying on opposite sides of the plane passing through this straight line the planes, and the edges of the poles and the electrodes are straight lines intersecting at one point. Thus, electrostatic elements are electrostatic wedge-shaped lenses, while magnetic ones are magnetic wedge-shaped lenses. The latter differ from magnetic pinwheel prisms in that the falling ria of these volume parallel beams do not retain their parallelism after deflection in a magnetic field. The double angles between the surfaces of the mantle poles and the surfaces of the electrodes may be different, but the middle planes of the electrostatic and magnetic wedge-shaped lenses must be combined. In the mid-plane, the parallelism of the beam incident on the entire system of deflecting elements is preserved even after deflection due to the similarity of the trajectory in the electric and magnetic fields formed by wedge-shaped electrodes and poles. The magnetic deflecting element creates a dispersion by mass. Maintaining the parallelism of the bulk beam at a given magnetic field is ensured by the selection of potentials at the electrodes of the wedge-shaped electrostatic lenses. In addition, wedge-shaped electrostatic lenses provide energy focusing and an increase in the mass dispersion caused by the magnet element. For the most accurate adjustment of the mass spectrometer, it is advisable to take a different look at the a-wedge-shaped lines in the design. The drawing shows schematically the proposed mass spectrometer in the projections onto the mean plane xz and perpendicular to it. The mass spectrum meter includes a source 1 and a receiver 2 ions, a colimetric 3 and a focusing 4 ion lenses, a prism consisting from a wedge-shaped magnetic deflecting element with pole tips 5, basic electrostatic wedge-shaped lenses with electrodes 6, 7 and 6, 8 and additional electrostatic wedge-shaped lenses with electrodes 7, 9 and 8, 10. The ion beam emanating from each point of the source and It is located in the focal plane of the collimator lens 3, the latter is converted into a parallel beam entering the prism, which decomposes it into a mass spectrum, simultaneously focusing it on energy and maintaining parallelism of the ion beam of each mass at the exit of the prism. After passing the prism, the ion beam is focused by a lens onto the slit of the receiving device, through which the ions thus pass in a narrow mass interval. By varying the magnetic field, it is possible to remove the dependence of the number of ions in the beam on their mass, i.e., to obtain a mass spectrum. Calculations on a computer showed that the parameters of the proposed mass spectrometer, at which its resolution is close to optimal, are as follows. The dihedral angle between the surfaces of the magnetic poles 5, between the surfaces of the electrodes. The angles g, Jg, and -Jj between the edges of the electrodes of the wedge-shaped lenses are 2O, 2O, and 80, respectively. The angles V and V between the bisectors of the angles V and V and the Z axis are equal to Sho 2O and 4O, the angular dispersion of the deflecting magnetic element is DO 3.9, and the linear dispersion of the entire device is O 6 {, which is approximately 2.5 times greater than linear prototype dispersion. Accordingly, the resolution of the proposed mass spectrometer will be greater. Formula of the invention Prism mass spectrometer with pho) k; energy measurement, containing