SU465445A1 - Механизм совмещени масок с подложками - Google Patents

Description

(54) МЕХАНИЗМ СОВМЕЩЕНИЯ МАСОК С ПОДЛОЖКАМИ

Изобретение относитс  к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры, в частности к устройствам дл  изготовлени  тонкопленочных микросхем.

Известны механизмы совмещени  масок с подложками, преимущественно дл  вакуумной напылительной установки непрерывного действи , состо щие из корпуса, в котором размещены неподвижные направл ющие, передвижных касет с закренленными на них масками н цепочки соединенных носледовательно передвижных кассет с закренленными на них подложками.

Недостатком известных устройств  вл етс  то, что осаждение производитс  на неподвижные подложки через неподвижно установленные совмещенные с ними маски.

Цель изобретени  - обеспечение возможности совмещени  маски с подложкой во врем  безостановочного движени  последней.

Предлагаемый механизм выполнен в виде бесконечной цепи, звень ми которой  вл ютс  кассеты с прикрепленными к ним масками, снабженные роликами, взаимодействующими с неподвижными направл ющими, кинематически св занной с цепочкой соединенных последовательно передвижных кассет с подложками .

На фиг. 1 изображен предлагаемый механизм , общий вид; на фиг. 2 - фазы совмещени  механизмом кассет с подложками и масками; на фиг. 3 - кассета-спутник с подложками . Механизм совмещени  масок с подложками,

размещенный в установке, содержит соединенные носледовательно с помощью щелевого шлюза 1, рабочие камеры 2, из которых к крайним подсоедин ютс  щелевой щлюз загрузки 3 и щелевой шлюз выгрузки 4, снабженные вакуумной системой откачки 5. Внутри каждой рабочей камеры 2 размещаетс  испаритель 6 и направл ющие 7 и 8 механизма (фиг. 2), но которым с помощью роликов 9 и 10 перемещаютс  вход щие в состав механизма составленные в бесконечную цепь кассетымаскодержатели 11 с масками. Перед шлюзом загрузки 3 в пылезащитном скафандре 12 (фиг. 1) размещаетс  механизм подачи 13 многоместных спутников 14 (фиг. 3) с закрепленными на них подложками 15.

Спутник 14 снабжен роликами 16, пазами 17 и центрирующими отверсти ми 18, которые вход т в зацепление с выступами 19 (фиг. 2)

кассет-маскодержателей 11 с выступами 20 (фиг. 1) т нущего механизма 21. К щелевому шлюзу выгрузки 4 крепитс  пылезащитный скафандр 22 с размещенным в нем механизмом 23 съема спу-тников с готовыми издели ми .

Механизм совмещени  масок с подложками работает следующим образом.

Многоместный спутник 14 с закрепленными на нем подложками 15 устанавливаетс  в пылезащитном скафандре 12, из которого он с помощью механизма подачи 13 и рокилов 16 при движении вверх входит в зацепление с пазами 17 предыдущего спутника 14, с помощью т нущего механизма 21 через щлюз загрузки 3, имеющий вакуумную систему откачки 5, спутники 14 попадают в рабочую камеру 2.

Попав в рабочую камеру 2, спутники 14 и подложки 15 прогреваютс  до заданной температуры . Одновременно, двига сь вдоль рабочей камеры 2, спутники 14 отверсти ми 18 через выступы 19 перемещают кассеты-маскодержатели 11, которые составлены в бесконечную цепь механизма совмещени . Переместившись на верхний горизонтальный участок (фиг.2), кассеты-маскодержатели своими роликами 9 и 10 ориентируютс  по пазам 7 и 8 в горизонтальной плоскости. Затем, двига сь с помощью спутников 14, кассета по пазам 7 и 8 задающим ей параллельное самой себе перемещение в вертикальной плоскости входит выступами 19 в отверсти  18 спутника 14.

Таким образом происходит предварительна  ориентаци  спутника 14 и кассет-маскодержателей 11. При дальнейшем их синхронном движении происходит совмещение масок с подложками 15. После совмещени  происходит напыление сло  покрыти . Пройд  зону

над испарителем 6 и перемеща сь по пазам 7 и 8 параллельно самой себе вперед и вниз, кассета выходит из зацеплени  со спутника ми 14.

После нанесени  всех слоев подложка 15 на многоместном спутнике 14 поступает в щелевой щлюз выгрузки 4, пройд  который, она попадает на механизм съема спутников 14, откуда поступающие спутники 14 извлекаютс  по мере накоплени .

Предмет изобретени 

Механизм совмещени  масок с подложками, преимущественно дл  вакуумной напылительной установки непрерывного действи , состо щий из корпуса, в котором размещены неподвижные направл ющие, передвижных кассет с закрепленными на них масками и цепочки соединенных последовательно передвижных кассет с закрепленными на них подложками , отличающийс  тем, что, с целью

обеспечени  возможности совмещени  маски с подлол кой во врем  безостановочного движени  последней, он выполнен в виде бесконечной цепи, звень ми которой  вл ютс  кассеты с прикрепленными к ним масками, снабженные роликами, взаимодействующими с неподвижными направл ющими, кинематически св занной с цепочкой соединенных последовательно передвижных кассет с подложками .