SU664496A1 - Интерференционный способ измерени клиновидности прозрачных пластин - Google Patents

Description

(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ КЛИНОВИДНОСТИ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛАСТИН

дел етс  выражени ми учитьтающими иренцию лучей:

И-П ,.

.v-oos2d ZltencosdL

о - Z.)

Ч

;Т

/ncoc,d.o-cosd

hcosdQ-tCosA где 5 - угол относительного изменени  фазы при одном прохождении луча через . пластину; г - коэффициент отражени  от одной гра Е - толщина пластины; п - показатель преломлени  пластины; X - длина волны; Oj и а, - углы, образованные лучом и нормйл но к пластине, соответстаенно в возд хе и в веществе пластины. Если величины этих углов не превышают несколько градусов, то с достаточной степенью /h-1 точности можно прин ть Г() . (4) из выражени  (1) следует, что коэффициент .пропускани  Т  вл етс  периодической функц ей угла 5 и достигает максимального (TjYica -Г±Г-Т и минимального , ; 11И -( значений при jnie S равном, соответственно Itlfl и 1t(vrH |) где m - целое число. Результирующий коэффициент пропускани  находитс  путем интегрировани  по поперечному сечению пучка irT3Cx J 3Kds V / . где , W - суммарна  мощнос1ъ в пучке ; К(х,у) - плотность мощности в точке с поперечными координатами х и у; Т - коэффициент пропускани  пластин в этой точке, определ емый с помощью выражений (1, 2), с учетом того, что e-.(6) fo - толщина Ш1асти 1ы в центре пучка; у - клиновидность в рад. Из выражений (1, 2, 5,6) следует, что при небольшой клиновидности величина Т такж обнаруживает интерференционные изменени , причемTS mot X получаетс  при Л аТ,,,при ,(,.±,.

При изменении клиновидиости отношение этих величин измен етс  в пределах

()2

53 max

й

Т,

smm

Использу  выражени  1, 2, 5, 6 можно доказать, что в случае лазерного пучка с осевой

I м

S Умах.

симметрией

(7)

,(r),

Т.

Claims (1)

1. S miH т.е. указанное отношение  вл етс  функцией приведенной клиновидности Г Х (d - диаметр пучка, К - длина волиы;, причём, показатель преломлени  п пластины служит парамет- , ром этой функции. Вид функции f (Т) определ етс  распределением интенсивности в лазерном пучке и может быть рассчитан с помощью выражени  (5). Дл  получени  воспроизводимых результатов целесообразно использовать лазерные пучки с гауссовским или равномерным распределени ми интенсивности (последний можно получить путем диафрагмировани  расширенного многомодового лазерного пучка). Дл  гауссовского пучка функци  i (Г) имеет вид -It-n Hrt-) |( ) . Полученна  функциональна  зависимость используетс  при измерении клиновидности гауссовским пучком. Измерение осуществл етс  в следующем пор дке ..; Плавно отклон   исследуемую пластину с помощью БИНТОВОГО устройства отсчитывают максимальное и минимальное показани  регистрирующего прибора, а затем, зна  отнощение этих показаний;, наход т из графика величину клиновидности у. Мен   диаметр лазерного пучка можно измен ть масштаб отсчета, а следовательно, и преде-лы измерени  7- , Направл   лазерный пучок в различные точки пластины можно исследовать распределение клиновидности по ее поверхности.Предлагаемый способ не требует применени  калиброванного измерител  мощности, больших затрат времени и высокой квалификации персонала . Он может с успехом примен тьс  дл  массового контрол  оптических элементов на поточных лини х. Формула изобретени  Интерференционный способ измерени  клиновидности прозрзшых пластин, заключаю.щийс 

   в том, что на поверхность пластинынормально к ее поверхности направл ют коллимированное излучение с заданным диаметром пучка и измер ют мощность прошедшегй через пластину из . лучени , отличающийс  тем, что, с целью повыщени  производительности измерений , контролируемую пластину плавно отклон ют от ее первоначального положени  и суд то клиновидности по относительному изменению измер емой моошости прошедщего через пластину излучени .

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Коломийце |, Ю, В. и др. Оптические приборы дл  измерени  линейных л угловых величин в мащиностроении. М.,Машшюстроение 1964, с. 32-35 - прототип.