Claims (2)
ПЛАСТИНЫ На чертеже показана схема одного из вариантов эллипсометра - эллипсометра с четвертьволновым компенсатором Сенармона. Эллипсометр содержит источник излу чени 1, пол ризатор 2, исследуемую фазовую пластину 3, четвертьволновый компенсатор Сенармона 4, модул тор 5, анализатор б, фоторегистрирующую систему 7. Пример. На пути светового луча источника 1 устанавливают пол ризатор 2 и анализатор 6. Анализатор б вращают до получени на его выходе минимального светового сигнала. В ход луча Между пол ризатором 2 и анализатором б ввод т четвертьволновый компенсатор 4 так, чтобы его оптическа ось совместилась с направлением пропускани пол ризатора 2 (илианализатора б). При этом сигнал на выходе анализатора б минимален. За пол ризатором 2 нормально к лучу света устанавливают исследуемую фазовую пластину 3 так, чтобы ее, оптическа Ось составл ла угол 45 с направлением пропускани пол ризатора 2. АналиЗЛ .ТОР б поворачивают на азимут до получени на его выходе минимального сигнала. Затем фазовую пластину 3 наклон ют относительно падающего луча И одновременно поворачивают анализатор б до получени ближайщйх экстремумов азимута т (fnin ) и вычис л ют истинное значение разности фаз Выполн контроль фазовых пластин предлагаемым способом, можно повысит точность измерени на 1,5-2 пор дка. Экспериментальные исследовани этого способа с помощью прибора сХема которого изображена на чертеже, показали, что точность измерени разности фаз Сможет составл ть 0,1 и лучще. Предлагаемый способ рекомендован к внедрению в производство фазовых пластин . Формула изобретени Способ эллипсомётрическогО контрол фазовой пластины, заключающийс в освещении фазовой пластины, установленной между скрещенными пол ризатором и анализатором эллипсометра, компенсации разности фаз, вносимой пластиной , с помощью четвертьволнового компенсатора и измерении интенсивности света на выходе анализатора, о тличающийс тем, что, с целью повыщени точности контрол , фазовую пластину периодическинаклон ют в плоскости падени светового луча , измер ют экстремальные значени интенсивности света на выходе анализатора и по ним суд т о толщине фазовой пластины. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Ржанов А. В. и др. Эллипсометрические методы контрол в микроэлектронике . - Микроэлектроника, 1975, 4, 1, с. 3-23. PLATES The drawing shows a diagram of one of the variants of an ellipsometer - an ellipsometer with a quarter-wave compensator Senarmon. The ellipsometer contains a radiation source 1, a polarizer 2, a phase plate 3 under investigation, a Senarmon 4 quarter-wave compensator, a modulator 5, an analyzer b, a photo-recording system 7. Example. In the path of the light beam of source 1, a polarizer 2 and an analyzer 6 are installed. The analyzer b is rotated until a minimum light signal is received at its output. Between the polarizer 2 and the analyzer b, a quarter-wave compensator 4 is inserted into the beam path so that its optical axis is aligned with the transmission direction of the polarizer 2 (or analyzer b). The signal at the output of the analyzer b is minimal. Behind Polarizer 2, the phase plate 3 under investigation is normally set to a beam of light so that its optical axis is at an angle of 45 with the polarizer 2 passing direction. Analyze the T-switch b is turned to azimuth until the minimum signal is received at its output. Then the phase plate 3 is tilted relative to the incident beam. At the same time, the analyzer b is turned to obtain the nearest extremums of azimuth τ (fnin) and the true value of the phase difference is calculated. By checking the phase plates by the proposed method, the measurement accuracy can be increased by 1.5-2 times . Experimental studies of this method using an instrument whose Scheme is shown in the drawing showed that the accuracy of measuring the phase difference can be 0.1 and better. The proposed method is recommended for implementation in the production of phase plates. The invention The method of ellipsometric control of a phase plate, which consists in illuminating a phase plate installed between a crossed polarizer and an ellipsometer analyzer, compensating the phase difference introduced by the plate with a quarter-wave compensator and measuring the intensity of light at the analyzer output, which is increase the accuracy of control, the phase plate is periodically inclined in the plane of incidence of the light beam, the extreme values of the light intensity are measured de analyzer and it is judged on the thickness of the phase plate. Sources of information taken into account in the examination 1.Rzhanov A.V. and others. Ellipsometric control methods in microelectronics. - Microelectronics, 1975, 4, 1, p. 3-23.
2.Авторское свидетельство СССР № 345421, кл. G 01 N 21/40, 21.05. 1970.2. USSR author's certificate number 345421, cl. G 01 N 21/40, 21.05. 1970.