SU456976A1

SU456976A1 - Method for measuring surface profile irregularities

Info

Publication number: SU456976A1
Application number: SU1786483A
Authority: SU
Inventors: Михаил Абрамович Бельфор; Юрий Петрович Кузьмин
Original assignee: Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date: 1972-05-19
Filing date: 1972-05-19
Publication date: 1975-01-15

Description

II

Изобретение относитс к области линейных измерений и может быть использовано дл измерени неровностей профил поверхности .The invention relates to the field of linear measurements and can be used to measure the irregularities of the surface profile.

Известен способ измерени неровностей профил поверхности, заключающийс в том, что датчиком ощупывают поверхность на базовой длине и преобразовывают неровности ее профил в амплитудно-модулированный сигнал, сигнал, соответствующий неровност м профил относительно огибающей профил , усиливают, детектируют и регистрируют.The known method of measuring surface profile irregularities consists in that the sensor feels the surface at the base length and transforms the irregularities of its profile into an amplitude-modulated signal, a signal corresponding to the profile irregularities relative to the envelope of the profile, amplified, detected and recorded.

Известный способ обладает недостаточной точностью измерени неровностей профил поверхности.The known method has insufficient accuracy of measuring the irregularities of the surface profile.

С целью увеличени точности измерени по предлагаемому способу амплитуды одной пол рности сигнала датчика привод т к нулевому уровню, выдел ют из полученного сигнала сигнал, соответствующий огибающей профил , и им ограничивают по амплитуде сигнал, амплитуды одной пол рности которого приведены к нулевому уровню.In order to increase the measurement accuracy of the proposed method, the amplitudes of one polarity of the sensor signal are zeroed out, the signal corresponding to the envelope of the profile is separated from the received signal, and the signal whose amplitudes of one polarity are zeroed out is limited in amplitude.

На чертеже показана схема устройства, реализующего предлагаемый способ.The drawing shows a diagram of the device that implements the proposed method.

Синусоидальное напр жение несущей частоты с выхода генератора 1 пбдают на датчик 2, которым ощупывают поверхность на базовой длине и преобразовывают неровности ее профил в амплитудно-модулированный сигнал . Выходной сигнал датчика 2 усиливают в предварительном усилителе 3, и его амплитуды одной пол рности привод т к нулевому уровню.The sinusoidal voltage of the carrier frequency from the output of the generator 1 is applied to the sensor 2, which feel the surface at the base length and convert the irregularities of its profile into an amplitude-modulated signal. The output of sensor 2 is amplified in preamplifier 3, and its amplitudes of one polarity lead to zero.

Выходной сигнал усилител 3 подают через вспомогательный детектор 4 и фильтр 5 нижних частот и непосредственно на входы ограничител его «есущей частоты.The output signal of the amplifier 3 is fed through an auxiliary detector 4 and a low-pass filter 5 and directly to the inputs of its limiter, the operating frequency.

Во вспомогательном детекторе 4 из выходного сигнала усилител 3 выдел ют сигнал, соответствующий его огибающей. В фильтре 5 нижних частот подавл ют верхние частоты этого сигнала, превыщающие частоты дл заданной базовой длины измер емой поверхности . Выходным сигналом фильтра низких частот, соответствующим огибающей неровностей профил измер емой поверхности, ограничивают по амплитуде выходной сигнал предварительного усилител 3 в ограничителе 6 его несущей частоты. При этом уровень ограничени не пересекает сигналы, соответствующие неровност м профил измер емой поверхности.In the auxiliary detector 4, a signal corresponding to its envelope is extracted from the output of amplifier 3. In the low pass filter 5, the high frequencies of this signal are suppressed, exceeding the frequencies for a given base length of the measured surface. The output of the low-pass filter corresponding to the envelope of the irregularities of the profile of the measured surface is limited in amplitude by the output signal of the preamplifier 3 in the limiter 6 of its carrier frequency. At the same time, the level of restriction does not intersect the signals corresponding to the unevenness of the profile of the measured surface.

В результате получают только полезный сигнал, модулирующий ограниченные импульсы несущей частоты.The result is only a useful signal that modulates the limited pulses of the carrier frequency.

Выходной сигнал ограничител 6 несущей частоты усиливают в оконечном усилителе 7 и детектируют в детекторе 8. Выходной сигнал детектора 8, соответствующий неровност м профил измер емой поверхности, регистрируют в выходном устройстве 9.The output signal of the carrier frequency limiter 6 is amplified in the final amplifier 7 and detected in the detector 8. The output signal of the detector 8, corresponding to the unevenness of the profile of the measured surface, is recorded in the output device 9.

Предмет изобретени Subject invention

Способ измерени неровностей профил поверхности, заключающийс в том, что датчиком ощупывают поверхность на базовой длине и преобразуют неровности ее профил в амплитудно-модулированный сигнал, сигнал.A method of measuring irregularities of a surface profile, which means that the sensor probes the surface at a base length and transforms the irregularities of its profile into an amplitude-modulated signal, a signal.

соответствующий неровност м профил относительно огибающей профил , усиливают, детектируют и регистрируют, отличающийс тем, что, с целью увеличени точности измерени , амплитуды одной пол рности сигнала датчика привод т к нулевому уровню, выдел ют из полученного сигнала сигнал, соответствующий огибающей профил , и им ограничивают по амплитуде сигнал , амплитуды одной пол рности которого приведены к нулевому уровню.the corresponding profile irregularity relative to the profile envelope is amplified, detected and recorded, characterized in that, in order to increase the measurement accuracy, the amplitudes of one polarity of the sensor signal are zeroed, the signal corresponding to the envelope profile is extracted from the received signal limit the amplitude of the signal, the amplitudes of one polarity are reduced to zero.