SU670991A1 - Spherical aberration-corrected optronic device - Google Patents

Spherical aberration-corrected optronic device

Info

Publication number
SU670991A1
SU670991A1 SU772527565A SU2527565A SU670991A1 SU 670991 A1 SU670991 A1 SU 670991A1 SU 772527565 A SU772527565 A SU 772527565A SU 2527565 A SU2527565 A SU 2527565A SU 670991 A1 SU670991 A1 SU 670991A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
spherical aberration
corrected
optronic device
optronic
middle electrode
Prior art date
Application number
SU772527565A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Игорь Алексеевич Петров
Original Assignee
Ордена Ленина Физико-Технический Институт Им. А.Ф.Иоффе
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Ленина Физико-Технический Институт Им. А.Ф.Иоффе filed Critical Ордена Ленина Физико-Технический Институт Им. А.Ф.Иоффе
Priority to SU772527565A priority Critical patent/SU670991A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU670991A1 publication Critical patent/SU670991A1/en

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

получение отрицательной сферической аберрации ширины изображени  при его формировании в заданном направлении. Дл  этого следует средний электрод линзы расположить так, чтобы направление, в котором выт нуто его отверстие, совпадало с выбранным направлением фокусировки, а крайние электроды были соединены с полюсом источника питани , знак которого совпадает со знаком зар женных частиц. Средний электрод при этом соединен с точкой делител .obtaining negative spherical aberration of the image width when it is formed in a given direction. For this, the middle electrode of the lens should be positioned so that the direction in which its aperture extends coincides with the chosen focusing direction, and the extreme electrodes are connected to the pole of the power source, the sign of which coincides with the sign of charged particles. The middle electrode is connected to the splitter point.

Следует отметить, что форма отверсти  среднего электрода может отступать от пр моугольной .It should be noted that the hole shape of the middle electrode may recede from the rectangular one.

Пучок зар женных частиц, папример электронов, расположенный на оптической оси Z, попадает под действие пол  линзы. Осесимметрична  составл юща  слабо фокусирует электроны во всех направлени х, и основное воздействие на пучок оказывает квадрупольна  составл юща  пол , более сильна  по своей природе. Она фокусирует пучок в направлении оси X и рассеивает в направлении оси У. Октупольна  составл юща  при этом дает положительную величину сферической аберрации ширины линейного изображени .A beam of charged particles, for example electrons, located on the optical axis Z, is affected by the field of the lens. The axisymmetric component weakly focuses the electrons in all directions, and the quadrupole component is the main influence on the beam, which is stronger in nature. It focuses the beam in the direction of the X axis and scatters in the direction of the W axis. The Octopole component thus gives a positive spherical aberration of the width of the linear image.

Использование предлагаемого устройства позвол ет улучщить качество создаваемого им изображени  за счет уменьшени  дополнительных аберраций, св занных с неточностью юстировки, более точно выполнить юстировку и значительно облегчить сам процесс юстировки.The use of the proposed device improves the quality of the image it creates by reducing the additional aberrations associated with the inaccuracy of the alignment, more accurately aligning and greatly facilitating the alignment process itself.

Claims (2)

1.Кельман В. М., Явор С. Я. Электронна  оптика. Л., «Наука, 1968.1. Kelman VM, Yavor S. Ya. Electron Optics. L., “Science, 1968. 2.Авторское свидетельство СССР № 516316, кл. Н 01J 29/56, 1975.2. USSR author's certificate number 516316, cl. H 01J 29/56, 1975.
SU772527565A 1977-09-29 1977-09-29 Spherical aberration-corrected optronic device SU670991A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772527565A SU670991A1 (en) 1977-09-29 1977-09-29 Spherical aberration-corrected optronic device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772527565A SU670991A1 (en) 1977-09-29 1977-09-29 Spherical aberration-corrected optronic device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU670991A1 true SU670991A1 (en) 1979-06-30

Family

ID=20726207

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772527565A SU670991A1 (en) 1977-09-29 1977-09-29 Spherical aberration-corrected optronic device

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU670991A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4443736A (en) * 1981-09-23 1984-04-17 Rca Corporation Electron gun for dynamic beam shape modulation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4443736A (en) * 1981-09-23 1984-04-17 Rca Corporation Electron gun for dynamic beam shape modulation

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB1426359A (en) Microbeam probe apparatus
JPS6290839A (en) Ion microbeam device
KR890012346A (en) Color cathode ray tube
GB1490496A (en) Raster scanning ion microscope with quadrupole mass filte
JPH0447944B2 (en)
SU670991A1 (en) Spherical aberration-corrected optronic device
GB1364930A (en) Microscope employing a beam of chargedparticles
SU654979A1 (en) Electrostatic lens
JP5934517B2 (en) Chromatic aberration corrector and control method for chromatic aberration corrector
JPS5760648A (en) Electron microscope
SU1732392A1 (en) Cathode-ray device
SU1048533A1 (en) Apparatus for aberration correction
KR870000281B1 (en) Electron-gun for a c.r.t.
SU1048532A1 (en) Optronic device with aberration correction
SU920892A1 (en) Optronic device with corrected spheric aberration
SU44867A1 (en) Electron-optical system
SU519790A1 (en) Electron microscope objective lens unit
SU936087A1 (en) Optronig device
SU632262A1 (en) Electronic optical device with abberation correction
SU600638A1 (en) Double-stage electrostatic energy analyzer
SU853702A1 (en) Optronic system
SU999124A1 (en) Electronic astigmatic tubular lens
SU928463A1 (en) Optronic system
RU96116893A (en) OPTICAL SPEAKER FOR PARTICLE RADIATION
JPS62108442A (en) Electrostatic lens