SU715962A1

SU715962A1 - Device for manufacturing specimans with oblique section by method of etching

Info

Publication number: SU715962A1
Application number: SU772478501A
Authority: SU
Inventors: Алмаз Рахманович Салманов; Альберт Николаевич Щелоков; Петр Иванович Кутовый; Виталий Васильевич Батавин
Original assignee: Предприятие П/Я Х-5476
Priority date: 1977-04-11
Filing date: 1977-04-11
Publication date: 1980-02-15

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ С КОСЫМ ИШИФОМ МЕТОДОМ ТРАВЛЕНИЯ,(54) DEVICE FOR THE MANUFACTURE OF SAMPLES WITH KOSYM ISCHIFOM BY THE ETCHING METHOD,

Устройство сострит из нижней емкости 1, держател 2, образца 3, укрепленного в емкости 1, дополнительной верхней емкости 4, размещенной над емкостью 1 на подставке 5, и трубки б, соедин ющей емкости 1 и 4.The device mocks from the lower container 1, the holder 2, sample 3 fixed in the container 1, the additional upper container 4 placed above the container 1 on the stand 5, and the tube b connecting the containers 1 and 4.

Емкости 1 и 4 и трубка б выполнены из фторопласта. с емкостью 1 трубка б соединена у ее основани , а в мкость 4 вхбдит через верхнюю ее часть и проходит до основани .Capacities 1 and 4 and tube b are made of fluoroplastic. With a capacitance 1, the tube b is connected at its base, and in capacitance 4 it passes through its upper part and passes to the base.

Емкости заполнены травителем, начальна точка травлени образца располагаетс на уровне травител ем-.; кости 1, а уровень травител емкости ,4 относительно уровн травител емкости 1 располагаетс на рассто нии определ емом по формуле (1).The containers are filled with an etchant, the initial point of etching of the sample is located at the level of the etchant; bone 1, and the level of the etchant of the tank, 4 relative to the level of the etchant of the container 1 is located at a distance determined by the formula (1).

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Дл получени косого шлифа на образце 3, установленном в держателе 2 в вертикальном положении, осуществл ют равномерное наполнение емкости 1 из емкости 4 травителем через трубку б, сообщающуй. оба сосуда. Емкость 4 установлена на подставке 5 относительно держател 2 образца 3 так, чтобы изменени уровней травител в емкост х 1 и 4 практич:ески не измен ли бы скорость наполнени емкости 1. Чтобы обеспечить йЛавнЪсть наполнени и исключить по вление р би на поверхностй травител в емкости 1 один конец трубки б подведен к ее основанию. При лнаполнении емкости травителем различные участки образца трав тс разное врем , .в результате чего угол скоса (наклона) получаемого шлифа зависит от соотношени скоростей травлени и наполнени емкости 1 травителем. Скорость травлени определ етс . составом травител . Скорость наполнени варьируетс в широком диапазоне значений изменением величины отношени площади основани .емкости 1 к поперечному се,чению соединительной трубки. Таким образом, при подборе соответствутоЩего состава травител и необходимой скорости наполнени можно получать косые шлифы с заданным углом наклона.To obtain an oblique cut on the sample 3 mounted in the holder 2 in a vertical position, the tank 1 from the tank 4 is uniformly filled with etchant through tube b, communicating. both vessels. The container 4 is installed on the stand 5 with respect to the holder 2 of sample 3 so that changing the levels of the herbalist in the containers 1 and 4 is practical: if you would not change the filling rate of the vessel 1. To ensure the filling and eliminate the appearance of the bi on the surface of the herbalist in the vessel 1 one end of the tube b brought to its base. When the container is filled with an etchant, different parts of the sample are etched at different times, as a result of which the bevel angle (slope) of the cut obtained depends on the ratio of the rates of etching and filling of the container 1 with an etchant. The etching rate is determined. the composition of the herbalist. The filling rate varies in a wide range of values by varying the value of the ratio of the base area of the capacitance 1 to the cross section of the connecting tube. Thus, when selecting the appropriate composition of the herbalist and the required filling rate, it is possible to obtain oblique sections with a given angle of inclination.

Поскольку скорость травител (V ) неизменна, а высота расположени сосуда с травителем такова, что наполнение травителем сосуда с образцом можно считать равномерным, , то дл оценки минимального угла наклона косого шлифа можно получить:Since the velocity of the etchant (V) is unchanged, and the height of the vessel with the etchant is such that the etching of the vessel with the sample can be considered uniform, then to estimate the minimum angle of inclination of the slanting section you can get:

(г-)(g-)

&гЩ & GSH

Таким образом, при заданной величине угла наклона шлифа ос из вы (2) определ етс значение НThus, for a given value of the angle of inclination of the polished section of the axis of (2), the value of H is determined.

. /S.V. . /S.V.

Н iJrH iJr

(3)(3)

с учетом в- зкости и трени травител 5 при течении по трубке 6 равенство (3) примет вид:taking into account the viscosity and friction of the hermiter 5, with flow through pipe 6, equality (3) takes the form

H.L/h: ...H.L / h: ...

g Urteocj (1g Urteocj (1

откудаfrom where

,l/rgH (5), l / rgH (5)

где d - толщина эпитаксиального сло where d is the thickness of the epitaxial layer

U - длина участка образца. При этом зна толщину эпитаксие ального сло d, исходное соотношение5 ,/8т может быть ь выбрано так, чтобы на фиксированной длине i получить косой шлиф с четкой границей раздела слой-подложка. Данна граница служит контрольной точкой или началом отсчета при различных исследовани х , в частности при концентрационных измерени х эпитаксиальных структур или при измерении толщины эпитаксиального сло .U is the length of the sample. With this, the thickness of the epitaxial layer d, the initial ratio 5, / 8m can be chosen so that at a fixed length i, we obtain an oblique cut with a clear boundary between the layer and the substrate. This boundary serves as a reference point or starting point for various studies, in particular for concentration measurements of epitaxial structures or for measuring the thickness of an epitaxial layer.

Перед изготовлением косых шлифов поверхность подложки и часть поверхности зпитаксиальнОго сло образцов покрывают химически стойким лаком. Это, с одной стороны, уменьшает истощение травител , а с другой дает воз можность сопоставить исходную и стравленную поверхности образца.Before making oblique thin sections, the surface of the substrate and part of the surface of the outer layer of the samples are coated with a chemically resistant lacquer. On the one hand, this reduces the depletion of the etchant, and on the other, it makes it possible to compare the initial and etched surfaces of the sample.

Claims

Invention Formula

A device for making samples with an oblique thin section by etching, including a container filled with an etchant, and a sample holder, characterized in that, in order to improve the quality of the surface of the section and ensure the linearity of its profile, it is provided with an additional container located above the first one,

filled with pickle; and a tube connecting the container, the sample being placed at the level of the etchant of the lower container, and the distance between the levels of the etchant in the containers is determined by

formula

.f 2g (s, tg4

where g is the acceleration of free fall Sg is the base area of the lower tank,

S, is the area of the tube section, Vj is the velocity of the herbalist. tilt value

shlifa.

Sources of information taken into account in the examination 1. Journal of the Factory Laboratory, 7, 1972, p. 823-824.

J

/