SU658406A1 - Устройство дл измерени линейных размеров - Google Patents
Устройство дл измерени линейных размеровInfo
- Publication number
- SU658406A1 SU658406A1 SU772452557A SU2452557A SU658406A1 SU 658406 A1 SU658406 A1 SU 658406A1 SU 772452557 A SU772452557 A SU 772452557A SU 2452557 A SU2452557 A SU 2452557A SU 658406 A1 SU658406 A1 SU 658406A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- portal
- supports
- air pressure
- aerostatic
- base
- Prior art date
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, а именно к устройствам дл измерени линейных размеров, например координат.
Известно устройство дл измерени линейных размеров, содержащее основание с направл ющими, портал с аэростатическими опорами на направл ющие основани и собственными направл ющими , каретку, перемещаемую по направл ющим портала на аэростатических опорах, ползун, измерительную головку, скрепленную через ползун с кареткой, механизм перемещени портала и каретки l .
Наиболее близким техническим решением к изобретению вл етс устройство дл измерени линейных размеров с аэростатическими опорами, содержащее узпы компенсации осадка и прогиба портала, возникающие от перераспределени нагрузок на портал, и отдельные аэростатические опоры при перемещении каретки по направл ющим портала 2 .
Компенсаци осуществл етс с помощью четырех регул торов давлени воздуха и четырех коррекционных линеек , расположенных вдоль направл ющих портала.
2
При этом регулированием давлени воздуха, проводимого к несущим аэростатическим опорам портала и каретки, исключаютс их угловые колебани .
Однако вследствие действи на портал переменных сил, направленных вдоль направл ющих оснований и по вл ющихс из-за малого трани в аэростатических опорах от изменени уклона плоскости скольжени ,возникают угловые колебани устройства в горизонтальной плоскости.
Ц5лью изобретени вл етс повышение точности устройства путем изменени давлени воздуха в аэростатических опорах портала и восстановлением его в точное положение в горизонтальной плоскости.
Claims (1)
- Это достигаетс тем, что описываемое устройство снабжено другой коррекционной линейкой, расположенной вдоль направл ющих основани , рабочий профиль которой определ етс разницей первых производных профил несущей поверхности направл ющей основани в вертикальной плоскости в точках расположени центров несущих аэростатических опор портала, и регул тором давлени воздуха, подводимого к по меньшей мере двум, по одной из каждой группы, боковым аэростати ческим опорам, наход щимс в противоположных сторонах другой направл щей основани , управл емото коррекционной линейкой основани . Устройство также снабжено други регул тором давлени воздуха, управл емым регул тором давлени воз духа в несущих опорах портала и ра положенным последовательно регул т давлени воздуха в боковых опорах оснозани . На фиг.1 изображено устройство, обидай вид;на фиг,2 - то же,вид сбоку; на фиг.З - схема питани и регу лйровани давлени аэростатических опор портала с Устройство дл измерени линейных размеров содержит основание 1 с направл ющими 2,3, две группы ono калода из которых состоит из несущих 4,5 и боковых 6,7 аэростатических опор, портал 8, базирующийс на этих опорах, направл ющие 9-12, установленные на портале 8, каретку 13 с ползуном 14,1-на котором закреплена измерительна головка 15. Кроме того, устройство имеет две группы опор: несущих 16,17 и боковы 18, 19 аэростатических опор, с помощью которых каретка 13 базируетс на портале 8, механизм перемеще портала, выполненный в виде винта с гайкой 20, механизм перемещени каретки (на чертеже не показан), узлы компенсации осадка и прогиба портала В смонтированы на каретке и выполнены в виде регул торов давлени 21-24 воздуха, подводимо к несущим аэростатическим опорам. Две коррекционные линейки 25-26 с криволинейньшта и две 27,28 с пр м линейными рабочими профил ми, расположенные вдоль направл ющих портала.-управл ют этими регул тора К основанию вдаль ее направл ющих прикреплена коррекционна линейка Устройство включает также регул тор давлени 30 воздуха, подводи мого, по меньщей мере, к двум по о ной из каждой группы боковым аэрос тическим опорам основани и распол женный последовательно регул тору 30 в боковых опорах основани регу л тор давлени воздуха 31,управл е регул тором давлени воздуха в нес гчих опорах портала 8. Убтройство работает следующим образом. Наконечник измерительной головк 15 вводитс в контакт с измер емой поверхностью и дает сигнал о дости жении определенного координатного положени . При этом под действием переменной силы .портал 8 будет кол батьс в горизонтальной плоскости. Угловые колебани портала в горизонтальной плоскости, возникающие от. погрешностей несущей поверхности направл ющей 2, компенсируютс противодействующими силами в боковых аэростатических опорах 6,7. Это осуществл етс изменением подаваемого в них давлени воздуха посредством регул тора 30 и установленной вдоль направл ющих основани коррел ционной линейки 29 с рабочим профилем, определ емым разницей первых производных профил несущей поверхности основани 2 в вертикальной плоскости в точках расположени центров несущих аэростатических опор портала 8. Масштаб профил рабочей поверхности линейки 29 выбираетс , исход из сочетани чувствительности регул тора 30, зависимости жестких боковых аэростатических опор 6 и 7 от изменени давлени , величины колеблющего портала в горизонтальной плоскости. Изменение нагрузки на опоры 4, от которой также зависит величина углового колебани портала в горизонтальной плоскости, компенсируетс регул тором давлени 31, соответственно мен ющим давление воздуха, подаваемого в боковые аэростатические опоры .6 и 7 . Таким образом, благодар регулированию давлени воздуха в боковых аэростатических опорах портала компенсируютс его угловые колебани в горизонтальной плоскости, возникающие от непр молинейности несущей поверхности направл ющих основани , повышаетс точность и достоверность полученных измерений. Формула изобретени 1, Устройство дл измерени линейных размеров, например координат, содержащее основание с направл ющими, портал с несущими и боковыми опорами на направл ющие основани и собственньми направл ющими, каретку, перемещаемую по направл ющим портала, ползун , измерительную головку, скрепленную , через ползун с кареткой, механизмы перемещени портала и каретки, узлы компенсации осадки и прогиба портала, выполненные в виде регул торов давлени воздуха, подводимого к несущим аэростатическим опорам, и расположенных вдоль направл ющих портала коррекционных линеек, управл ющих этими регул торами, отличающеес тем, что, с целью повышени точности путем изменени давлени воздуха в аэростатических опорах портала, оно снабжено другой коррекционной линейкой, расположенной вдоль направ.л ющих основани , рабочий профиль которой определен разницей первых производных профил несущей 5 поверхности направл ющей основани в вертикальной плоскости в точках расположени центров несущих аэрост тических опор портала, и регул тором давлени воздуха, подводимого к по меньшей мере двум, по одной из каждой группы, боковым аэростатическим опорам, наход щимс в противоположных сторонах другой направл ющей основани , управл емого коррекционной линейкой основани . 2, Устройство по п.1, о т л и чающеес тем, что, оно снабжено другим регул тором давлени во 6 духа, управл емьм регул тором давлени воздуха Б несущих опорах пор тала и расположенным последовательно регул тору давлени воздуха в боковых опорах основани . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Руководство по эксплуатации координатно-измерительной машины Va- idator 50 фирмы Brown Sharp США. 2,Патент США № 3831283, кл. 001 В 11/04, 1973.16I П 28 27 26 25 / .Л..гиг.з
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772452557A SU658406A1 (ru) | 1977-02-14 | 1977-02-14 | Устройство дл измерени линейных размеров |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU772452557A SU658406A1 (ru) | 1977-02-14 | 1977-02-14 | Устройство дл измерени линейных размеров |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU658406A1 true SU658406A1 (ru) | 1979-04-25 |
Family
ID=20695570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU772452557A SU658406A1 (ru) | 1977-02-14 | 1977-02-14 | Устройство дл измерени линейных размеров |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU658406A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4466190A (en) * | 1981-06-30 | 1984-08-21 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh | Coordinate measuring machine |
US4525930A (en) * | 1981-02-14 | 1985-07-02 | L.K. Tool Company Limited | Apparatus for carrying machine elements |
US4563820A (en) * | 1982-10-27 | 1986-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Aligning system |
-
1977
- 1977-02-14 SU SU772452557A patent/SU658406A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4525930A (en) * | 1981-02-14 | 1985-07-02 | L.K. Tool Company Limited | Apparatus for carrying machine elements |
US4466190A (en) * | 1981-06-30 | 1984-08-21 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh | Coordinate measuring machine |
US4563820A (en) * | 1982-10-27 | 1986-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Aligning system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1749247B1 (en) | A measurement configuration based on linear scales able to measure to a target also moving perpendicular to the measurement axis | |
US5333386A (en) | Method of measuring the effective instantaneous position of a slide-mounted probe element or tool | |
GB1393035A (en) | Precision measuring apparatus with aerostatic bearings | |
CA1280888C (en) | Coordinate measuring machine | |
CN104880911B (zh) | 一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法 | |
SE448120B (sv) | Metbrygga for bestemning av leget hos referenspunkter pa karosseri och/eller ram hos motorfordon | |
ATE121658T1 (de) | Bearbeitungsvorrichtung mit mitteln zum einstellen der werkzeugsposition. | |
JP3312367B2 (ja) | 工作機械のためのリアルタイム直線偏差測定及び補正装置 | |
EP0386526B1 (en) | Coordinate measuring machine with improved carriage drive system | |
CN106017366A (zh) | 一种直线度综合检测装置 | |
CN107367224B (zh) | 三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准装置 | |
SU658406A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров | |
US4610089A (en) | Bridge type coordinate measuring machine | |
US20060123888A1 (en) | Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff | |
JPH07189206A (ja) | 軌道位置修正用の軌道作業機械 | |
US4353170A (en) | Apparatus for positioning a workpiece | |
SU1151060A1 (ru) | Координатна измерительна машина | |
USRE26206E (en) | Apparatus for gaging wide sheet-form work | |
US7019818B2 (en) | Apparatus for exposing substrate materials | |
CN208333366U (zh) | 一种滚动直线导轨副孔距检测装置 | |
CN107367221B (zh) | 超声波电机驱动主从结构电感传感器校准装置 | |
CN107727051A (zh) | 一种基于六维调整的反转法直线度测量装置 | |
SU1516735A1 (ru) | Координатно-измерительна машина | |
JPS5777905A (en) | Measurement of three-dimensional measuring machine | |
SE460992B (sv) | Koordinatmaetmaskin av bryggtyp |