SU522458A1

SU522458A1 - Рентгеновский трехкристальный спектрометр

Info

Publication number: SU522458A1
Application number: SU2023692A
Authority: SU
Inventors: Эрнест Константинович Ковьев; Михаил Валентинович Ковальчук; Степан Алексеевич Семилетов; Рафик Мамед Оглы Имамов; Юрий Николаевич Шилин
Original assignee: Ордена Трудового Красного Знамени Институт Кристаллографии Им.А.В.Шубникова; Предприятие П/Я Х-5594
Priority date: 1974-05-15
Filing date: 1974-05-15
Publication date: 1976-07-25

Description

(54) РЕНТГЕНОВСКИЙ ТРЕХКРИСТАЛЬНЫЙ СПЕКТРОМЕТР

Изобретение относитс к рентгеновским спектрометрам дл исследовани структурных несовершенств кристаллов.

Известен трехкристальньш спектрометр, содержащий рентгеновскую трубку, коллиматор, первьш и второй кристаллы-монохрюматоры, исследуемый кристалл, держатели указанных кристаллов с устройствами поворота, причем рентгеновска трубка и коллиматор установлены на платформе, котора выполнена поворотной относительно оси поворота первого кристалла монохрома тора. Известньш спектрометр содержит также детектор излучени , устройство его поворота и устройство дл отсчета углов дифракции. Однако, пользу сь этим спектрометром, невозможно исследовать монокристаллы, в частности, монокристаллические пленки при углах Вульфа-Брэгга, близких к 90°.

Цель изобретени - расширить диапазон иссле дуемых углов дифракции.

Дл этого исследуемьш кристалл, второй крио талл- монохроматор и детектор излучени с соответствующими устройствами поворота установлены на параллельных направл ющих и введен детектор излучени с устройством независимого поворота относительно оси поворота исследуемого кристалла .

На чертеже изображен предлагаемый рентгеновский спектрометр.

Он содержит первый и второй кристалл-монохроматоры 1 и 2, исследуемьш кристалл 3, устройства поворота указанных кристаллов с ос ми 0,0,0 , источник 4 рентгеновского излучени , коллиматор 5, счетчики излучени 6 и 7, устройства поворота счетчиков с ос ми поворота О и О , причем ось О совпадает с осью О поворота исследуемого кристалла 3. Исследуемьш кристалл 3 и счетчик 6, второй кристалл-монохроматор 2, счетчик излучени 7 установлены на пр молинейных направл юидах 8, 9, 10 соответственно . Источник 4 рентгеновского излучени и коллиматор 5 установлены на поворотной платформе 11, ось поворота которой совпадает с осью О поворота первого кристалла-монохроматора 1 Дл перемещени кристаллов 2, 3 и счетчиков 6, 7 вдоль направл юш11х предусмотрены устройства перемещени 12, 13 и 14.

Claims

Рентгеновский спектрометр работает следующим образом. Рентгеновский луч от источника излучени падает на первый кристалл 1, который поворотом вокруг своей оси вращени О , а также поворо том источника 4 рентгеновского излучени на 2 выводитс в отражающее положение так, что отраженный от нее луч идет вдоль направл ющей 8 и регистрируетс счетчиком 6. Затем повора чивают с помощью механизма совместного поворота источника рентгеновского излучени и первого кристалла-монохроматора луч, отраженный этм кристаллом так, чтобы он проходил через ось О второго кристалла-монЪхроматора 2, расположенную на направл ющей 9. После этого второй кристалл-монохроматор 2 поворотом вокруг оси О (около значени V Б ) устанавливаетс в отражающее положение, при этом отраженный от него луч фиксируетс счетчиком излучени 6, наход щимс на оси О исследуемого кристалла . Затем ось вращени исследуемого кристалда О с помЬщью устройства перемещени 12 вдоль направл ющей 8 устанавливаетс на луч, отраженньш вторым кристалл-монохроматором
2. Аналогично двум первым вьшодитс в отражающее положение третий исследуемый кристалл 3 (мо нокристаллическа пленка). При вращении исследу змого кристалла 3 в определенном угловом интерв ле вокруг оси О счетчик 7 предаарительно с помощью устройства перемещени 14 вдоль своей направл ющей 10 и вращени вокруг оси О , наст роенный на отражаемый исследуемым кристаллом 3 луч, зарегистрирует кривую диффракционного отр жени . Переход на другие значени углов дифракщги осуществл етс последовательным поворотом луча, отраженного первым кристалл-мо но хромато ром 1, с помощью поворотной платформы 11, поворотами кристаллов 2 и 3 вокруг своих осей О и О и их линейными смещени ми в новые положени на соответствующих направл ющих. Расположение кристаллов и счетчиков на разных параллельных направл ющих практически исключает ограничени , налагаемые на величину утла дифракции УБ конечными размерами механических частей прибора (трубки, счетчика, кристаллодержателей ), и дает возможность проводить измерени при брэгговских углах до 88° (2 VB -176°). Описанный рентгеновский спектрометр позволит осуществить с помощью неразрушающих рентгеновских методов преш1зионное измерение важнейпшх параметровмонокристаллических слоев, таких как концентраци и распределение примеси , измерение параметра кристаллической рещетки и т. д. Формула изобретени Рентгеновский трехкристальньш спектрометр, содержащий рентгеновскую трубку, коллиматор, первый и второй кристаллы-монохрома торы, исследуемый кристалл, держатели указанных кристаллов и устройства поворота каждого кристалла, детектор излучени , устройство поворота детектора и устройство отсчета углов дифракции, причем рентгеновска трубка с коллиматором установлены на платформе , поворотной относительно оси поворота первого кристалла-монохроматора, отличающийс тем, что, с целью распшрени диапазона исследуемых углов, исследуемый кристалл, второй кристалл-монохроматор, детектор излучени с устройствами их поворота установлены на параллельных направл ющих и введен детектор узлучени с устройством независимого поворота относительно оси поворота исследуемого кристалла.