SU406244A1 - В птб - Google Patents

Description

1

Изобретеиие относитс  к техиике производства Г1олуировод 1нковых нрнборов и может быть иснользовано дл  автоматического монтажа бескорнусиых приборов с жесткими выводами к подложкам микросхем.

Известны устройства дл  траиснортироваии  подложек от одной позиции к другой, примеп емые в миогоиозицпонных установках дл  ирисоедииеии  иолупроводииковых кристаллов к подложкам, в которых иа каждой позиции присоедин етс  один кристалл па оиределенное место подложки заодии рабочий цикл.

Эти устройства дл  траиснортироваии  выполнены в виде поворотного миогопозициоииого стола или ленточного транспортера, иесуи1его сборочные нриснособленп .

Недостатком известных устройств  вл етс  жесткое базироваиие иодложек отиосптельно трансиортируюп;его устройства, иеремеи1 .ающего их от одиой иозиции к другой, которое обусловлеио тем,что сборочные приспособлеии  закреплены пеподвижио, а подложка зажимаетс  п базируетс  по боковым гран м. Поэтому дл  достижепп  необходимой точпостн автоматического монтажа кристаллов требуетс  весьма высока  точность гйбаритиых размеров подложек, что усложн ет тсхиологический процесс изготовлени 

подложек (в 11екото)ых случа х исобходпма  точпость вообп1,е не может быть достигнута). Целью изобретеии   вл етс  новьпненне точности базировани  подложек. Эта цо.-п, достигаетс  тем, что сборочные прпснособлсни  свободно установлены иа устройстве дл  трансиортироваии  и нрижаты своими базовыми боковыми сторонами к трем эксцентрикам , два из которых, соединенных между собой т гой, контактируют с одной боковой стороной сборочного нрнснособлени , а однн - с другой. Эксцентрики каждого сборочного приспособлени  тюиеременпо соедпп ютс  муфтой сцеплепн  с неподвпжно закреплеиiH iM мехапнзмом привода сборочиых прпспособлений .

Така  конструкци  устройства дл  трапсиортнровани  иодложек позвол ет осуп1,ествл ть базироваппе подложек по коптактиым плои1адкам иезависимо от точности выполпепп  базируюищх поверхпостей (боковых граней ) подложки путем перемещени  сборочных ирисиособлеиий па одиой пз поз1пи1Й. Па иоследуюпщх позици х базироваиие сохран етс , и этим обеспечиваетс  точпост : автоматической сборки.

На фиг. 1 изображепо устройство дл  траиспортировапи  подложек, впд в илапе; па фиг. 2 -узел /1; иа фпг. 3 -разрез но J3-j5 на фиг . 1.

ycrpofiCTiio л.1  транспортировани  подложек . в ИНДС НОВОрОТНОГО МПОГОПОзиц1К ) стола /.вращающегос  в подшипниках 2 относительно неподвижной оси 3. ПоuopoTiibiii сто.т песет сборочные нрнспособлеНИИ 4, в которых закрепл ютс  в заданном положении подложки 5. Число сборочных нрнспособ.чений равно числу позиций стола.

Сборочное приспособление представл ет собой корпус 6, устаповлепный на рабочей поверхности ноноротного стола /. Качаюи гес  рычаги 7 н 8 обеспечивают прпжим иодложки 5 к базовым упорам 9, 10 и //. Усилие прижима передаетс  от пружин 12 и 13 II регулируетс  виитами 14 н /5. Рычаги 7 и 8 получают движеиие от рг шагов 16 и 17. Пружины 18 н 19 нрнжимают сборочные нрнспособлепи  базовыми боковыми поверхност ми к под1ииппикам -эксцеитриков 2(9, 2/и 22, установленных на поворотном столе. Эксцентрнкн 2/ и 22 св заны между собой рычага; 1и 23 и 24 и т гой 25 так, что оба вращаютс  CHHxpoinio, обсснечнва  неремсщенне сборочного присиособле1П1  ио коордипате X, эксцентрик 20, враи1,а сь, неремепдает сборочное нрнснособлепие по координате У. Эксцентрик 20 и 22 нрап1;аютс  от одииаковы.х приводов, закрепле1П1ых неподвижно на позиции , следуюн ей нен.осредственно за загрузочиой ..

Прнвод СОСТ01ГГ пз пол у муфты 26, посажеппой в корпус 27. При перемегнегипт вверх пол муфта 26 ctioeA фрикциопиой илоской новерхпостыо сцепл етс  с полу муфтой 28 эксцентрнка 22. Полхмуфта 26 вран,аетс  от )ычага 25, св занного с приводом (иа чертеже не ноказап), а неремеп1,аетс  вверх от э.тектро.магиита 30 через рычаг 31.

Устройство дл  трапспортироваии  подложек работает следуюни-1м образом.

Па нозицнн загрузки нодложка 5 автооператором переноситс  из транспортера п сборочное нрнспособление и зажимаетс  п не.м. Стол / поворачиваетс  па шаг.

Па следуюп1ей позиции подложка базируетс  по ее топологии относительно неподвижной координатной сетки проектора (на чертежах не показано) неремещепием сборочпого приспособлени  4 относительно поворотного стола. Дл  этого нсхчумуфты 28 ввод тс  в сцепление с иолумуфтами 26, которые передают вращение эксцентрикам 22 и 20. При вращении эксцентриков 2/, 22 сборочиое ириспособление неремеишетс  ло коордииате X, нри врапл,ении эксцеитрика 20-но координате У. При последуюИ1их поворотах стола па шаг подложка сохран ет свое ноложеиие, чем обеспечиваетс  точность автоматической сборки. Готова  микросхема снимаетс  автооператором и переиосите  па разгрузочный транспортер.

Предмет изобретени 

Устройство дл  транспортировани  подложек , содержащее поворотный мпогопозиционпый стол, несунщй сборочные приспособлени , отличающеес  тем, что, с целью иовып:епи  точности базировани  подложек, сборочные приспособлени  свободно установлены иа поворотном столе и прижаты своими боковыми базовыми сторонами к трем эксце1ггрикам , два из которых, соедипенных между собой т 1ой, ко}Г1актируют с одной боковой стороной сборочного приспособлени , а третнй - с другой, причем эксцентрики каждого сборочного приспособлени  попеременпо св заиы муфтами сцеплени  с иеиодвижно закрепленны.м механизмом привода сборочных приспособлений.

УЭ(У7

i

22

,3

Фи 2

Б-Б

Фиг 3