SU558327A1 - Устройство дл управлени электронными лучами - Google Patents
Устройство дл управлени электронными лучамиInfo
- Publication number
- SU558327A1 SU558327A1 SU2185085A SU2185085A SU558327A1 SU 558327 A1 SU558327 A1 SU 558327A1 SU 2185085 A SU2185085 A SU 2185085A SU 2185085 A SU2185085 A SU 2185085A SU 558327 A1 SU558327 A1 SU 558327A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- control
- electrodes
- electron beam
- control device
- beam control
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к электронной технике и может быть использовано в качестве диафрагм или линз преимущественно в многолучевых электронно-оптических системах дл технологических целей.
Известны устройства дл управлени электронными лучами дл электронно-оптических систем, выполненные в виде тонкого металлического листа с отверсти ми или множеством отверстий.
Однако использование металлического основани не позвол ет выполнить в устройстве множество электрически изолированных друг от друга электродов, что необходимо дл индивидуального управлени каждым электронным лучом.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс устройство дл управлени электронными лучами, содержащее диэлектрическое основание с нанесенными на него электродами, образующими электродные чейки.
Такое устройство может быть использовано как система управл ющих электродов дл многолучевых электронно-оптических систем. Однако в нем не предусмотрена электрическа изол ци управл ющих электродов друг от друга, что исключает применение его в многолучевых электронно-оптических системах дл индивидуального управлени каждым лучом . Кроме того, в этом устройстве возможно взаимное вли ние полей отдельных электродов , что ухудщает услови управлени электронными лучами.
Целью изобретени вл етс обеспечение индивидуального управлени электронными лучами.
Это достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве на обеих сторонах диэлектрического , основани нанесены общие дл всех чеек экранные электроды, а кольцевые управл ющие электроды выполнены в углублени х диэлектрического основани и изолированы друг от друга.
На чертеже показано предлагаемое устройство . На обеих сторонах диэлектрического основани 1 с отверсти ми 2 нанесены управл ющие 3 и экранные 4 электроды. Экранные электроды расположены ка поверхности, а управл ющие электроды - в углублени х основани и изолированы друг от друга диэлектрическими полосками 5, перпендикул рными плоскост м расположени управл ющих и экранных электродов. Каждый управл ющий электрод снабжен токоподводом 6 и контактной площадкой 7.
Распололгение управл ющих и экранных электродов в разных плоскост х и на обеих сторонах диэлектрического основани дает возможность иметь систему инливидуальных
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2185085A SU558327A1 (ru) | 1975-10-28 | 1975-10-28 | Устройство дл управлени электронными лучами |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2185085A SU558327A1 (ru) | 1975-10-28 | 1975-10-28 | Устройство дл управлени электронными лучами |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU558327A1 true SU558327A1 (ru) | 1977-05-15 |
Family
ID=20635866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2185085A SU558327A1 (ru) | 1975-10-28 | 1975-10-28 | Устройство дл управлени электронными лучами |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU558327A1 (ru) |
-
1975
- 1975-10-28 SU SU2185085A patent/SU558327A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4184188A (en) | Substrate clamping technique in IC fabrication processes | |
| ES8703679A1 (es) | Un dispositivo semiconductor | |
| ES467062A1 (es) | Electrodo bipolar. | |
| GB1509389A (en) | Electric discharge coating apparatus | |
| IE39611B1 (en) | Improvements in or relating to two-phase charge coupled devices | |
| KR960019421A (ko) | 전자 방출 장치 및 그 제조 방법 | |
| US4409487A (en) | Electrode arrangement for electrostatic deflection system | |
| US4163918A (en) | Electron beam forming device | |
| ES455017A1 (es) | Un metodo para fabricar un tubo de exhibicion de imagenes decolor. | |
| JPS5624744A (en) | Control plate for gas discharge type display unit and method of manufacturing same | |
| SU558327A1 (ru) | Устройство дл управлени электронными лучами | |
| GB1024925A (en) | A mass filter | |
| GB1190451A (en) | Ion Source for a Mass Spectrometer | |
| KR930702157A (ko) | 형광 프린터용 광원 | |
| ES8102414A1 (es) | Un tubo de imagen de color,perfeccionado | |
| GB1059599A (en) | Separation of ions which differ in their respective specific electric charges | |
| SE8008544L (sv) | Elektrod | |
| KR950009866A (ko) | 인라인형 칼라 음극선관용 전자총의 전압 인가 방법 및 전극 구조 | |
| ES468779A1 (es) | Un tubo de imagen de color perfeccionado, para visualizar i-magenes coloreadas. | |
| US2945124A (en) | Formation of electrical fields | |
| US3186884A (en) | Method of manufacturing grid plates | |
| US3496399A (en) | Ion gauge with collector plates anf anodes perpendicular to each other | |
| US3359447A (en) | Electrode assembly | |
| ES268355A1 (es) | Perfeccionamientos en la construcciën de dispositivos de extinciën de arco | |
| JPS5671254A (en) | Electronic source |