SU401753A1

SU401753A1 - DEVICE FOR AUTOMATIC CONTROL OF COATING THICKNESS IN THE METAL ELECTRIC PROCESS

Info

Publication number: SU401753A1
Application number: SU1769493A
Authority: SU
Inventors: изобретени Авторы
Original assignee: К. Егоров, В. П. Панов , Ю. Ю. Урбанович Московский энергетический институт
Priority date: 1972-04-07
Filing date: 1972-04-07
Publication date: 1973-10-12

Description

1one

Изобретение относитс к области гальваничеокого нро изводетва и может быть использовано дл автоматического контрол толщины покрытий в процессе электроосаждени металла .The invention relates to the field of electroplating nanoscale and can be used to automatically control the thickness of the coatings during the electrodeposition of the metal.

Известно устройство дл автоматического контрол ТОЛЩИНЫ покрытий IB процессе электроосаждени металла, включающее датчик плотности тока в ванне, интегратор, схему со(В:падени и индикатор.A device is known for automatically controlling the THICKNESS of coatings IB of a metal electrodeposition process, including a current density sensor in a bath, an integrator, a circuit with (B: drops, and an indicator).

Однако от.мечаетс недостаточна точность контрол толщины покрыти , обусловленна отсутствием учета выхода металла ПО току в ванне и низкой точностью интегрировани входного сигнала.However, there is a lack of accuracy in controlling the thickness of the coating, due to the lack of consideration of the metal output for the current in the bath and the low integration accuracy of the input signal.

Цель изобретени --повышение точности контрол . Это достигаетс тем, что оно содержит формирователь знака, соединенный с нелинейным фун1К и ональным преобразователем н -выходом датчика ллотности тока, причем интегратор вьшолнен л виде последовательно соединенных частотно-импульсного преобразовател , делнтел частоты и реверсивного счетчика импульсов, подключенного к выходу формировател знака, а выход счетчика соединен с индикатором и схемой сов-падени , на вход которой тюступают сигналы с задатчика толщины (ПО.крытий.The purpose of the invention is to improve the accuracy of the control. This is achieved by the fact that it contains a sign shaper connected to a non-linear funk1K and an on-chip converter through the output of a current density sensor, the integrator being a series-connected pulse-frequency converter, frequency divider and a reversible pulse counter connected to the sign-changer output the output of the counter is connected to an indicator and a coincidence circuit, to the input of which signals from the thickness gauge are input (see cover.

На фиг. 1 представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 - принципиальна электрическа схема нелинейного функционального преобразовател ; на фиг. 3-статическа характеристика типа «иасыщение функционального преобразовател .FIG. 1 shows a block diagram of the proposed device; in fig. 2 is a circuit diagram of a non-linear functional converter; in fig. 3-static characteristic of the type “saturation of the functional converter.

Блок-схема устройства состоит из датчика / плотности тока, нелинейного функционального преобразовател 2, электронного -частотно-имлульсного интегратора 3, частотно-импульсного преобразовател 4, делител частоты 5, реверсивного счетчика импульсов 6, цифрового индикатора 7, схемы совпадени 8, задатчнка толщины покрытий 9 и фор-мировател знака 10.The block diagram of the device consists of a current sensor / density, a nonlinear functional converter 2, an electronic -frequency-impulse integrator 3, a frequency-pulse converter 4, a frequency divider 5, a reversible pulse counter 6, a digital indicator 7, a coincidence circuit 8, a coating thickness setting 9 and formatter mark 10.

Выходной сигнал датчика 1 плотности токаOutput signal of current density sensor 1

-в ванне дл учета выхода металла -по току поступает на вход преобразовател 2, выходной сигнал которого, -пропорциональный произведению коэффициента -выхода металла по току на плотность тока в ванне, т. е. пронорциональный толщине покрыти , подаетс иа вход интегратора 3. Основным элементом по-следнего вл етс преобразователь 4, предназначенный дл преобразовани входного силнала в последовательность импульсов, частота следовани которых пропорциональна толщине -покрытп . О-пределенне толщины покрыти сводптс iK масщтабному пересчету числа импульсов с помощью делител 5 частоты и реверснвного счетчика импульсов 6,- in the bath to take into account the metal output - current is fed to the input of the converter 2, the output signal of which is proportional to the product of the coefficient of metal output by current to the current density in the bath, i.e., the integrator 3 input is proportional to the thickness of the coating. The element of the latter is a converter 4, designed to convert the input force into a sequence of pulses, the frequency of which is proportional to the thickness of the coating. About the maximum thickness of the coating; iK to a large-scale recalculation of the number of pulses using a frequency divider 5 and a reverse pulse counter 6,

содержащего в зависимости от диапазонаcontaining depending on the range