Claims (2)
Наиболее близким к изобретению по своей технической сущности и решаемой задаче вл етс устройство,, содержащее марку и визирную трубу,: состо щую из установленных на одной оптической оси пентапризмы, выполненной с возможностью поворота вокруг этой оси, объектива- - аксикона и наблюдательного микроскопа, включающего микро- обьектив, окул р и сетку, кинематически св занную с пентапризмой и окул ром 2J. Объективы трубы и наблюдательного микроскопа жестко св заны между собой и закреплены на неподвижной части устройства. Однако это хот и приводит к снижению требований к качеству изготовлени осевой системы , но уменьшает рабочий угол наведени на марку с 360 до 180 , что отражаетс на эксплуатационных качествах прибора и затрудн ет совмещение оптической оси объективов с осью вращени пентапризмы и сетки. Это ведет к росту погрешности измерени из-за децентрировки пентапрсзмы стносительно объективов.,.. Главным же недостатком этого усЯгройства вл етс невысока точность измерени котора ограничиваетс погрешностью, св занной с неточным изготовлением пентаприз мы. Погрешности изготовлени углоь пентапризмы , непосредственно вход щие в погреш ность измерени , составл ют в серийно г. :готовленных пентапризмах величину от 5 до Ю . Уменьшение этих гоу-псшпостсй и насто щее врем невозмо к - о, так как это повлекло бы за собой pirOKoe -усложнение технологического процесса и соответствугошее увеличение стоимости приборов. Цель изобретени - повышение точности измерени неплоскостности. Это достигаетс тем, что предлагаемый плоскомер снабжен механизмом регулировоч-jO ного перемещени сетки в плоскости, перпен дикул рной оптической оси трубы, а объективы трубы и микроскопа жестко св заны с пентапризмой. На чертеже изображена принципиальна схема плоскомера. Плоскомер состоит из двух основных узлов , визирной трубы и марки. Визирна тру- ба имеет неподвижный корпус 1, установлен ный па оегулируемых опорах 2, оптический микрометр в виде плоскопараллельной пластины 3, св занной с микровинтом 4, пен- тапризму 5, объектив-аксион 6 и наблюдательный микроскоп, состо щий из микрообъетива 7, окул ра 8 и расположенной в фокальной плоскости окул ра сетки 9, св занной с механизмом 10 регулировочных перемещений сетки, выполненным, например, в виде винта. Все оптические элементы трубы , т.е. не только пентапризма 5, окул р 8 и сетка Э, мо и объектив 6 и микрообъектив 7, расположены на подвижной части 11 трубы.. Марка имеет источник света 12, конденсор 13, диафрагму 14, отсчетный барабан подставки марки 15. 00 - оптическа ось визирной трубы. Плоскомер работает следующим образом Пучки света от диафрагмы 14, подсвечиваемой источником света 12 через конденсор 13 направл ютс на пластину 3, пентапризму 5 и попадают на аксикон 6, который формирует изображение диафрагмы 14 независимо от ее расположени вдоль линии визировани в предметной плоскости микроскопа . Микрообьектив 7 последнего переносит это изображение в плоскость сетки 9, гпе оно рассматриваетс глазом иаблюцате- л чеорз ок,-; р . Измеренир величины cven нзображс-ни ди.афрагмы относи- тельно штриха сетки, возникающее при наличии неплоскостности контролируемой поверхности , осуществл етс наклоном пластины 3 с помощью отсчетного барабана т-.-:икровинта 4 или смещением самой диафрагмы 14 посредством отсчетного барабана подставки марки 15. Снимаемые с отсчетаых барабанов показани дают значение контролируемой величины непосредственно в линейной мере Выполнение объективов трубы и наблю- дательного микроскопа поворотными позвол ет не только увеличить угол наведени на марку до 36О°, но и дополнительно повысить точность измерени . Таким образом, введение жесткой св зи между всеми оптическими элементами, выполнение объективов трубы и наблюдательного микроскопа поворотными вокруг оптической оси и введение механизма регулировочного перемещени сетки позвол ет значительно уменьшить погрешность измерени неплоскостности или при тех же догреш ност х существенно снизить требовани к изготовлению пентапризмы. Например, еспп раныие в известных устройствах д:1 контрол неплоскостности дл получени погрешности измерени неплоскостности в 1. 2 требовалось изготовить пентапризму с допуском в 1 , что находитс в пределе технологических возможностей, то при реализации предлагаемого устройства дотуск на пентапризму составит 10 , т.е. на пор док будет отличатьс от требовани к пентапризме в известных устройствах. Формула изобретени Оптический плоскомер, содержащий марку и визирную трубу, состо щую из последовательно установленных на одной оптической оси пентапризмы, выполненной с возможностью- поворота вокруг этой оси, объектива и наблюдательного микроскопа, включающего микрообъектив, окул р и сетку, кинематически св занную с пентапризмой и окул ром , отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени , он снабжен механизмом регулировочного перемещени сетки в плоскости, перпендикул рной оптической оси трубы, а объективы трубы и микроскопа жестко св заны с пентапризмой . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе: . Авторское свидетельство СССР № 241023, 42В Г2/05, 1966. The closest to the invention in its technical essence and problem to be solved is a device containing a mark and a sighting tube: consisting of a pentaprism mounted on the same optical axis, made with the possibility of rotation around this axis, the objective-axicon and an observational microscope including a micro objective lens, an eyepiece and a grid, kinematically associated with pentaprism and an eyepiece 2J. The lenses of the tube and the observation microscope are rigidly connected to each other and fixed on the fixed part of the device. However, although this leads to a reduction in the quality requirements for the manufacture of an axial system, it reduces the working angle of pointing to the brand from 360 to 180, which reflects on the performance of the device and makes it difficult to combine the optical axis of the lenses with the axis of rotation of the pentaprism and the grid. This leads to an increase in measurement error due to the decentering of pentapsism with lenses. But the main disadvantage of this tool is the low measurement accuracy, which is limited by the error associated with inaccurate pentaprism production. Pentaprism angles of manufacture, directly included in the measurement error, are serially produced: prepared pentaprisms range from 5 to Yu. The reduction of these values and at the present time is impossible to - o, since this would entail a pirOKoe - a complication of the technological process and a corresponding increase in the cost of the instruments. The purpose of the invention is to improve the accuracy of measuring flatness. This is achieved by the fact that the proposed ploskomer is equipped with a mechanism for adjusting the displacement of the grid in the plane, perpendicular to the optical axis of the tube, and the objectives of the tube and the microscope are rigidly connected with pentaprism. The drawing shows a schematic diagram ploskomera. Ploskomer consists of two main units, the sighting tube and the mark. The target tube has a stationary body 1, installed on the adjustable supports 2, an optical micrometer in the form of a plane-parallel plate 3 connected to the microscrew 4, pentaprism 5, an axion objective 6, and an observational microscope consisting of the microscope 7, the ocul 8 and in the focal plane of the ocular of the grid 9 connected with the mechanism 10 of the adjustment movements of the grid, made, for example, in the form of a screw. All optical elements of the pipe, i.e. not only the pentaprism 5, the eyepiece 8 and the E grid, the lens and the lens 6 and the micro lens 7 are located on the movable part 11 of the tube .. The mark has a light source 12, a condenser 13, a diaphragm 14, the reference drum of the 15. mark. 00 - optical axis sight tube. Ploskomer works as follows. The light beams from the diaphragm 14, illuminated by the light source 12 through the condenser 13 are directed onto the plate 3, the pentaprism 5 and fall on the axicon 6, which forms the image of the diaphragm 14 regardless of its location along the microscope plane. The microobjective 7 of the latter transfers this image to the plane of the grid 9, in which it is viewed by the eye and the eye plate, -; R . The measurement of the cven size of the image of the diaphragm relative to the grid stroke, which occurs when there is a non-planarness of the test surface, is carried out by tilting the plate 3 using the reading drum t -.-: crocant 4 or by shifting the diaphragm 14 itself by means of the reading drum of the brand 15. The readings taken from the reading drums give the value of the monitored quantity directly in a linear measure. The execution of the lenses of the tube and the observation microscope makes it possible not only to increase the angle imposed by and per brand up to 36 ° C, but also further improve the measurement accuracy. Thus, the introduction of a rigid connection between all optical elements, the execution of the lenses of the tube and the observation microscope around the optical axis and the introduction of the mechanism for adjusting the movement of the grid significantly reduce the error in measuring the flatness or, with the same tolerances, significantly reduce the requirements for the production of pentaprism. For example, in the known devices d: 1 control of flatness to obtain an error of measuring the flatness in 1. 2 it was required to make a pentaprism with a tolerance of 1, which is in the limit of technological capabilities, then the implementation of the proposed device will allow for a pentaprism to be 10, i.e. . the order will differ from the pentaprism requirements of known devices. Claim of the invention Optical ploskomer containing a mark and a sighting tube consisting of a pentaprism sequentially installed on the same optical axis, made with the possibility of rotation around this axis, an objective lens and an observational microscope including a micro lens, an eyepiece and a grid kinematically associated with pentaprism and The ocular rom, characterized in that, in order to improve the measurement accuracy, it is equipped with a mechanism for adjusting the movement of the grid in a plane perpendicular to the optical axis of the tube, and the objectives of the tube and kroskopa rigidly associated with a pentaprism. Sources of information taken into account in the examination:. USSR author's certificate number 241023, 42B G2 / 05, 1966.
2. Прибор фирмы Тейлор-Гобсон по патенту Великобритании 759878 кл.97 (1)J 1955.2. A Taylor-Hobson device according to UK patent 759878 Cl. 97 (1) J 1955.
7575
Lip Lip
V L .Vl.
Иг -d-jIg -d-j
-;4-;four
22
ГГYy
ГЛGL
/////////./////////.