(54) СТАНОК ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ ТОРЦОВ ДЕТАЛЕЙ(54) MACHINE FOR GRINDING END DETAILS
Изобретение относитс к машиностроению и предназначено дл механической обработки деталей, в том числе деталей неправильной формы, например слитков полупроводниковых материалов. Известен станок дл шлифовани деталей алмазным кругом, содержаший механизм закреплени деталей, выполненный в виде установочных и прижимных захватов 1. Однако известное устройство не позвол ет с достаточной точностью шлифовать детали типа слитков полупроводниковых материалов. Целью изобретени вл етс повышение точности обработки деталей типа слитков полупроводниковых материалов. Указанна цель достигаетс тем, что механизм закреплени деталей выполнен секционным , а его установочные и прижимные захваты снабжены эластичными вставками и соединены упруго с элементами корпуса, причем механизм закреплени деталей уста .новлен с возможностью вертикального перемешени . На фиг. 1 схематично изображена схема предлагаемого станка; на фиг. 2 - то же, вид сверху; Станок состоит из шлифовальной бабки с алмазным кругом 1, электропривода 2, механизма закреплени деталей, выполненного в виде установочных 3 и прижимных 4 секционных захватов с прикрепленными на них эластичными вставками 5, упругих элементов 6, механизма зажати 7, подъемноприжимного механизма 8. Слиток 9 закреплен в эластичных вставках 5 установочных 3 и прижимных 4 захватов. Кажда пара секций установочных и прижимньус захватов находитс в направл ющих пазах, упираетс в индивидуальные упругие элементы и перемешаетс в параллельных плоскост х. Установочные захваты делаютс вогнутой формы, а прижимные захваты выпуклой формы дл лучшего зажати слитка., Устройство работает следующим образом. Алмазный круг 1 приводитс во вращение с помощью электропривода 2. Монокристаллический слиток устанавливаетс так, что своей боковой поверхностью касаетс эластичных вставок 5 с одной или нескольких секций установочных захватов 3. Включением механизма зажати 7 -слитка производитс перемещение упругих элементов 6, прижимных 4 захватов с прикрепленными к ним эластичными вставкамн 5 к монокристаллическому слитку 9. Первоначальный контакт секций захватов происходит в области большего диаметра слитка 9, затем в контакт с ним вход т последующие секции захватов в точках последовательно уменьшающихс диаметров до того момента, пока все секции захватов не войдут в контакт с поверхностью слитка 9, после чего все упругие элементы 6 сжимаютс до значени , при котором сила упругой деформации уравновешивает прижимное усилне. Вследствие этого ось слитка 9 становитс перпендикул рно плоскости алмазного круга 1. Зафиксированный таким образом монокристаллический слиток 9 подъемно-прижимным механизмом 8 прижимаетс нижним торцом к вращающемус алмазному кругу 1, который сощлифовывает область торца, контактирующую с ним в данный момент. Шлифовка ведетс до тех пор, по не произведет контакт всей плоскости торца слнтка 9 с алмазным кругом 1. Затем слиток 9 подъемно-прижимным механизмом 8 поднимаетс над алмазным кругом 1, с помощью механизма зажати 7 слитка отвод тс секции прижимных захватов 4 с эластичныItffiThe invention relates to mechanical engineering and is intended for machining parts, including parts of irregular shape, such as ingots of semiconductor materials. A known machine for grinding parts with a diamond wheel, containing a mechanism for securing parts, made in the form of adjusting and clamping grips 1. However, the known device does not allow to grind parts of an ingot type of semiconductor materials with sufficient accuracy. The aim of the invention is to improve the accuracy of machining parts like ingots of semiconductor materials. This goal is achieved by the fact that the mechanism for securing parts is sectional, and its mounting and clamping grippers are provided with elastic inserts and are connected elastically with the elements of the body, and the mechanism for securing parts is fitted with the possibility of vertical mixing. FIG. 1 schematically shows the scheme of the proposed machine; in fig. 2 - the same, top view; The machine consists of a grinding wheelhead with a diamond wheel 1, an electric drive 2, a mechanism for fixing parts, made in the form of mounting 3 and clamping 4 sectional grips with elastic inserts 5 attached to them, elastic elements 6, a clamping mechanism 7, a lifting mechanism 8. Ingot 9 is fixed in elastic inserts 5 adjusting 3 and clamping 4 captures. Each pair of installation sections and the nip clamps are located in guide grooves, abutted against individual resilient elements and mixed in parallel planes. The setting grippers are made in a concave shape, and the clamp grippers are convex in shape to better clamp the ingot., The device operates as follows. The diamond wheel 1 is rotated by means of the electric drive 2. The single crystal ingot is set so that its side surface touches elastic inserts 5 from one or several sections of the setting grippers 3. By turning on the clamping mechanism 7-inset, the elastic elements 6 are moved, the pressure clamps 4 with attached to them elastic inserts 5 to a single-crystal ingot 9. The initial contact of the gripping sections occurs in the region of the larger diameter of the ingot 9, then the contact section guides the grippers at the points of successively smaller diameters up to the moment when all grippers sections do not come into contact with the ingot surface 9, after which all the elastic members 6 are compressed to a value at which elastic deformation of the pressing force balances usilne. As a consequence, the axis of the ingot 9 becomes perpendicular to the plane of the diamond wheel 1. The monocrystalline ingot 9 thus fixed is fixed by a lifting-pressing mechanism 8 by its bottom end against the rotating diamond wheel 1, which co-grinds the area of the end face that is in contact with it at the moment. Grinding is carried out until the entire face of the slider 9 comes into contact with the diamond wheel 1. Then the ingot 9 is lifted by the lifting and clamping mechanism 8 rises above the diamond wheel 1, the clamping sections of the ingot 4 are retracted with the clamping mechanism of the ingot 4 with the elasticItffi