Изобретение относитс к абразивной обработке и может быть использовано в приборйстроении при доводке монойристаллических пластин. Известно устройство дл довоаки шшстин , содержащее рабочий диск и сепаратор со сквозными отверсти ми дл деталей , снабженный пере мешающимс по направл ющим штоком с независимой регупь ровкой. Однако иэ-аа зазора между цнлннд рическнми поверхност ми направл ющих и штока Нельз обеспечить параллельностн торцовой поверхности штока относительно опорной поверхиостн направл ющей, а, следовательно , и осуществить строго плоскопараллельную обработку поверхностей плас тин. Цель изобретени - повышение точности обработки различных по высоте н размерам , плоскопараллельных поверхностей пластин. Это достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве направлжошйе выполнены в виде упругого колыш с продольными гофрами на наружной н внутренней поверхност х , а устройство снабжено шпонкой - гайкой, установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействи с введенным в устройство винтом, размещенным в направл ющиХ| при этом на наружной поверхностн кольца выполнена кольцева канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо. На фиг. t изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг, 2 - Приспособление дл креплени обрабатываемых пластин,- разрез; на фиг. 3 - то же, вид сверху. Устройство состоит из механизма 1, снабженного генератором колебаний 2, на верхней подвижной частн которого закреплен съемный цилиндрический герметичный сосуд 3. На дне сосуда 3 в суспензии с помощью устройства 4, внутреннее кольцо которого служит сепаратором, закроп ен рабочий диск в виде бархатного шлифрвальника 5, на котором расположены приспособлени 6 с обрабатываемыми, пластнпами- 7. 1риспособление 6 состоит из штока 8, перемешаюшегос по направл ющим, выполненным в виде упругого опорного кольца 9, шпонки-гайки 10, винта 11 и разрезного пружинного кольца 12. Шпонкагайка 10, введенна в продольный паз 13 штока, с винтом 11 фксируют положение штока по высоте относительно основани колЫ(а 9. Упругое опорное кольцо 9 выполнено с продольнб1ми гофрами 14 на наружной и внутренней поверхност х, расположенными симметрично .отверстию под. винт, и с кольцевой канавкой 15 под разрезное щ}7жиыное кольцо 12, Кольцо 12, помещенное в -канавку 15 заподлицо с наружными гофрами устран ет произвольное откручивание винта и возможные непродолжительные остановки приспособлений 6 иэ-аа зацеплени друг за друга, т.е. обёснечивает надежную точную дoвoдky п астин. Приспособление 6 с пластинами 7, закрепленными клеем на торцовой поверхности штока 8, устанавливаютс на дне днлиидрического сосуда. При включении генератора колебаний приспособлени совершают сложное движение по рабочему диску Пластины 7, например монокристаллы рассортированные по толщине, наклеиваютс на новерхность штока 8. Каждый шток наклейкой пластины па его поверхноеть , предварительно притертую совместно с опорной поверхностью ynpyi ro опорного кольца, настраиваетс кольцом 9 иа высоту Н, равную толщине заготовки., После доводки одной плоскости пластины снимают со штока и наклеивают противоположной стороной. Затем процесс полирови повтор етс . Беззазорное и бесповоротное соединение штока с упругим кольцом позвол ет уменьшить высоту направл ющей приспособлени , осуществить регулирование рассто ни без перекосов между торцовой поверхностью штока и основанием упругого опорного кольца, что обеспечивает повышенную точность обработки плоскопараллельных поверхностей пластин. Формула изобретени Устройство дл доводки плоских и плоскопараллельных поверхностей пластин по авт. св. № 255794, отличающеес тем, что, с целью повышени точности обработки различных по высоте и размерам пластин, направл ющие выполнены в виде упругого кольца с продольными гофрами на наружной и внутренней поверхност х , а устройство снабжено шпонкой-гайкоЙ , установленной в выполненном в штоке пазу с возможностью взаимодействи с введенным в устройство винтом, размещенным в направл ющих, при этом на наружной поверхности кольца вьополнена кольцева канавка, в которой помещено введенное в устройство пружинное кольцо.