SU619984A1 - Magnetic focusing system - Google Patents
Magnetic focusing systemInfo
- Publication number
- SU619984A1 SU619984A1 SU762421552A SU2421552A SU619984A1 SU 619984 A1 SU619984 A1 SU 619984A1 SU 762421552 A SU762421552 A SU 762421552A SU 2421552 A SU2421552 A SU 2421552A SU 619984 A1 SU619984 A1 SU 619984A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- focusing system
- magnetic focusing
- magnetic
- quadrupole
- coils
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
(54) МАГНИТНАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ СИСТЕМА(54) MAGNETIC FOCUSING SYSTEM
Изобретение относитс к электронной оптике , в частности к магнитным линзам и системам из них, и может быть использовано дл улучшени качества изображени и повышени интенсивности пучков в приборах и устройствах, использующих электронные и ионные пучки.The invention relates to electron optics, in particular, magnetic lenses and systems thereof, and can be used to improve image quality and increase the intensity of beams in devices and devices using electron and ion beams.
Известна конструкци магнитного совмещенного квадрупольно-октупольного элемента , с регулируемой аберрацией третьего пор дка, состо тс из восьми полюсов. Причем два расположенные р дом октупольные полюса используютс одмовре.менно как один квадрупольный полюс 1.The known construction of a magnetic aligned quadrupole-octupole element, with adjustable third-order aberration, consists of eight poles. Moreover, two octupole poles located in a row are used on the same time as one quadrupole pole 1.
. Однако из-за больших трудностей при изготовлении и настройке такие системы до сих пор не нашли применени в промышленности .. However, due to the great difficulties in manufacturing and setting up such systems have not yet found application in industry.
Известна также магнитна фокусируюша система, содержаща , ао крайней мере, одну магнитную квадрупольную линзу, соето шую из рма, четырех иолюсов, расположенных симметрично относительно взаимно перпендикул рны плоскостей, проход щих через оптическх ю ось линзы, с катушкой на каждом полюсе 2.A magnetic focusing system is also known, containing at least one magnetic quadrupole lens, which is made of a roma, of four poles arranged symmetrically relative to mutually perpendicular planes passing through the optical axis of the lens, with a coil at each pole 2.
Недостатком известной системЬ1 вл етс наличие неустранимых геометрических аберраций третьего пор дка и, в первую очередь, сферической. Эти аберрации ухудшают качество изображени , создаваемого электронно-оптической системой, и не дают воз.можности использовать широкие пучки зар женных частиц.A disadvantage of the known system is the presence of irremovable third-order geometric aberrations and, in the first place, spherical aberrations. These aberrations degrade the image quality created by the electron-optical system and do not allow the use of wide beams of charged particles.
Целью изобретени вл етс повышение эффективности использовани пучка зар женных частиц и улучшение качества создаваемого системой изображени .The aim of the invention is to increase the efficiency of using a beam of charged particles and to improve the quality of the image created by the system.
Это достигаетс тем, что в предлагаемой систе.ме на рме симметрично относительно взаимно перпендикул рных плоскостей расположены две группы катушек по четыре в каждой, причем катушки первой группы р з 1сщс1Ц11 посередине между полюсуми квадрупольной линзы, а катушки второй группы - между катушками первой, при этом катушки каждой группы соединены согласно, а по отношению к другой группе - встречно.This is achieved by the fact that in the proposed system, two groups of coils, four in each, are symmetrically relatively mutually perpendicular to the planes, with the coils of the first group between 1 coils of the quadrupole lens, and In this case, the coils of each group are connected according to, and in relation to the other group - counter.
Кажда катушка второй группi i состоит из двух идентичных секций, си.мметрично расположенных по обе стороны полюса.Each coil of the second group i consists of two identical sections, symmetrically located on both sides of the pole.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762421552A SU619984A1 (en) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Magnetic focusing system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762421552A SU619984A1 (en) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Magnetic focusing system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU619984A1 true SU619984A1 (en) | 1978-08-15 |
Family
ID=20683409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762421552A SU619984A1 (en) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Magnetic focusing system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU619984A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2623578C2 (en) * | 2015-02-20 | 2017-06-28 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) | Device for turning the electron beam for electron beam technologies |
-
1976
- 1976-11-19 SU SU762421552A patent/SU619984A1/en active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2623578C2 (en) * | 2015-02-20 | 2017-06-28 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) | Device for turning the electron beam for electron beam technologies |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2919381A (en) | Electron lens | |
| US4389571A (en) | Multiple sextupole system for the correction of third and higher order aberration | |
| US5126565A (en) | Energy filter for charged particle beam apparatus | |
| JPH11509972A (en) | Correction device for lens aberration correction of particle optics | |
| US20040144920A1 (en) | Energy filter and electron microscope | |
| GB1364930A (en) | Microscope employing a beam of chargedparticles | |
| JP2007280966A (en) | Electrooptic lens system | |
| SU619984A1 (en) | Magnetic focusing system | |
| US3781732A (en) | Coil arrangement for adjusting the focus and/or correcting the aberration of streams of charged particles by electromagnetic deflection, particularly for sector field lenses in mass spectrometers | |
| JP2007266003A (en) | Aberration corrector | |
| ES479316A1 (en) | High potential, low magnification electron gun | |
| JPS5894745A (en) | Multipole lens | |
| SU1075329A1 (en) | Electron achromatic lens | |
| SU408393A1 (en) | ELECTROSTATIC FOCUSING SYSTEM | |
| SU147261A1 (en) | Four pole magnetic lens | |
| SU1048533A1 (en) | Apparatus for aberration correction | |
| JPS57176647A (en) | In-line-type three-beam electron gun | |
| SU980190A1 (en) | Optronic device | |
| US3173005A (en) | Magnetic objective lens for an electron microscope | |
| SU723980A1 (en) | Prismatic magnetic mass-spectrometer | |
| US4763003A (en) | Method and apparatus for correcting high-order abberations in particle beams | |
| SU873307A1 (en) | Mass spectrometer | |
| SU790035A1 (en) | Method of obtaining image in electron-optical system | |
| SU999124A1 (en) | Electronic astigmatic tubular lens | |
| SU131417A1 (en) | Focusing device |