SU403431A1

SU403431A1 - DEVICE FOR

Info

Publication number: SU403431A1
Application number: SU1652525A
Authority: SU
Inventors: В. В. Селин В. И. Бакуменко А. Г. Петрик
Priority date: 1971-04-30
Filing date: 1971-04-30
Publication date: 1973-10-26

Description

1one

Изобретение относитс к устройствам, предназначенным дл испарени и получени парогазовых смесей различных летучих соединений , и может найти применение в технологии полупроводниковых материалов.The invention relates to devices intended for the evaporation and production of vapor-gas mixtures of various volatile compounds, and may find application in semiconductor materials technology.

Известно устройство дл получени парогазовой смеси, например, полупроводниковых материалов, содержащее испаритель и обогреваемые трубопроводы дл подвода и отвода получаемой парогазовой смеси.A device is known for producing a vapor-gas mixture, for example, semiconductor materials, comprising an evaporator and heated pipelines for supplying and discharging the resulting vapor-gas mixture.

Иедостатком испарител вл етс то, что получение гомогенных смесей с заданной концентрацией испар емого вещества зависит от нескольких факторов: количества тепла, подводимого от нагревател , количества залитой в сосуд жидкости, величины поверхности испарени , количества подаваемого газа и его температуры. Этот испаритель не предусматривает получение парогазовой смеси с определенной температурой перегрева. Поэтому затруднено регулирование и стабилизаци состава смеси.The disadvantage of the evaporator is that the production of homogeneous mixtures with a given concentration of the evaporated substance depends on several factors: the amount of heat supplied from the heater, the amount of liquid poured into the vessel, the size of the evaporation surface, the amount of gas supplied and its temperature. This evaporator does not provide for obtaining a gas-vapor mixture with a certain overheating temperature. Therefore, it is difficult to control and stabilize the composition of the mixture.

Цель изобретени - обеспечение однородности парогазовой смеси.The purpose of the invention is to ensure the homogeneity of the vapor-gas mixture.

Дл этого предложено испаритель выполн ть в виде эжектора, соединенного с трубопроводами патрубками, причем патрубок расположен преимущественно тангенциально по отношению к трубопроводу.For this purpose, it is proposed to perform the evaporator in the form of an ejector connected to the pipelines with pipes, the pipe being located predominantly tangentially with respect to the pipeline.

На чертеже изображена схема устройства.The drawing shows a diagram of the device.

Оно содержит обогреваемый трубопровод 1 дл подвода газа, эжектор 2 и обогреваемый трубопровод 3 дл отвода газа. Эжектор соединен с трубопроводами патрубками 4 и 5.It contains a heated pipeline 1 for the supply of gas, an ejector 2 and a heated pipeline 3 for removal of gas. The ejector is connected to the pipes by nozzles 4 and 5.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Газ подогреваетс в трубопроводе и смешиваетс в эжекторе с дозируемым количеством испар емого вещества. В обогреваемом трубопроводе образующа с . парогазова смесь подогреваетс до требуемой температуры. На выходе из трубопровода парогазова смесь имеет однородный состав.The gas is heated in the pipeline and mixed in the ejector with a metered amount of vaporized substance. In the heated pipeline forming with. gas-vapor mixture is heated to the desired temperature. At the outlet of the pipeline, the vapor – gas mixture has a uniform composition.

Предмет изобретени Subject invention

1.Устройство дл получени парогазовой смеси, например, полупроводниковых материалов , содержащее испаритель и обогреваемые трубопроводы дл подвода газа и отвода получае.мой парогазовой смеси, отличающеес тем, что, с целью обеспечени однородности нарогазовой смеси, испаритель выполнен в виде эжектора, соединенного с трубопроводами патрубками.1. A device for producing a vapor-gas mixture, for example, semiconductor materials, containing an evaporator and heated pipes for supplying gas and discharging a vapor-gas mixture, characterized in that, in order to ensure homogeneity of the non-gas mixture, the evaporator is designed as an ejector connected to the pipe branch pipes.

2.Устройство но п. 1, отличающеес тем, что патрубок, соедин ющий эжектор с трубопроводом дл отвода нарогазовой смеси, расположен тангенциально по отношению к трубопроводу .2. A device according to claim 1, characterized in that the pipe connecting the ejector to the pipeline for withdrawing the gas from the gas mixture is located tangentially with respect to the pipeline.

99