SU640384A1

SU640384A1 - Vidikon target

Info

Publication number: SU640384A1
Application number: SU772516096A
Authority: SU
Inventors: Наталья Борисовна Захарова; Станислав Афонасьевич Плахов; Юрий Андреевич Черкасов; Ирина Иннокентьевна Ятлинко
Original assignee: Организация П/Я М-5273
Priority date: 1977-08-08
Filing date: 1977-08-08
Publication date: 1978-12-30

Description

структуры с требуемым шагом, например, методом фотолитографии и химического травлени . Сигнальна пластина с дискретным сигнальным электродом имеет дианазон прозрачности, ограничиваемый краем полосы пропусканий подложки.structures with the required step, for example, by the method of photolithography and chemical etching. A signal plate with a discrete signal electrode has a transparency bandwidth limited by the edge of the substrate bandwidth.

Использование сигнального электрода, выполненного в виде дискретного растра, приводит к значительному уменьшению потерь световой энергии, особенно в вакуумной УФ области спектра, из-за отсутстви дополнительного поглошени материалом сигнального электрода.The use of a signal electrode made in the form of a discrete raster leads to a significant decrease in the loss of light energy, especially in the vacuum UV region of the spectrum, due to the absence of additional absorption by the material of the signal electrode.

Можно считать, что механизм работы такой мишени по существу не отличаетс от механизма работы обычной гетероструктурной мишени видикона, поскольку использование сигнального электрода в виде растра с размером чейки 5-15 мкм слабо искажает электрическое поле.It can be considered that the mechanism of operation of such a target essentially does not differ from the mechanism of operation of a conventional heterostructural target of a vidicon, since the use of a signal electrode in the form of a raster with a cell size of 5-15 μm slightly distorts the electric field.

На чертеже представлен один из возможных вариантов предлагаемой мишени.The drawing shows one of the possible variants of the proposed target.

На прозрачную в УФ области спектра подложку 1 нанесен в виде сетчатого растра сигнальный электрод 2, имеюш.ий обш,ий вывод 3 и фотослой 4. Подложка выполнена из плавленного кварца. Сигнальный электрод выполнен из двуокиси олова в виде сетки с размером чейки 5-15 мкм, шириной прутка 5-15 мкм и получен из сплошной пленки, нанесенной методом катодно-реактивного распылени . Сопротивление такого электрода на рассто нии 14 мм между приложенными электродами составл ет 4-5 кОм. Спектральное пропускание сигнальной пластины на нм составл ет не менее 70%, тогда как дл сплошной сигнальной пластины при прочих равных услови х пропускание составл ет неThe substrate 1, which is transparent in the UV region of the spectrum, is deposited in the form of a grid raster, a signal electrode 2, which has an outer, 3 output, and a photo layer 4. The substrate is made of fused quartz. The signal electrode is made of tin dioxide in the form of a grid with a cell size of 5–15 µm, a rod width of 5–15 µm and obtained from a continuous film applied by means of cathode-reactive sputtering. The resistance of such an electrode at a distance of 14 mm between the applied electrodes is 4-5 kΩ. The spectral transmittance of the signal plate at nm is at least 70%, whereas for a solid signal plate, all other things being equal, the transmittance is not

более 30%. Фотослой представл ет собой многослойную композицию, включающую фоточувствительный слой селенида кадми , промежуточный слой, содержащий соединени кадми , кислорода и хлора, напримерover 30%. The photo layer is a multilayer composition comprising a photosensitive layer of cadmium selenide, an intermediate layer containing cadmium, oxygen and chlorine compounds, for example

оксихлорид кадми , толщиной 10-20 А, и слой высокоомного полупроводника, например , трисульфид мышь ка - сурьмы. Данный фотослой обладает при работе в стандартном релшме разложени высокой интегральной чувствительностью, малой инерционностью и высокой спектральной чувствительностью в УФ области. Видикон с такой мишенью может использоватьс в системах космического, специального или промышленного телевидени , работающих как в стандартном, так и в малокадровом режиме разложени как в видимой, так и в УФ области спектра.cadmium oxychloride, 10–20 A thick, and a high-resistance semiconductor layer, for example, mouse-antimony trisulfide. This photo layer has a high integral sensitivity, low inertia, and high spectral sensitivity in the UV region, when operating in standard relapse decomposition. Vidicon with such a target can be used in systems of space, special or industrial television, operating in both standard and low-frame mode of decomposition both in the visible and in the UV spectral region.

Claims

1. USSR author's certificate number 357623, cl. H 01J 29/44, 1974.

2. USSR author's certificate number 498662, cl. H 01J 31/38, 1976.