SU567093A2 - Фотоэлектрический микроскоп - Google Patents

Description

нен с соответствующим входом схемы вычитани  длительностей импульсов блока фиксации момента совмещени  импульсов, а вторые выходы схем преобразовани  импульсов фототока, предназначенные дл  выделени  импульсов, например, отрицательной пол рности , перекрестно соединены со вторыми входами логических схем ИЛИ.

Кроме того, дл  исключени  неудобств при работе делитель световых потоков от пр мого и перевернутого изображений визируемого щтриха может быть выполнен в виде диафрагмы в форме полудиска и объектива, размещенных между основным объективом и призмой двойного изображени , и светоделительной призмы, установленной между диафрагмой сканатора и фотоприемниками, плоскость расположени  полудисковой диафрагмы и плоскость предметов объектива совпадают с плоскостью изображений основного объектива , а изображение диаметра полудиска в плоскости диафрагмы и ребро светоделительной призмы ориентированы параллельно поперечной оси диафрагмы сканатора и нроход т через оптическую ось системы.

На фиг. 1 изображена функциональна  схема оптической (в двух проекци х) и электронной частей ФЭМ; на фиг. 2 показано поле зрени  в плоскости полудисковой диафрагмы; на фиг. 3 - ноле зрени  в плоскости щелевой диафрагмы.

Оптическа  система ФЭМ состоит из последовательно расположенных осветител  1, объектива 2, щтриховой щкалы 3, полудисковой диафрагмы 4, установленной так, что диаметр полудиска проходит через оптическую ось системы и перпендикул рен к длинной оси изображени  щтриха, на который производитс  наведение объектива 5, нлоскость предметов которого сопр жена с плоскостью расположени  полудисковой диафрагмы 4 и с плоскостью изображений объектива 2, призмы 6 двойного изображени  по Кёстерсу, поворотной призмы 7, окул ра 8 и сканирующего зеркала 9 с вибратором 10 (см. фиг. 1). За щелевой диафрагмой 11, установленной в плоскости изображений объектива 5, расположена светоделительна  призма 12. В разделенных световых потоках расположены фотоприемники 13 и 14, св занные соответственно с входами схем 15 и 16 преобразовани  импульсов фототока, кажда  из которых содержит последовательно соединенные истоковый повторитель 17, усилитель 18, триггер Шмитта 19, дифференцирующую цепочку 20 и диодные ограничители 21 и 22. Выходы а диодных ограничителей , предназначенные в каждой схеме дл  выделени  импульсов одной и той же, например , положительной пол рности, соединены соответственно через инверторы 23 и 24 с одними из входов логических схем ИЛИ 25 и 26, выходы которых соединены соответственно с триггерами 27 и 28 со счетным входом.

Одноименные выходы каждого из триггеров 27 и 28 св заны с соответствующими входами устройства 29 вычитани  длительностей импульсов, к выходу которого подключен индикатор 30 момента точного наведени . При этом выходы б диодных ограничителей, предназначенные дл  выделени  импульсов, например , отрицательной пол рности, перекрестно св заны со вторыми входами схем ИЛИ 25 и 26.

С вибратором 10 электрически св заны последовательно установленные фазовращатель 31, триггер Шмитта 32, дифференцирующа  цепочка 33 и диодный ограничитель 34, выход которого соединен с входами «установка нул  триггеров 27 и 28.

Устройство работает следующим образом.

При освещении поверхности щтриховой щкалы 3 осветителем 1 и объективом 2 последний образует в плоскости диафрагмы 4 действительное изображение визируемого щтриха. Половина этого изобрал ени  срезаетс  диафрагмой 4 (см. фиг. 2), оставща с  же половина проектируетс  объективом 5, призмой 6 двойного изображени  по Кёстерсу , поворотной призмой 7, окул ром 8 и зеркалом 9 в плоскость щелевой диафрагмы 11. При этом, благодар  применению призмы двойного изображени  в плоскости щели диафрагмы 11, кроме пр мого изображени  (см. фиг. 2), образуетс  также и второе изображение щтриха, перевернутое по отнощению к пр мому слева - направо и сверху - вниз (см. фиг. 3).

При относительном смещении фотоэлектрического микроскопа и щкалы 3 в направлении , перпендикул рном к щтрихам, изображени  щтриха в плоскости диафрагмы И перемещаютс  в разные стороны в зависимости от направлени  смещени . В момент точного наведени  изображени  щтриха должны быть расположены таким образом, чтобы их продольные оси служили продолжени ми одна другой.

При включении вибратора 10 зеркало 9 сканирует изображени  щтриха относительно щели диафрагмы 11. При этом неременные световые потоки от каждой половины пол  зрени  отражающими гран ми светоделительной призмы 12 направл ютс  на соответствующие фотоприемники 13 и 14, на выходе которых образуютс  последовательности импульсов фототока . Полученным импульсам фототока на выходах схем 15 и 16 соответствуют кратковременные импульсы, распредел емые диодными ограничител ми 21 к 22 в соответствии с пол рностью таким образом, что на вход логической схемы ИЛИ 26 поступают импульсы , соответствующие передним фронтом пр моугольных импульсов, формируемых в схеме 15 (триггером 19), и предварительно инвертированные инвертором 24 импульсы, соответствующие задним фронтам пр моугольных импульсов, формируемых в схеме 16, а на вход логической схемы ИЛИ 25 поступают импульсы, соответствующие передним фронтам пр моугольных импульсов, формируемых

в схеме 16, и предварительно инвертированные инвертором 23 импульсы, соответствующие задним фронтам пр моугольных импульсов, формируемых в схеме 15. Эти последовательности импульсов преобразуютс  триггерами 27 и 28 в последовательности пр моугольных импульсов.

При относительном смещении изображений штриха в плоскости диафрагмы 11 длительность импульсов одной из последовательности убывает, а другой - возрастает, уравнива сь в момент, когда продольные оси изображений штриха составл ют продолжение друг друга. При этом, если до прохождени  момента «равновеси  длительность импульсов первой последовательности меньше длительности импульсов второй последовательности, то после прохождени  момента «равновеси  соотношение длительностей измен етс  на обратное. Поэтому на выходе устройства 29 вычитани  импульсов образуетс  сигнал, измен ющийс  не только по величине, но и по знаку в зависимости от величины и знака смещени  системы наведени  от положени , соответствующего точному наведению на щтрих. Этот сигпал обращаетс  в нуль в момент точного наведени , что и фиксируетс  оператором по индикатору 30. Цепочка элементов 31-32-33- 34 предназначена дл  предотвращени  неправильной работы триггеров 27 и 28 при включени х и выключени х устройства, а также при случайных сбо х этих триггеров, когда может изменитьс  нол рность формируемых ими импульсов.

Устройство позвол ет пе только производить индикацию момента точного наведепи , но и ипдипировать величину и знак смещени  от положени  точного наведени  путем измерени  величины и определени  знака разности последовательностей импульсов, формируемых схемами 15 и 16.

Claims (2)

1. Фотоэлектрический микроскоп по авт. св. № 494602, отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  чувствительности к знаку

смещени  системы наведени  от положени , соответствующего точному наведению на щтрих, и повышени  чувствительности к смещени м , он снабжен делителем отраженных световых потоков, вторым фотоприемником, соединенной входом с его выходом схемой преобразовани  импульсов фототока, идентичной схеме преобразовани  импульсов фототока блока фиксации момента совмещени  импульсов , и соединенными входами с одним из выходов, предназначенных дл  выделени  импульсов одиой и той же, папример, положительной пол рности, соответственно каладой из схем преобразовани  двум  цепочками, содержащими инвертор, логическую схему ИЛИ и триггер со счетным входом, в каждой из которых выход инвертора соединен с входом триггера, один из выходов последнего, одноименный в каждой цепочке, соединен с соответствующим входом схемы вычитани  длительностей импульсов блока фиксации момента совмещени  импульсов, а вторые выходы схем преобразовани  импульсов фототока, предназначенные дл  выделени  импульсов, нанример, отрицательной пол рности, перекрестно соединены со вторыми входами логических схем ИЛИ.

2. Фотоэлектрический микроскоп по п. 1, отличающийс  тем, что делитель световых потоков вьшолнен в виде диафрагмы в форме полудиска и объектива, размещенных между основным объективом и призмой двойного изображени , и светоделительной призмы , установленной между диафрагмой сканатора и фотоприемниками, плоскость расположени  полудисковой диафрагмы и илоскость предметов объектива совпадают с плоскостью изображений основного объектива, а изображение диаметра полудиска в плоскости диафрагмы и ребро светоделительной прпзмы ориентированы параллельно поперечной оси диафрагмы скапатора и проход т через оптическую ось системы.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР 0 0494602, кл. G 01В 19/34, 1975.