SU790035A1

SU790035A1 - Method of obtaining image in electron-optical system

Info

Publication number: SU790035A1
Application number: SU782687872A
Authority: SU
Inventors: Николай Григорьевич Румянцев; Александр Алексеевич Зайцев
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4937
Priority date: 1978-07-14
Filing date: 1978-07-14
Publication date: 1980-12-23

Description

retyccoBoii фокусировки обеими линзами точечного источника, изображение его в этом случае имеет вид штриха. Это уменьшает общую разрешающую способность , а также приводит к уменьшению плотности тока в п тне, поскольку площадь п тна оказываетс большей, чем в том случае, когда точечный источник отображаетс фокусирующей системой в точку.retyccoBoii focusing with both lenses of a point source, its image in this case has the appearance of a stroke. This reduces the overall resolution and also leads to a decrease in the current density in the spot, since the spot area is larger than when the point source is mapped to the point by the focusing system.

Цель изобретени - повышение разрушающей способности.The purpose of the invention is to increase the destructive capacity.

Указанна цель достигаетс тем, что сфокусированный первой линзой пучок поворачивают против вращени изображени , создаваемого второй лизой , на угол, пр мо пропорциональны рассто нию от точечного источника до второй линзы.This goal is achieved by rotating the beam, focused by the first lens, against the rotation of the image created by the second lysis, by an angle that is directly proportional to the distance from the point source to the second lens.

На фиг. 1 представлена схема ЭОС продольное сечение,, на фиг. 2 - тоFIG. 1 is a diagram of the EOS longitudinal section, fig. 2 - then

поперечное сечение.cross section.

же,same

ЭОС содержит катод 1, модул тор 2, ускор ющий электрод 3, электрически соединенный с парой параллельных пластин 4, которые образуют первую цилиндрическую электроакустическую линзу 5 совместно с пластинами 6. цилиндрической линзой вл етс электромагнитна катушка 7. Шюркость симметрии электростатической линзы 5, вл юща с в частном случае и плоскостью, относительно которой фокусируют пучок 8 электронов на выходе первой линзы, повернута относительно вертикали плоскости симметрии магнитной линзы 7 на угол У .EOS contains a cathode 1, a modulator 2, an accelerating electrode 3, electrically connected to a pair of parallel plates 4, which form the first cylindrical electroacoustic lens 5 together with the plates 6. The cylindrical lens is an electromagnetic coil 7. The syrupness of symmetry of an electrostatic lens 5, which is c in a particular case, and the plane relative to which the beam of electrons 8 is focused at the output of the first lens is rotated relative to the vertical of the plane of symmetry of the magnetic lens 7 at an angle Y.

Способ фокусировки осуществл етс следующим образом.The focusing method is as follows.

В иммерсионном объективе, образованном катодом, модул тором и ускор ющим электродом формируетс аксиально-симМетричный расход щийс пучок 8 электронов. Далее этот пучок попадает в область действи электростатической линзы 5 и фокусируетс этой лииаой на экране в штрих, который повернут на угол Ч от вертикали к плоскости симметрии магнитной линзы . Затем пучок попадает в одинарную магнитную инзу, котора осуществл ет окончательную фокусировку пучка на экране.In an immersion lens formed by a cathode, a modulator and an accelerating electrode, an axially symmetric diverging beam of 8 electrons is formed. Further, this beam falls into the area of action of the electrostatic lens 5 and is focused by this line on the screen into a stroke, which is turned by the angle H from the vertical to the plane of symmetry of the magnetic lens. Then the beam enters a single magnetic incu, which realizes the final focusing of the beam on the screen.

При наличии указанного угла разворота магнитной линзы по ходу вращени изображен 1 1 в ней, пучок на экране фокусируетс в виде эллипса с ос ми, пропорЦ111М1альными коэффициентам линейного увеличени соответствующих линз. Точечный же источник электронов в этом с.пучае отображаетсIf the indicated angle of rotation of the magnetic lens is shown in the course of rotation, 1 1 in it, the beam on the screen is focused in the form of an ellipse with axes proportional to the linear magnification coefficients of the corresponding lenses. The point source of electrons is displayed in this section.

на экране в точку.on the screen to a point.

|.|.

Угол разворота отсчитываетс от вертикали к продольной плоскости симметрии магнитной линзы против вращени изображени в этой линзе. Вращение изображени , обусловленное магнитной линзой, происходит по часовой стрелке на угол - (фиг. 2).The rotation angle is counted from the vertical to the longitudinal plane of symmetry of the magnetic lens against the rotation of the image in this lens. The rotation of the image, due to the magnetic lens, occurs clockwise through the angle - (Fig. 2).

В качестве первой цилиндрической линзы используетс электростатическа линза либо магнитна и виде посто нного магнита, либо магнитна в виде многосекционной катушки со встречно включенными секци ми. В этом случае плоскость, относительно которой фокусируетс пучок, и плоскости симметрии линз совпадают,As the first cylindrical lens, an electrostatic lens is used, either magnetic and in the form of a permanent magnet, or magnetic in the form of a multi-section coil with counter-connected sections. In this case, the plane relative to which the beam is focused and the planes of symmetry of the lenses coincide,

5 т. е. линзы развернуты одна относительно другой от угла в 90 строго на величину угла разворота Ч .5 ie, the lenses are turned one relative to another from an angle of 90 strictly by the magnitude of the angle of rotation H.

Если же перва цилиндрическа линза выполнена в виде одинарной элек (J тромагнитной катушки, то необходимо учитывать поворот изображени , который имеет место в первой линзе.If the first cylindrical lens is made in the form of a single elec- tron (J) of a magnetic coil, then the rotation of the image that takes place in the first lens must be taken into account.

Технико-экономический эффект изобретени заключаетс в повышении разрушающей способности электроннолучевых приборов. При этом уменьшаетс мощность, необходима дл создани требуемой напр женности фокусирующего пол по сравнению с известными способами, где необходимо использование, по крайней мере, двойной фокусирующей катушки со встречным включением токов в секци х.The technical and economic effect of the invention is to increase the destructive ability of electron beam devices. This reduces the power required to create the required strength of the focusing field in comparison with known methods, where it is necessary to use at least a double focusing coil with counter-current in the sections.

Claims

1.Lubszynry N. G. Nevj atE5 electrostatic vidiro.n, Proc.T. EE, V. 116, No. 3, p. 339, 1969.

2, USSR Copyright Certificate No. 2549557 / 18-25,

CL, H 01 J 29/48, 05,12.77 (prototype),

1

FIG. 2