SU561926A1 - Способ измерени толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев кремни - Google Patents
Способ измерени толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев кремниInfo
- Publication number
- SU561926A1 SU561926A1 SU1737914A SU1737914A SU561926A1 SU 561926 A1 SU561926 A1 SU 561926A1 SU 1737914 A SU1737914 A SU 1737914A SU 1737914 A SU1737914 A SU 1737914A SU 561926 A1 SU561926 A1 SU 561926A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- epitaxial
- silicon layers
- measuring thickness
- diffusion silicon
- thickness
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
зонда освещаетс модулированным светом, прошедшим через фильтр 3. Фото-ЭДС замер етс селективным вольтметром 4 и регистрируетс стрелочным прибором 5. Резонансна частота селективного вольтметра выбираетс равной частоте прерывани света, образованной врашаюш,имс диском 6 с отверсти ми , который помеш,ен на оси электродвигател 7. Величина отклонени стрелочного прибора может быть проградуирована в единицах толшнны. Дав щий зонд служит одновременно одним из контактов: другой контакт осуществл етс через столик, на который кладетс образец.
изобретени
Способ измерени толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев кремни путем измеренй фото-ЭДС, возникшей в результате 1зОз« действи света на пластину, помещенную между металлическим основанием и металлическим зондом, касающимс освещенной стороны пластины, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерений, освещают пластину светом с длиной волны, большей красной границы, а металлическим зондом осуществл ют давление на пластину в пределах упругих деформаций.
Источники информации, црин тые во внимание при экспертизе:
1.«Тонкие пленки, их изготовление и применение . Пер. с нем. под ред. Н. С. Хлебникова . Госэнергоиздат, 1963.
2.Кофтанюк Н. Ф. и др. Измерение параметров полупроводниковых материалов. Издво «Металлурги , М., 1970, гл. V.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1737914A SU561926A1 (ru) | 1972-01-17 | 1972-01-17 | Способ измерени толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев кремни |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1737914A SU561926A1 (ru) | 1972-01-17 | 1972-01-17 | Способ измерени толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев кремни |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU561926A1 true SU561926A1 (ru) | 1977-06-15 |
Family
ID=20500154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1737914A SU561926A1 (ru) | 1972-01-17 | 1972-01-17 | Способ измерени толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев кремни |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU561926A1 (ru) |
-
1972
- 1972-01-17 SU SU1737914A patent/SU561926A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BR7409032A (pt) | Indicador de teste piranustico para determinacao da concentracao de lacteto-deidrogenase e processo para a preparacao do mesmo | |
| SU561926A1 (ru) | Способ измерени толщины эпитаксиальных и диффузионных слоев кремни | |
| ATA391077A (de) | Vorrichtung zur diffusion von stoffen zwischen zwei fluids mittels semipermeabler mebranen | |
| DE3218903A1 (de) | Lichtelektrische messeinrichtung | |
| ES414246A1 (es) | Aparato de medicion para realizar mediciones internas u otras mediciones lineales. | |
| AT358292B (de) | Messsonde fuer schichtdickenmessungen | |
| JPS533260A (en) | Film thickness measuring device of transparent thin film | |
| SU462072A1 (ru) | Способ измерени толщины эпитаксиальных пленок | |
| JPS5369069A (en) | Warpage measuring device of base plates | |
| IT1011983B (it) | Procedimento e dispositivo per la determinazione fotoelettrica della fosizione di almeno un piano di nitidezza di una immagine in un apparecchio ottico | |
| SU463038A1 (ru) | Индентер твердомера | |
| SU512422A1 (ru) | Способ измерени времени релаксации носителей зар да в кристалле | |
| GB1113882A (en) | Thickness measuring instruments | |
| SU474749A1 (ru) | Автокомпенсационное устройство дл дистанционного измерени активных сопротивлений | |
| DK527477A (da) | Polarografisk maalesonde med diffusionsfilmmembran | |
| ES406936A1 (es) | Procedimiento y dispositivos para la medida de los defectosopticos de un cuerpo, en particular de vidrio plano. | |
| JPS5235684A (en) | Method and apparatus for total reflection absorption measurement at lo w temperatures | |
| JPS5973705A (ja) | 平面度測定器 | |
| SU39986A1 (ru) | Прибор дл точных измерений при помощи интерференции световых волн | |
| SU380999A1 (ru) | Прибор для измерения микрошероховатости макрошероховатой поверхности дорожностроительных материалов и изделий | |
| JPS5213378A (en) | Automatic measuring device for reflexibility distribution | |
| SU619782A1 (ru) | Способ измерени толщины крупногабаритных неферромагнитных изделий | |
| SU533841A1 (ru) | Способ измерени контактных напр жений при прокатке | |
| SU879295A1 (ru) | Устройство дл измерени деформаций издели | |
| SU393A1 (ru) | Транспортир |