Claims (1)
Изобретение относитс к абразивной обработке и может быть использовано в приборйстроении при доводке монойристаллических пластин. Известно устройство дл довоаки шшстин , содержащее рабочий диск и сепаратор со сквозными отверсти ми дл деталей , снабженный пере мешающимс по направл ющим штоком с независимой регупь ровкой. Однако иэ-аа зазора между цнлннд рическнми поверхност ми направл ющих и штока Нельз обеспечить параллельностн торцовой поверхности штока относительно опорной поверхиостн направл ющей, а, следовательно , и осуществить строго плоскопараллельную обработку поверхностей плас тин. Цель изобретени - повышение точности обработки различных по высоте н размерам , плоскопараллельных поверхностей пластин. Это достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве направлжошйе выполнены в виде упругого колыш с продольными гофрами на наружной н внутренней поверхност х , а устройство снабжено шпонкой - гайкой, установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействи с введенным в устройство винтом, размещенным в направл ющиХ| при этом на наружной поверхностн кольца выполнена кольцева канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо. На фиг. t изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг, 2 - Приспособление дл креплени обрабатываемых пластин,- разрез; на фиг. 3 - то же, вид сверху. Устройство состоит из механизма 1, снабженного генератором колебаний 2, на верхней подвижной частн которого закреплен съемный цилиндрический герметичный сосуд 3. На дне сосуда 3 в суспензии с помощью устройства 4, внутреннее кольцо которого служит сепаратором, закроп ен рабочий диск в виде бархатного шлифрвальника 5, на котором расположены приспособлени 6 с обрабатываемыми, пластнпами- 7. 1риспособление 6 состоит из штока 8, перемешаюшегос по направл ющим, выполненным в виде упругого опорного кольца 9, шпонки-гайки 10, винта 11 и разрезного пружинного кольца 12. Шпонкагайка 10, введенна в продольный паз 13 штока, с винтом 11 фксируют положение штока по высоте относительно основани колЫ(а 9. Упругое опорное кольцо 9 выполнено с продольнб1ми гофрами 14 на наружной и внутренней поверхност х, расположенными симметрично .отверстию под. винт, и с кольцевой канавкой 15 под разрезное щ}7жиыное кольцо 12, Кольцо 12, помещенное в -канавку 15 заподлицо с наружными гофрами устран ет произвольное откручивание винта и возможные непродолжительные остановки приспособлений 6 иэ-аа зацеплени друг за друга, т.е. обёснечивает надежную точную дoвoдky п астин. Приспособление 6 с пластинами 7, закрепленными клеем на торцовой поверхности штока 8, устанавливаютс на дне днлиидрического сосуда. При включении генератора колебаний приспособлени совершают сложное движение по рабочему диску Пластины 7, например монокристаллы рассортированные по толщине, наклеиваютс на новерхность штока 8. Каждый шток наклейкой пластины па его поверхноеть , предварительно притертую совместно с опорной поверхностью ynpyi ro опорного кольца, настраиваетс кольцом 9 иа высоту Н, равную толщине заготовки., После доводки одной плоскости пластины снимают со штока и наклеивают противоположной стороной. Затем процесс полирови повтор етс . Беззазорное и бесповоротное соединение штока с упругим кольцом позвол ет уменьшить высоту направл ющей приспособлени , осуществить регулирование рассто ни без перекосов между торцовой поверхностью штока и основанием упругого опорного кольца, что обеспечивает повышенную точность обработки плоскопараллельных поверхностей пластин. Формула изобретени Устройство дл доводки плоских и плоскопараллельных поверхностей пластин по авт. св. № 255794, отличающеес тем, что, с целью повышени точности обработки различных по высоте и размерам пластин, направл ющие выполнены в виде упругого кольца с продольными гофрами на наружной и внутренней поверхност х , а устройство снабжено шпонкой-гайкоЙ , установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействи с введенным в устройство винтом, размещенным в направл ющих, при этом на наружной поверхности кольца вьополнена кольцева канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо.The invention relates to abrasive machining and can be used in instrumentation in fine-tuning single-crystal plates. A device for finishing dowels is known, which contains a working disk and a separator with through holes for parts, equipped with interfering along a guide rod with independent reupuviation. However, the gap between the central surfaces of the guides and the rod cannot be parallel to the end surface of the rod with respect to the supporting surface of the guide, and, consequently, to carry out a strictly plane-parallel processing of the surfaces of the plates. The purpose of the invention is to improve the processing accuracy of different in height and size, plane-parallel surfaces of the plates. This is achieved by the fact that in the proposed device, the guide is made in the form of an elastic peg with longitudinal corrugations on the outer and inner surfaces, and the device is equipped with a key - a nut installed in the groove made in the rod with the possibility of interaction with the screw inserted into the device placed in the guides | an annular groove is made on the outer surface ring in which the spring ring inserted into the device is placed. FIG. t shows the proposed device, the general view; FIG. 2 — The fixture for fastening the plates to be machined — a section; in fig. 3 - the same, top view. The device consists of a mechanism 1, equipped with an oscillator 2, on the upper movable part of which a removable cylindrical sealed vessel 3 is fixed. At the bottom of the vessel 3 in suspension using a device 4, the inner ring of which serves as a separator, the working disk in the form of a velvet grinder 5 is closed, on which the fixtures 6 with machined plastics-7 are located. The fixture 6 consists of a stem 8, mixing along the guides, made in the form of an elastic support ring 9, a key-nut 10, a screw 11 and a split spring ring 12. Spline 10, inserted into the longitudinal groove 13 of the stem, with screw 11, fix the position of the stem in height relative to the cola base (a 9. Elastic support ring 9 is made with longitudinal corrugations 14 on the outer and inner surfaces located symmetrically under the hole Screw, and with an annular groove 15 for a split ring 7, an o-ring 12, a ring 12 placed in the groove 15 flush with the outer corrugations, eliminates the arbitrary loosening of the screw and possible short stops of the fixtures 6 and e-aa gearing each for a friend, i.e. disfigures reliable accurate dodine astin. The fixture 6 with the plates 7 fixed with glue on the end surface of the rod 8 is mounted on the bottom of the dlinydric vessel. When the oscillator is switched on, devices make a complex movement on the working disk. Plates 7, for example, single crystals sorted by thickness, are glued to the surface of the rod 8. Each stem is attached to the surface of the rod, previously ground together with the supporting surface ynpyi ro of the support ring, by adjusting the height of H, equal to the thickness of the workpiece. After finishing one plane, the plates are removed from the stem and glued on the opposite side. The polishing process is then repeated. The backlash-free and permanent connection of the stem with the elastic ring allows reducing the height of the guide device, adjusting the distance without distortions between the end surface of the rod and the base of the elastic support ring, which provides increased accuracy of processing the plane-parallel surfaces of the plates. The invention The device for finishing the flat and plane-parallel surfaces of the plates by ed. St. No. 255794, characterized in that, in order to increase the processing accuracy of plates of various heights and sizes, the guides are made in the form of an elastic ring with longitudinal corrugations on the outer and inner surfaces, and the device is equipped with a key-nut installed in the groove made in the rod with the possibility of interacting with the screw inserted into the device, placed in the guides, while on the outer surface of the ring there is an annular groove in which the spring ring inserted into the device is placed.