SU469285A1 - Устройство дл вращени ,вертикального перемещени и взвешивани слитка,выт гиваемого из расплава по способу Чохральского - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВРАЩЕНИЯ, ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И ВЗВЕШИВАНИЯ СЛИТКА, ВЫТЯГИВАЕМОГО ИЗ РАСПЛАВА ПО СПОСОБУ ЧОХРАЛЬСКОГО, включающее держатель слитка, ггодвешен- ный на т ге, проход щей в полости штока и передающей усилие на тензо- элементы, отличающеес  тем, что, с целью увеличени  точности измерени  веса слитка, т га выполнена в виде упругой нити, шар- нирно св занной с тензоэлементами, которые помещены в неподвижно установленный корпус, а верхний конец штока введен в корпус с тензоэлемен— тами при помощи подшипника.Г^^^ ,^'/«(Лс:•^^4^О5;о ю00ел

Description

1V Изобретение относитс  к области выращивани  полупроводниковых материалов , в частности, может быть использовано при выращивании монокрис таллов по способу Чохральского. Известно устройство дл  вращени  вертикального перемещени  и взвешивани  слитка, в котором держатель слитка подвешен на т ге, проход щей в полости штока и передающей усилие нл тензоэлементы, Тензоэлементы вра щаютс  вместе со штоком и соединены с контрольно-регистрирующей аппаратурой через вращающиес  контакты, поэтому полезные сигналы значительно зашумЛены помехами (до 25% по амплитуде) от термо-ЭДС, наводимой в результате трени  неподвижных контактов о вращающиес  контактные кольца. Целью изобретени   вл етс  разработка устройства, позвол ющего устранить указанные вьше помехи контрол  и регулировани  технологических параметров за счет исключени применени  скольз щих контактов дл  передачи сигналов с устройства на тензоэлементы. Дл  этого т га, на которой подвешен держатель слитка, выполнена в виде упругой нити, шарнирно св занной с тензоэлементами, помещенньв4и в неподвижно установленнь1й кор пус, а верхний конец штока введен в корпус при помощи подшипника. На чертеже приведена функциональ на  схема устройства. Устройство дл  вращени , вертикального перемещени  и взвешивани  слитка включает полый шток 1 в герметичной камере 2 с приводами 3 вращени  и перемещени , упругую нитьт гу 4, проход щую в полости охлаждаемого штока, па которой подвешен держатель 5 слитка, устройство 6 дп  взвешивани  кристалла, расположенное . вне зоны действи  высоких температур. Верхн   часть т ги 4 закреплена в подшипнике 7 качени , внешн   неподвижна  обойма которого непосредственно соединена с устройством 6 взвешивани , расположенным в герметичном корпусе 8. На вращающемс  штоке 1, имеющем уплотнение 9, установлен радиальный шарикоподшипник 10, внешние неподвижные обоймы которого закреплены в корпусе 8. Вертикальна  направл юща  11 исключает вращательное движение корпуса 8. На т ге 4 подвешен держатель 5 слитка. Вращение слитку 12 передаетс  от штока 1 через наконечник 13 держател  5. Дл  свободного перемещени  держател  слитка в вертикальном направлении наконечник 13 имеет прорези, в которых свободно перемещаетс  штифт 14. Работа устройства состоит в следующем . Вращение от штока 1 передаетс  через наконечник 13 слитку 12. Подшипник 7 качени , радиальный шарикоподшипник 10 и вертикальна  направл юща  11 исключает вращательное движение устройства 6 взвешивани , наход щегос  в корпусе 8 относительно герметичной камеры.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВРАЩЕНИЯ, ВЕРТИКАЛЬНОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И ВЗВЕШИВАНИЯ СЛИТКА, ВЫТЯГИВАЕМОГО ИЗ РАС-

   ПЛАВА ПО СПОСОБУ ЧОХРАЛЬСКОГО, включающее держатель слитка, подвешенный на тяге, проходящей в полости штока и передающей усилие на тензоэлементы, отличающееся тем, что, с целью увеличения точности измерения веса слитка, тяга выполнена в виде упругой нити, шарнирно связанной с тензоэлементами, которые помещены в неподвижно установленный корпус, а верхний конец штока введен в корпус с тензоэлементами при помощи подшипника.

   О СО ьэ

   QO сл

   1 469285