SU401185A1 - Устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушке - Google Patents
Устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушкеInfo
- Publication number
- SU401185A1 SU401185A1 SU1795645A SU1795645A SU401185A1 SU 401185 A1 SU401185 A1 SU 401185A1 SU 1795645 A SU1795645 A SU 1795645A SU 1795645 A SU1795645 A SU 1795645A SU 401185 A1 SU401185 A1 SU 401185A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- products
- gas
- thermal processing
- gas dynamic
- heat treatment
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к устройствам дл термической обработки изделий, в частности к устройствам дл термической обработки плоских изделий полупроводникового производства на газодинамической подушке, и может быть использовано на предпри ти х электронной промышленности.
Известна нагревательна печь, содержаш;а камеру нагрева и газотранспортный лоток , имеющий направл ющие дорожки с отверсти ми-соплами .
Така конструкци печи не обеспечивает возможности проведени термической обработки изделий по циклическому режиму, т. с. по режиму с многократным последовательным чередованием циклов нагрева и охлаждени изделий при их обработке при сокрашении длительности процесса.
Цель изобретени - создание устройства дл термической обработки плоских изделий с транспортированием на газодинамической подушке , позвол ющего производить термообработку изделий по циклическому режиму при сокра1цепии длительности процесса термообработки .
Цель достигаетс тем, что в предлагаемом устройстве направл ющие дорожки газотранспортного лотка выполнены в виде петлеобразных секций, преимуществепно параллельных между собой н соединенных друг с другом вне
нагревательной камеры так, что конец первой секции вл етс началом второй секции, а конец второй секци - началом третьей и так далее, нрнчем число секций соответствует
числу циклов нагрева и охлаждени обрабатываемых изделий.
На фиг. 1 показано предлагае.мое устройство дл тер: 1нческой обработки плоских изделий , общий вид; на фиг. 2 - разрез по Л-А
на фиг. 1.
Устройство дл термической обработки плоских изделий на газодинамической подушке состоит из камеры /, имеющей водоо.хлаждаемую рубащку 2, нагреватели и пнфракрасные излучатели 3, расположенные над газотранспортным лотком 4 с направл ющими дорожками 5, выполненными в виде петлеобразных секций с наклонными в направлении неремен ени изделий 6 отверсти ми-соплами
7, сообщающимис между собой общим каналом 8, служащим дл подвода сжатого газа (воздуха).
Термообработка изделий 6, например круглых полупроводниковых пластин, осуществл етс следующи.м образом.
В канал 8 газотранспортного лотка 4 подают , например, воздух под давлением , обеспечивающим взвещивание изделий 6 над плоскостью направл ющей дорожки 5 и
их устойчивое перемещение на газодинамической подушке в направлении, соответствующем направлению истечени струн воздуха из отверстий-сопл 7.
Инфракрасные излучатели 3 питаютс напр жением от силового блока питани , подключенного к сети переменного тока. Величина напр л ени , подаваемого на излучатели, обусловлена температурным режимом нагрева изделий 6. После установлени внутри отражагельной камеры 1 квазистационарпого теплового и газодинамического режимов изделие подают на пачало направл ющей дорожки 5 газотранспортного лотка 4. Изделие перемещаетс на газодинамической подушке и входнг в отражательную камеру с заданным температурным уровнем. Перед выходом из нагревательной камеры изделие приобретает температуру , соответствующую первому циклу нагрева , а при его дальнейшем перемещении на участке направл ющей дорожки, расположекпом за пределами нагревательной камеры, оно охлаждаетс до температуры, соответствующей первому циклу охлаждени и определ емой
временем нахождени издели за пределами нагревательной камеры. Далее циклы пагрева и охлаждени издели повтор ютс , и число их зависит от свойств обрабатываемых изделий и технологических режимов обработки, определ емых числом секций направл ющих дорожек.
Предмет изобретени
Устройство дл термической обработки изделий на газодинамической подущке, содержащее нагревательную камеру и газотранспортный лоаок, имеющий направл ющие дорожки с отверсти ми-соплами, отличающеес тем, что, с целью обеспечени возможности термообработки изделий полупроводникового производства по циклическому режиму, направл ющие дорожки выполнены в виде петлеобразных секций, соединенных вне нагревательной камеры, причем число секций соответствует числу циклов термообработки.
/f Вода. Ф1 irrnl
. °lb.--UA еU° .
X ч ч ч S X , ГУ
us.2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1795645A SU401185A1 (ru) | 1972-06-09 | 1972-06-09 | Устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушке |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1795645A SU401185A1 (ru) | 1972-06-09 | 1972-06-09 | Устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушке |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU401185A1 true SU401185A1 (ru) | 1973-11-21 |
Family
ID=20517538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1795645A SU401185A1 (ru) | 1972-06-09 | 1972-06-09 | Устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушке |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU401185A1 (ru) |
-
1972
- 1972-06-09 SU SU1795645A patent/SU401185A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900004946A (ko) | 열간 압인 신선재를 급속 직접 냉각하기 위한 방법 | |
| GR3004072T3 (ru) | ||
| SU401185A1 (ru) | Устройство для термической обработки изделий на газодинамической подушке | |
| GB1413415A (en) | Treating elongate material | |
| US5897309A (en) | Sequential step belt furnace with individual concentric cooling elements | |
| GB1005629A (en) | Electric heating elements for carburizing atmospheres | |
| GB1534597A (en) | Process and apparatus for heat treating elongate thermal insulating shells | |
| US3471135A (en) | Tunnel kiln for firing ceramics | |
| DE3362109D1 (en) | Device for the high-temperature heat treatment of articles | |
| GB1383707A (en) | Tandem induction scan hardening of pipe | |
| SE7511643L (sv) | Sett att vermebehandmaterial i spolgform | |
| ES455038A1 (es) | Perfeccionamientos en aparatos para transportar articulos. | |
| US2442460A (en) | Furnace | |
| GB1065253A (en) | Heat treatment of ceramic bonded or resin bonded grinding wheels and the like | |
| GB1026618A (en) | Apparatus for conveying and thermally treating parts | |
| US2496914A (en) | Heating furnace | |
| SU1478007A1 (ru) | Установка дл тепловой обработки изделий | |
| JPS5594442A (en) | Heat treating furnace of upset pipe | |
| GB1431780A (en) | Manufacture of silicon nitride products | |
| US3041056A (en) | Heat treating apparatus | |
| SU898244A1 (ru) | Устройство дл термообработки изделий на газодинамической подушке | |
| GB1393440A (en) | Pre-heating apparatus particularly for pre-heating steel ingots or blooms | |
| SU807015A1 (ru) | Печь дл термообработки углеродистыхМАТЕРиАлОВ и издЕлий | |
| SU787831A1 (ru) | Способ сушки термочувствительных сельскохоз йственных материалов | |
| JPS5514129A (en) | Continuous treatment device of brazing and gas soft nitriding |