Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Физики Полупроводников Со Ан СссрfiledCriticalИнститут Физики Полупроводников Со Ан Ссср
Priority to SU1790173/25ApriorityCriticalpatent/SU429604A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU429604A1publicationCriticalpatent/SU429604A1/ru
Способ изготовления полупроводниковых приборов с использованием облучения полупроводника высокоэнергетическими легкими частицами, например электронами, отличающийся тем, что, с целью увеличения стабильности уменьшения времени жизни неравновесных носителей заряда в полупроводнике, облучение ведут при температуре выше температуры начала собственной проводимости, но ниже температуры эффективной диффузии примеси.
SU1790173/25A1972-05-291972-05-29Способ изготовления полупроводниковых приборов
SU429604A1
(ru)