SU416653A1 - - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к оптико-механическим средствам измерени  перемещений и может быть использовано дл  точных измерений угловых смещений.

Известно автоколлимационное устройство, содержаще лазер, установле ный в луче лазера отражающий элемент, предназначенный дл5( св зи с контролируемым объектом, и полупрозрачное зеркало, расположенное в интерферирующих лучах, выполненное в внде призмы с покрытием. Однако точность измерений известным устройством недостаточна , так как угловые смещени  контролируемого объекта фиксируютс  по трафарету, coBNreщенному с изображением плоскости интерференции .

Цель изобретени  - повышение точности измерени  угловых контролируемого объекта.

Дл  этого устройство снабжено симметриино расположеннымн относительно нолунрозрачного зеркала на оси, проход щей через него, двум  зеркалами, угол между которыми составл ет 90°, и трем  четвертьволновыми пол ризуюпщми элементами, установленными перед зеркалами со взаимноортогональньп и ос ми пол ризации.

Дл  расширени  дианазопа измер емых величин в устройство введен канал грубого от2

счета, выполненный в виде телескопической зрительно трубы.

На фиг. 1 представлена схема предлагаемого устройства, вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

Лвтоколлнмацнонное устройство содержит лазер 1, четвергьвол)1овые пол ризующие элементы 2, зеркало 3, призму 4, отражающий элемент 5, объективы 6 п 7, зеркало 8, полупрозрачные зеркала 9 п 10.

Устройство работаег следующнм образом.

Лучи, отраженные от элемента 5 и нропюдHiHo через объектив 6, наблюдаютс  с помогн .ыо обт,ект11Р.а У и трафарета (1ен1еткн). По положению изображени  относнтельно трафарета суд т об угловых смен1,енн х контролир емого объекта; дл  более точного отсчета угловых смещений одновременно нрн помопщ объектива 7 и того же трас})арета наблюдают ин 1ерферен1,ию лучеГ, отраж енных от элемента 5 н зеркал 8, 9 н 10. Дл  исключен когерентного фона , отрал енн 1 е от зеркал 8, пол р 3оваи111 практическ ортогонально относнтельно лучей, через объект в 6.

Устройство достаточ 1о Т рос10 может быт, переиел.ено ia автоматическое измере е смеН1:е11 1 . Дл  этого фотозлектр ческа  с 1стема анализа ста 1авл 1ваетс  вместо объект 1ва 7.

3

Предмет изо б р о т е и и  

Автокол л им анионное устройство, содержащее лазер, установлепиын в .туче лазера отражающий з„темеит, иредпазпаченнь ;1,л  св зи с контролируемом обт.ектом, н иолупрозрачиос зеркало, раеноложсн.ное в интерферирующих лучах, отличающеес  тем, что, с целью повьпиени  точности измерени 

-Ь-..,

ф25з-S

п|--

угловых смешений контроли)уе.мого обье1{та, оно снабжено симметрнчио расположенлыми относнтельно 11олуг1роз ачного зеркала на оси, ироход и1,сй через него, д.вум  зеркалами, yro;i между которыми составл ет 90°, и трем  чствсртвволиовы:г1и иол ризуюнтими элементами , установленными неред зеркалами со взаимиоортогоиальными ос ми иол   риз а ци и.