SU529363A1 - Фотоэлектрическое устройство дл измерени параметров перемещени кареток - Google Patents

Description

на котором окпа противолежащих сторон размевдены одно против другого по разные стороны центра  иафрт- мьц и устанон-леаной за пластиной перед объективом зрительной трубьг, и парами оптических клиньев, каждый из которых размещен за окноы диафрагмы по ходу лучей.

На фш. 1 дана схема предлагаемого устройства; на фиг, 2 - изображена диафрагма устройства; на фиг. 3 - ви.Д на диафрагму сверху; на фиг. 4 - вдд на диафрагму сбоку.

Устройство (см.фиг, 1) содержит источник 1 света, конденсор 2, точечную диафрагму 3, объектив 4, образующие в совокупности коллиматор, разделительную пластину 5, устанозлеккую над yrnotvi в 45 в ходе лучей перед колл 7у;атором, два плоских зеркала 6 и 7, ка;;:,цое из которых установлено по разные сторо1-гы разде.штельной пластины , а зеркало 6 подвижно, диафрагму 8 с дву.4  парами окон и две пары вертикальных и горизонтальных оптическ х клиньев 9 и 10, В фокальной плоскости объеютива 11 зр:й)еш1ной трубы размещены фотоприемники 12--14. один КЗ которых {фотоприемнг  14) со ичетчихом 13, а два Других (фотоГ|:ркем ш:ки 13, 12) фазометром 16.

На ФЕПГ. показано выполнение диафрамы 8 и располо ч-Оние оптическ х клиньев 9 и 10 относительно циафрагмы S. Четыре окна диафрагмы растюложены по периметру пр моу1;т;л:ьт;ик;л так, что о.кнапрот вопежащйх сторон размепсн, одно против apj-roro по разные стороны центра диафрагмы с рассто нием междз Ti-;:-,fK,

Работает устройство следующим образом .

Источник 1 света проектируетс  с помощью конденсора 2 в плоскость точечной диафрагмы 3. Параллельный пучок лучей направл етс  на разделительную пластину 5, где расцепл ето  на два пучка. Пзоле отражени  от зеркал 6, 7 световые пучки направл ютс  обратно на пластину, где и Проис ;:одит интерференни . 11Н1ерференцион-. на  картина наб аодаетс  о помощью объектива 11 зрительной трубы. Между пластинкой и объектиеом зрительной трубы в параллельном пуч1-:э света установлена диафрагма 8 с парами отклон ющих клиньев 9,10. Диафрагма 8 имеет два вертикальных и два :.: оризонтальньп- окна (см. фиг. 2), против которых установлены клинь  развод щие пучки ске;та от окон в фокальной плоскости зрительной . Излучение от интерферэнциальной картины, проход щее через вертикальную пару окон несет информадшо п повороте зеркела б интерферометра BDEpvT DCE, иернекди чУл вной к плоскости (см.фиг. 1) и воспринимаетс  фотоприемниками 12, 13, а горизонтальна  пара окон - о повороте зеркала вокруг оси, лежащей в этой плоскости., к зоспрш имаетс  другой парой фотоприек.НИКОВ . Окна имеют одинаковый размер и расположены симметрично относительно центра диафрагмы. Через центральное окно диафрагмы проходит световой поток, несущий информацию о линейном перемещении зеркала, который воспринимаетс  фотоприемником 14 и счетчиком 15 полос.

Измерение углов с помощью предлагаемого устройства заключаетс  в измерении разности фаз двух световых потоков от интерференциогшой полосы, проход щих через горизонтальные или вертикальные окна /зиафрагмы . Измерени  провод тс  фазометром на частоте определ емой скоростью перемещени  полос при смещении зеркала 6.

Перед началом измерений путем наклонов зеркап интерференционна  картина юстируетс  на максимальную щирину полосы, сравниваемые сигналы вьгравниваютс  по амплитуде и затем подаютс  на фазометр. Измерени непр молинейности перемещени  кареток производитс  в двух B3aj5MHO перпендикул рных направлени х с помощью фазометра подключаемым последовательно к Горизонтальной или вертикальной паре фотоприемников, Измереьш  углов поворота ссуздествл етс  таKJDv/ же образом Однако при этом необходимо одно из зеркал интерферометра плавно смещать вдоль оси в процессе сн ти  отсчета по фазометру.

Направление поворота зеркала можно определ ть по фазометру, фиксиру  отставание (опережение) по фазе сравниваемые сигналы .

То шость измерений углов относительно дву:х осей одинакова, интервал измерений может составл ть ве.-шчину пор дка нескольких секунд к зависит от щирины окон диафрагмы в наптэавлешги 8

изобретени 

Ф о р м у л

Фотоэлб-Ктрическое устройство дл  измерени  параметров перемещени  кареток, сопержащее колшгматор с монохроматическим источником света, например лазером, разделительную пластину, установленную в ходе лучей перед коллиматором, два плоских зеркала , одно из которых неподвижно и установлено на пути лучей, прошедших пластину, второе св зано с кареткой и установлено на пути лучей, отраженных от пластины, объектив зрителькой трубы, установленный на пути лучей, отра,л;енньгх от зеркал и фотоприемНИКИ , отличающеес  тем, что, с целью измерени  параметров по двум координатам , оно снабжено диафрагмой, имеющей четыре окна, расположенные по пр моугольника, на котором окна противолежащих сторон размещены одно против другого по разные стороны центра диафрагмы и установленной за пластиной перед объективом зрительной трубы,.и двум  парами

оптических клиньев, каждый из котор гх раэмещен за окном диафрагмы по ходу лучей.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Воронцов Л. И. Фотоэлектрические системы контрол  линейных величин , М., 1965, с. 59-61.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 411300, М.Кл. G01 В 9/02 (прототип).

Фиг.1

Фиг.З

W

l-

10

I ФиеЛ