SU437997A1

SU437997A1 - Reproduction lens

Info

Publication number: SU437997A1
Application number: SU1774431A
Authority: SU
Inventors: Александр Пантелеймонович Грамматин
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1972-04-15
Filing date: 1972-04-15
Publication date: 1974-07-30

Description

1one

Изобретение относитс к линзовым репродукционным объективам и может быть использовано , например, в установках проекционной фотолитографии при производстве микроэлектрониь1х приборов.The invention relates to lens reproduction lenses and can be used, for example, in installations of projection photolithography in the manufacture of microelectronic devices.

Известны репродукционные объективы, содержащие двухсклеенный компонент, положительную одиночную линзу и установленную между ними апертурную диафрагму.Reproduction lenses are known that contain a double-glued component, a positive single lens and an aperture diaphragm mounted between them.

Предложенный объектив отличаетс от известного тем, что он снабжен двум отрицательными апланатическими менисками, обращенными выпуклост ми к диафрагме, один из которых установлен перед двухсклеенным компонентом, а второй за положительной линзой .The proposed lens differs from the known one in that it is equipped with two negative aplanatic meniscuses, facing outwardly convex to the diaphragm, one of which is installed in front of the double-glued component and the second behind the positive lens.

Это позвол ет увеличить поле безаберрациопного изображени .This makes it possible to increase the field of a non aberration image.

Па чертеже показана схема репродукционного объектива.Pa drawing shows a diagram of a reproduction lens.

Объектив состоит из аплапатической линзы 1, двухсклеенноГо компонента 2, одиночной положительной линзы 3, второй апланатической линзы 4 и апертурной диафратмьТ 5. Паличие аплан-атических линз 1и4 позвол ет полиостью исправить или в случае необходимости даже переисправить кривизну изображени и астигматизма свойственные объективу, состо щему из двухсклеенногокомпонента 2 и одиночной положительной линзы 3.The lens consists of an aplapatic lens 1, a dual-component component 2, a single positive lens 3, a second aplanatic lens 4, and an aperture diaphragm T 5. The tip of the aplanaristic lenses 1 and 4 allows you to completely correct or, if necessary, correct the curvature of the image and astigmatism characteristic of the lens from double glued component 2 and single positive lens 3.

Такие особенности конструкции позвол ют получить объектив упрощенной конструкцииSuch design features provide a simplified lens design.

с улучшенной коррекцией аберраций, в то врем как известные репродукционные объективы имеют либо простую конструкцию и малое поле безаберрационного изображени , либо с.чожную конструкцию, содержащую больщоеwith improved aberration correction, while known reproduction lenses have either a simple design and a small aberration-free image field, or a social construction containing a large

число линз.number of lenses.

Предлагаемый объектив может быть использован дл проекционной фотолитографии при производстве микроэлектронных приборов с минимальными элементами пор дка 3-The proposed lens can be used for projection photolithography in the manufacture of microelectronic devices with minimum elements of the order of 3-

4 мкм.4 microns.

Предмет изобретени Subject invention

Репродукционный объектив, содержащий двухсклеенный компонент, положительную одиночную линзу и установленную между ними апертурную диафрагму, отличающийс тем, что, с целью увеличени пол безаберрационного изображени , он снабжен двум отрицательными апланатическими менисками, обращенными выпуклост ми к диафрагме, один из которых установлен перед двухсклеенным компонентом, а второй за положительной линзой.A reproduction lens containing a two-glued component, a positive single lens and an aperture diaphragm installed between them, characterized in that, in order to increase the field of the aberration-free image, it is equipped with two negative aplanatic meniscuses reversed to the diaphragm convexity, one of which is installed in front of the double-glued component, and the second for a positive lens.

nini

ШтPC