SU658406A1 - Устройство дл измерени линейных размеров - Google Patents

Устройство дл измерени линейных размеров

Info

Publication number
SU658406A1
SU658406A1 SU772452557A SU2452557A SU658406A1 SU 658406 A1 SU658406 A1 SU 658406A1 SU 772452557 A SU772452557 A SU 772452557A SU 2452557 A SU2452557 A SU 2452557A SU 658406 A1 SU658406 A1 SU 658406A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
portal
supports
air pressure
aerostatic
base
Prior art date
Application number
SU772452557A
Other languages
English (en)
Inventor
Альбинас Юозо Каспарайтис
Юозас Прано Куметайтис
Original Assignee
Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков filed Critical Вильнюсский Филиал Экспериментального Научно-Исследовательского Института Металлорежущих Станков
Priority to SU772452557A priority Critical patent/SU658406A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU658406A1 publication Critical patent/SU658406A1/ru

Links

Landscapes

  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

1
Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, а именно к устройствам дл  измерени  линейных размеров, например координат.
Известно устройство дл  измерени  линейных размеров, содержащее основание с направл ющими, портал с аэростатическими опорами на направл ющие основани  и собственными направл ющими , каретку, перемещаемую по направл ющим портала на аэростатических опорах, ползун, измерительную головку, скрепленную через ползун с кареткой, механизм перемещени  портала и каретки l .
Наиболее близким техническим решением к изобретению  вл етс  устройство дл  измерени  линейных размеров с аэростатическими опорами, содержащее узпы компенсации осадка и прогиба портала, возникающие от перераспределени  нагрузок на портал, и отдельные аэростатические опоры при перемещении каретки по направл ющим портала 2 .
Компенсаци  осуществл етс  с помощью четырех регул торов давлени  воздуха и четырех коррекционных линеек , расположенных вдоль направл ющих портала.
2
При этом регулированием давлени  воздуха, проводимого к несущим аэростатическим опорам портала и каретки, исключаютс  их угловые колебани .
Однако вследствие действи  на портал переменных сил, направленных вдоль направл ющих оснований и по вл ющихс  из-за малого трани  в аэростатических опорах от изменени  уклона плоскости скольжени ,возникают угловые колебани  устройства в горизонтальной плоскости.
Ц5лью изобретени   вл етс  повышение точности устройства путем изменени  давлени  воздуха в аэростатических опорах портала и восстановлением его в точное положение в горизонтальной плоскости.

Claims (1)

  1. Это достигаетс  тем, что описываемое устройство снабжено другой коррекционной линейкой, расположенной вдоль направл ющих основани , рабочий профиль которой определ етс  разницей первых производных профил  несущей поверхности направл ющей основани  в вертикальной плоскости в точках расположени  центров несущих аэростатических опор портала, и регул тором давлени  воздуха, подводимого к по меньшей мере двум, по одной из каждой группы, боковым аэростати ческим опорам, наход щимс  в противоположных сторонах другой направл  щей основани , управл емото коррекционной линейкой основани . Устройство также снабжено други регул тором давлени  воздуха, управл емым регул тором давлени  воз духа в несущих опорах портала и ра положенным последовательно регул т давлени  воздуха в боковых опорах оснозани . На фиг.1 изображено устройство, обидай вид;на фиг,2 - то же,вид сбоку; на фиг.З - схема питани  и регу лйровани  давлени  аэростатических опор портала с Устройство дл  измерени  линейных размеров содержит основание 1 с направл ющими 2,3, две группы ono калода  из которых состоит из несущих 4,5 и боковых 6,7 аэростатических опор, портал 8, базирующийс  на этих опорах, направл ющие 9-12, установленные на портале 8, каретку 13 с ползуном 14,1-на котором закреплена измерительна  головка 15. Кроме того, устройство имеет две группы опор: несущих 16,17 и боковы 18, 19 аэростатических опор, с помощью которых каретка 13 базируетс  на портале 8, механизм перемеще портала, выполненный в виде винта с гайкой 20, механизм перемещени  каретки (на чертеже не показан), узлы компенсации осадка и прогиба портала В смонтированы на каретке и выполнены в виде регул торов давлени  21-24 воздуха, подводимо к несущим аэростатическим опорам. Две коррекционные линейки 25-26 с криволинейньшта и две 27,28 с пр м линейными рабочими профил ми, расположенные вдоль направл ющих портала.-управл ют этими регул тора К основанию вдаль ее направл ющих прикреплена коррекционна  линейка Устройство включает также регул тор давлени  30 воздуха, подводи мого, по меньщей мере, к двум по о ной из каждой группы боковым аэрос тическим опорам основани  и распол женный последовательно регул тору 30 в боковых опорах основани  регу л тор давлени  воздуха 31,управл е регул тором давлени  воздуха в нес гчих опорах портала 8. Убтройство работает следующим образом. Наконечник измерительной головк 15 вводитс  в контакт с измер емой поверхностью и дает сигнал о дости жении определенного координатного положени . При этом под действием переменной силы .портал 8 будет кол батьс  в горизонтальной плоскости. Угловые колебани  портала в горизонтальной плоскости, возникающие от. погрешностей несущей поверхности направл ющей 2, компенсируютс  противодействующими силами в боковых аэростатических опорах 6,7. Это осуществл етс  изменением подаваемого в них давлени  воздуха посредством регул тора 30 и установленной вдоль направл ющих основани  коррел ционной линейки 29 с рабочим профилем, определ емым разницей первых производных профил  несущей поверхности основани  2 в вертикальной плоскости в точках расположени  центров несущих аэростатических опор портала 8. Масштаб профил  рабочей поверхности линейки 29 выбираетс , исход  из сочетани  чувствительности регул тора 30, зависимости жестких боковых аэростатических опор 6 и 7 от изменени  давлени , величины колеблющего портала в горизонтальной плоскости. Изменение нагрузки на опоры 4, от которой также зависит величина углового колебани  портала в горизонтальной плоскости, компенсируетс  регул тором давлени  31, соответственно мен ющим давление воздуха, подаваемого в боковые аэростатические опоры .6 и 7 . Таким образом, благодар  регулированию давлени  воздуха в боковых аэростатических опорах портала компенсируютс  его угловые колебани  в горизонтальной плоскости, возникающие от непр молинейности несущей поверхности направл ющих основани , повышаетс  точность и достоверность полученных измерений. Формула изобретени  1, Устройство дл  измерени  линейных размеров, например координат, содержащее основание с направл ющими, портал с несущими и боковыми опорами на направл ющие основани  и собственньми направл ющими, каретку, перемещаемую по направл ющим портала, ползун , измерительную головку, скрепленную , через ползун с кареткой, механизмы перемещени  портала и каретки, узлы компенсации осадки и прогиба портала, выполненные в виде регул торов давлени  воздуха, подводимого к несущим аэростатическим опорам, и расположенных вдоль направл ющих портала коррекционных линеек, управл ющих этими регул торами, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности путем изменени  давлени  воздуха в аэростатических опорах портала, оно снабжено другой коррекционной линейкой, расположенной вдоль направ.л ющих основани , рабочий профиль которой определен разницей первых производных профил  несущей 5 поверхности направл ющей основани  в вертикальной плоскости в точках расположени  центров несущих аэрост тических опор портала, и регул тором давлени  воздуха, подводимого к по меньшей мере двум, по одной из каждой группы, боковым аэростатическим опорам, наход щимс  в противоположных сторонах другой направл ющей основани , управл емого коррекционной линейкой основани . 2, Устройство по п.1, о т л и чающеес  тем, что, оно снабжено другим регул тором давлени  во 6 духа, управл емьм регул тором давлени  воздуха Б несущих опорах пор тала и расположенным последовательно регул тору давлени  воздуха в боковых опорах основани . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Руководство по эксплуатации координатно-измерительной машины Va- idator 50 фирмы Brown Sharp США. 2,Патент США № 3831283, кл. 001 В 11/04, 1973.
    16
    I П 28 27 26 25 / .Л..
    гиг.з
SU772452557A 1977-02-14 1977-02-14 Устройство дл измерени линейных размеров SU658406A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772452557A SU658406A1 (ru) 1977-02-14 1977-02-14 Устройство дл измерени линейных размеров

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772452557A SU658406A1 (ru) 1977-02-14 1977-02-14 Устройство дл измерени линейных размеров

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU658406A1 true SU658406A1 (ru) 1979-04-25

Family

ID=20695570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772452557A SU658406A1 (ru) 1977-02-14 1977-02-14 Устройство дл измерени линейных размеров

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU658406A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4466190A (en) * 1981-06-30 1984-08-21 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh Coordinate measuring machine
US4525930A (en) * 1981-02-14 1985-07-02 L.K. Tool Company Limited Apparatus for carrying machine elements
US4563820A (en) * 1982-10-27 1986-01-14 Canon Kabushiki Kaisha Aligning system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4525930A (en) * 1981-02-14 1985-07-02 L.K. Tool Company Limited Apparatus for carrying machine elements
US4466190A (en) * 1981-06-30 1984-08-21 Mauser-Werke Oberndorf Gmbh Coordinate measuring machine
US4563820A (en) * 1982-10-27 1986-01-14 Canon Kabushiki Kaisha Aligning system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1749247B1 (en) A measurement configuration based on linear scales able to measure to a target also moving perpendicular to the measurement axis
US5333386A (en) Method of measuring the effective instantaneous position of a slide-mounted probe element or tool
GB1393035A (en) Precision measuring apparatus with aerostatic bearings
CA1280888C (en) Coordinate measuring machine
CN104880911B (zh) 一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法
SE448120B (sv) Metbrygga for bestemning av leget hos referenspunkter pa karosseri och/eller ram hos motorfordon
ATE121658T1 (de) Bearbeitungsvorrichtung mit mitteln zum einstellen der werkzeugsposition.
JP3312367B2 (ja) 工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正装置
EP0386526B1 (en) Coordinate measuring machine with improved carriage drive system
CN106017366A (zh) 一种直线度综合检测装置
CN107367224B (zh) 三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准装置
SU658406A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров
US4610089A (en) Bridge type coordinate measuring machine
US20060123888A1 (en) Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff
JPH07189206A (ja) 軌道位置修正用の軌道作業機械
US4353170A (en) Apparatus for positioning a workpiece
SU1151060A1 (ru) Координатна измерительна машина
USRE26206E (en) Apparatus for gaging wide sheet-form work
US7019818B2 (en) Apparatus for exposing substrate materials
CN208333366U (zh) 一种滚动直线导轨副孔距检测装置
CN107367221B (zh) 超声波电机驱动主从结构电感传感器校准装置
CN107727051A (zh) 一种基于六维调整的反转法直线度测量装置
SU1516735A1 (ru) Координатно-измерительна машина
JPS5777905A (en) Measurement of three-dimensional measuring machine
SE460992B (sv) Koordinatmaetmaskin av bryggtyp