SU392172A1

SU392172A1 - INSTALLATION FOR CHEMICAL TREATMENT OF FLAT PRODUCTS

Info

Publication number: SU392172A1
Application number: SU1461086A
Authority: SU
Inventors: Г. И. Никифоров Р. В. Щербачев В. Г. Бкбаев А. Т. гков
Priority date: 1970-07-17
Filing date: 1970-07-17
Publication date: 1973-07-27

Description

1one

Изобретение относитс к области химической обработки изделий.The invention relates to the field of chemical processing of products.

Известпа установка дл химической обработки плоских изделий, например кремниевых или ситалловых пластип, содержаща виброиривод и кольцевую реакционную камеру в виде нр моугольного корпуса, внутри которого расноложен кольцевой сепаратор.A lime plant for the chemical treatment of flat products, such as silicon or screenplate plastics, contains a vibroirvoiler and an annular reaction chamber in the form of a n-rectangular body, within which there is an annular separator.

Предложенна установка отличаетс от известной тем, что в отверсти х сепаратора, расположенных под углом к вертикали, установлены вкладыши, нмеющие на внутренней цилиндрической поверхности продольные зубь , вход щие в зацепление с продольными зубь ми корпуса Цилиндрической щетки, расноложенным-и на внешней цилиндрической новерхностн .The proposed installation differs from that known in that in the separator apertures located at an angle to the vertical, inserts are installed, on the inner cylindrical surface of the longitudinal teeth that engage with the longitudinal teeth of the body of the Cylindrical brush located on the outer cylindrical surface.

На фиг. i схематично изображена нредлагаема установка дл химической обработки плоских изделий, общий вид; на фиг. 2 - разрез но А-Л на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез по Б-Б на фиг. 2, нродольпа развертка реакционной камеры; на фиг. 4 - разрез но В-В на фиг. 2; на фиг. 5 - разрез по Г-Г на фиг. 4.FIG. i schematically shows the proposed installation for the chemical processing of flat products, a general view; in fig. 2 shows a section A-L in FIG. one; in fig. 3 is a section along BB in FIG. 2, a hydrodynamic sweep of the reaction chamber; in fig. 4 shows a section along the line Bb of FIG. 2; in fig. 5 is a section along G ‑ Y in FIG. four.

Установка состоит из вибропривода / и кольцевой реакционной камеры 2 в виде нр моугольного корнуса, внутри которого расположен кольцевой сенаратор 3. В отверсти х 4 сепаратора 3, расположенных под углом кThe installation consists of a vibrodrive / and an annular reaction chamber 2 in the form of a hp of a coal-angled cornus, inside of which an annular senator 3 is located. In the openings 4 of the separator 3, arranged at an angle to

вертикали, установлены вкладыши 5, имеющие на внутренней цнлиндрической поверхности продольные зубь , вход щие в заценление с нродольными зубь ми корнуса цилиндрической щетки б, :расноложенными на внещней цилиндрической поверхности.verticals, inserts 5 are installed, having longitudinal teeth on the inner cylindrical surface, included in the valuation with the longitudinal teeth of the Cornus of the cylindrical brush b,: located on the outer cylindrical surface.

Отсос наров и газов из зоны химической обработки осущест-вл етс через центральную нолость реакционной камеры. Боковое окно 7Suction of pumps and gases from the chemical treatment zone is carried out through the central floor of the reaction chamber. Side window 7

в реакционной камере дл загрузки и выгрузки нлоских изделий .в кассету между дном кассеты и щеткой вкладыша.in the reaction chamber for loading and unloading nlosky products. in the cassette between the bottom of the cassette and the liner brush.

Оператор, обслуживающий установку, вручную закладывает.по одному плоскому издеЛИЮ в каждую касету 8 между ее днищем и щеткой 6 вкладыша;5. Сенаратор 8 нод действием направленных колебаний, нолучаемых от вибропривода /, дискретно или непрерывно , в зависнмости от режнма работы фпксатора 9, перемещает изделие через все зоны химической обработки и термической сушки. Наклон сквозных отверстий 4 сепаратора 3, в которых наход тс кассеты с издели ми, обеспечивает зубчатое заденление между кассетой 8 и вкладыщем 5, а, следовательно, приводит к возникновению диссипативных сил (сил трени ) между поверхностью издели и щеткой за счет вращени вкладыша под действием направленных колебаний вибропривода 1. Диссипативные силы интенсифищируют хим.ический процесс и эффективно удал ют микрочасти.цы с поверхности обрабатываемых изделий в процессе объемной или струйной химической обработки.The operator, serving the installation, manually lays. On one flat product into each cartridge 8 between its bottom and brush 6 of the insert; 5. The senarator 8 nod by the action of directional vibrations received from the vibrodrive /, discretely or continuously, depending on the operating mode of the php unit 9, moves the product through all zones of chemical processing and heat drying. The inclination of the through holes 4 of the separator 3, in which the product cassettes are located, provides jagged undercuts between the cassette 8 and the liner 5, and, consequently, leads to dissipative forces (friction forces) between the product surface and the brush due to the rotation of the liner under the action directional vibrations of the vibrodrive 1. Dissipative forces intensify the chemical process and effectively remove microparticles from the surface of the processed products in the process of volumetric or jet chemical treatment.

Реакционна камера может иметь следующие зоны обработки: I-загрузки и выгрузки изделий; II, III, IV -объемной обработки в подогретых жидкост х; V - объемной обработки 6 холодных реактивах; VI, VII, VIII - струйной обработки; IX - сушки нагретым газом.The reaction chamber may have the following treatment zones: I-loading and unloading; II, III, IV-volume processing in heated liquids; V - volume processing of 6 cold reagents; VI, VII, VIII - blasting; IX - drying with heated gas.

Предмет изо-бретени Subject matter

Установка дл химической обработки плоских изделий, например кремниевых или ситалловых пластин, содержаща виоропривод и кольцевую реакционную камеру в виде пр моугольного корпуса, внутри которого расположен кольцевой сепаратор, отличающа с тем, что, с целью интенсификации процесса обработки и удалени микрочастиц с поверхности обрабатываемых изделий, в отверсти х сепаратора, расположенных под углом к вертикали , установлены вкладыши, имеющие наA plant for the chemical treatment of flat products, e.g. silicon or sieve plates, comprising a viriodrive and an annular reaction chamber in the form of a rectangular case, inside which an annular separator is located, characterized in that, in order to intensify the processing and remove microparticles from the surface of the processed products, In the separator holes x located at an angle to the vertical, inserts are installed, having

внутренней цилиндрической поверхности продольные зубь , вход щие в зацепление с продольными зубь ми корпуса цилиндрической щетки, расположенными на внешней цилиндрической поверхности.the inner cylindrical surface is the longitudinal teeth which engage with the longitudinal teeth of the body of the cylindrical brush located on the outer cylindrical surface.

Off/CMSLLld .„J и тOff / CMSLLld. „J and t

Фиг 2 РазЬертка по Б-Б ZЖFig 2 Disassembly of BB ZZH

B-B подернуто.B-B is covered.

Г-Г поверну тоGd turn that

,.---С -К/ч /- « Х , .--- С -К / ч / - «Х

- vxSCXX ; -О-Х Х X - vxSCXX; -O-X X X

Фиг 5Fig 5