Изобретение относитс к электронньом линзам дл фокусировки пучков зар женных частиц и может быть использовано в различных электроннооптических приборах, например электроннолучевых трубках, спектрометрах, микроскопах.The invention relates to electron lenses for focusing charged particle beams and can be used in various electron-optical devices, such as electron beam tubes, spectrometers, microscopes.
Известна электронна астигматична линза, содержаща набор плоскопараллельных электродов с отверсти ми , имеющими две плоскости симметрии, например, пр моугольной формы, повернутых поочередно на 90, так называема скрещённа линза, линза котора способна создавать астигматичное изображение со скорректированной сферической аберрацией 1.A known astigmatic lens contains a set of plane-parallel electrodes with apertures having two symmetry planes, for example, a rectangular shape, alternately turned 90, a so-called crossed lens, a lens that is capable of creating an astigmatic image with corrected spherical aberration 1.
Недостатком скрещенной линзы вл етс невысока светосила. Минимально возможное соотношение Сторон отверстий в электродах линзы лежит примерно в пределах от 1,6 до 2,0. При этом очевидно, что отношение апертуры скрещенной линзы к ее наружному размеру не может быть выполнено больше , чем примерно 0,6.The disadvantage of a crossed lens is a low aperture ratio. The minimum possible ratio of the parties to the holes in the lens electrodes is approximately in the range from 1.6 to 2.0. It is obvious that the ratio of the aperture of the crossed lens to its outer size cannot be performed more than about 0.6.
Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой вл етс электронна астигматична трубчата линза, содержаща два изолированныхThe closest in technical essence to the present invention is an electron astigmatic tubular lens containing two isolated
электрода цилиндрической формы, обращенные друг к другу кра которых имеют выступы и вырезы, образованные лини ми пересечени двух цилиндрических поверхностей (электродной системы и секущего.цилиндра). Поле трубчатой Линзы образовано суперпозицией квадрупольной, осесимметричной и октупольной составл ющих.Труб10 чата Линза создает линейное изображение точечного предмета, причем сферическа аберраци ширины этого изображени может быть обращена в нуль. Линза светосильна, отношение ее апер15 туры к наружному размеру ее электродов практически равно 1 2.a cylindrical electrode facing each other whose edges have protrusions and cuts formed by the intersection lines of two cylindrical surfaces (the electrode system and the secant cylinder). The field of a tubular lens is formed by the superposition of quadrupole, axisymmetric and octupole components. The chat tube Lens creates a linear image of a point object, and the spherical aberration of the width of this image can be turned to zero. The lens is fast, its aperture ratio to the outer size of its electrodes is almost equal to 1 2.