SU936087A1 - Optronig device - Google Patents
Optronig device Download PDFInfo
- Publication number
- SU936087A1 SU936087A1 SU802999577A SU2999577A SU936087A1 SU 936087 A1 SU936087 A1 SU 936087A1 SU 802999577 A SU802999577 A SU 802999577A SU 2999577 A SU2999577 A SU 2999577A SU 936087 A1 SU936087 A1 SU 936087A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- optronig
- electron
- elements
- focusing
- charged particles
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
() ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО() ELECTRON-OPTICAL DEVICE
II
Изобретение относитс к электрон но-оптическим устройствам дл фокусировки и отклонени пучков зар женных частиц и может быть использовано в различных электронно-оптических приборах.The invention relates to electron-optical devices for focusing and deflecting beams of charged particles and can be used in various electron-optical devices.
Известно устройство, обеспечивающее одновременную (|юкусировку и отклонение пучков зар женных частиц, содержащее дефлектрон, электроды которого св заны как с источником отклон ющего напр жени так и фокусирующего l ЗНедостатком этого устройства в летс невысокое качество изображени из-за наличи симметричных анизотропных аберраций, св занных с наличием краевого пол , содержащего кроме осесимметричной составл ющей составл ющую с четырехкратной симметрией.It is known a device that provides simultaneous (| clipping and deflection of charged particle beams, containing a deflectron, the electrodes of which are connected both to the source of the deflecting voltage and focusing). with the presence of an edge field containing, in addition to the axisymmetric component, a component with fourfold symmetry.
Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению влсетс электронно-оптическое устройство , содержащее скрещенную линЗУ , ПО крайней мере, из трех элементов , крайние из которых выполнены в виде пластин, расположенных перпендикул рно оптической оси и имеющих отверсти с двум плоскост ми симметрии . Элементами линзы вл ютс пластины-с пр моугольными отверсти ми , поочередно повернутыми на 90 относительно электронно-оптической оси. Скрещенна линза обеспечивает The closest technical solution to the invention of the invention is an electron-optical device containing a crossed lens, with at least three elements, the outermost of which are made in the form of plates that are perpendicular to the optical axis and have holes with two symmetry planes. The lens elements are plates-with rectangular apertures, alternately rotated by 90 relative to the electron-optical axis. Crossed lens provides
1в высококачественную фокусировку, а ее элементы конструктивно просты и технологичны .1c high-quality focus, and its elements are structurally simple and technological.
Недостатком известного устройства вл етс невозможность отклонени A disadvantage of the known device is the impossibility of deviating
15 пучка зар женных частиц без применени дополнительных отклон ющих элементов .15 beams of charged particles without the use of additional deflecting elements.
Цель изобретени - обеспечение одновременной фокусировки и отклоне20 ни пучка зар женных частиц.The purpose of the invention is to provide simultaneous focusing and deflection of a beam of charged particles.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802999577A SU936087A1 (en) | 1980-11-03 | 1980-11-03 | Optronig device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802999577A SU936087A1 (en) | 1980-11-03 | 1980-11-03 | Optronig device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU936087A1 true SU936087A1 (en) | 1982-06-15 |
Family
ID=20924308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU802999577A SU936087A1 (en) | 1980-11-03 | 1980-11-03 | Optronig device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU936087A1 (en) |
-
1980
- 1980-11-03 SU SU802999577A patent/SU936087A1/en active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Klemperer et al. | Electron optics | |
| JPS6290839A (en) | Ion microbeam device | |
| GB1426359A (en) | Microbeam probe apparatus | |
| US2070319A (en) | Apparatus for influencing the character of electron rays | |
| GB1594431A (en) | Flat panel display with beam injection cleanup | |
| US2580675A (en) | Correction device for microscopes of the reflection mirror type | |
| SU936087A1 (en) | Optronig device | |
| DE255981T1 (en) | OPTICAL SYSTEM FOR LOADED PARTICLES WITH DEVICE FOR CORRECTING THE ABERRATION. | |
| JPS60146430A (en) | Colro video tube | |
| KR950027891A (en) | Color cathode ray tube | |
| JPS63121237A (en) | Laminar electron gun for light valve | |
| JPS6381739A (en) | Deflector for schilieren dark view type light valve projector | |
| US2850669A (en) | Television picture tube or the like | |
| TW393659B (en) | Color picture tube | |
| SU980190A1 (en) | Optronic device | |
| US3558879A (en) | Electrostatic deflector for selectively and adjustably bending a charged particle beam | |
| SU999124A1 (en) | Electronic astigmatic tubular lens | |
| SE7607348L (en) | DEVICE FOR HIGH FREQUENCY FOCUSING OF A RAY OF PARTICLES ACCELERATED IN A CYCLOTRON TYPE ACCELERATOR | |
| SU1436148A2 (en) | Power analyzer with electrostatic mirror | |
| SU408393A1 (en) | ELECTROSTATIC FOCUSING SYSTEM | |
| SU619984A1 (en) | Magnetic focusing system | |
| JP2856518B2 (en) | Ex-B type energy filter | |
| SU693478A1 (en) | Electron-optical system | |
| JPS61277141A (en) | Magnetic field type energy filter | |
| GB1223979A (en) | A tube for recording rapid light variations |