SU387441A1

SU387441A1 - Устройство для проявления фоторезиста

Info

Publication number: SU387441A1
Application number: SU1640345A
Authority: SU
Inventors: А. Т. гков Р. В. Щербачев Е. М. Корсетов
Priority date: 1971-04-01
Filing date: 1971-04-01
Publication date: 1973-06-21

Description

1

Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл производства радиоэлектронных деталей.

Известные устройства дл про влени фоторезиста , содержащие наружный каркас, реакционную камеру с расположенными на ее крышке распылительными форсунками и размещенный внутри камеры предметный столик , соединенный с приводным механизмом, «е обеспеч:ивают интенсификации процесса про влени и повышени качества про влени фоторезиста.

Цель изобретени - интенсификаци процесса про влени и повышение качества про влени фоторезиста.

Дл этого крышка с форсунками, которые установлены на сферических шариирах с разрезными полукольцами, подв-ижно соединена с каркасом, например, посредством ходового винта, а поверхность предметного столика выполнена наклонно к оси вращени .

На фиг. 1 представлена кинематическа схема предлагаемого устройства; «а фиг. 2 - крепление форсунки на крышке камеры.

Устройство дл про влени фоторезистора состоит из наружного каркаса 1, закрывающего реакционную камеру 2 с расположенными «а ее раздвижной крышке 3 распылительными форсунками 4. Форсунки установлены (см. фиг. 2) на сферических шарнирах 5 с

разрезными полукольцами 6 и болтом 7, позвол ющими измен ть угол наклона факела распылительных форсунок до 20-30° к вертикали . Раздвижна крышка 3 снабжена

внешним цилиндром 8 и соединена при помощи ходового винта 9 и скобы 10 с наружным каркасом /. Это соединение позвол ет измен ть рассто иие между распылительными форсунками и обрабатываемыми издели ми.

Внутри реакционной камеры 2 находитс предметный столик 11, поверхность которого наклонена к оси вращени под углом 5-15 к горизонтали. Наклонное расположение изделий , уложенных в кассеты 12 реакционной

камеры, подобранное в соответствии с центробежной силой при центрифугировании, позвол ет удерживать издели без дополнительных конструктивных средств.

Предметный столик 11 через вал 13, муфту 14 обгона и электромагнитную муфту 15 соединен с планетарным редуктором 16, который имеет два выходных вала, размещенных один в другом, причем, внешний вал 17 одновременно вл етс и кулисой, а внутренний вал

18 обеспечивает пр мую передачу от электродвигател 19. Это позвол ет вращать предметный столик с двум скорост ми.

Принцип работы устройства заключаетс в следующем.

Изделие, подлежащее обработке, укладывают на кассету 12, которую став т на предметный столик // в реакционной камере 2. Ходовым винтом 9 устанавливают . необходимое рассто ние между кассетой 12 и распылительными форсунками 4 и угол наклона факела распылительных форсунок. Затем камеру закрывают крышкой 3.

Фоторезист про вл ют методом пульверизации в среде очищенного воздуха или нейтрального газа при малой скорости вращени (24 об/мин) Предметного столика //. Движеиие от электродвигател 19 передаетс через эластичную муфту 20, центральную шестерню 21, кулису 22, полый вал 17, шестерню 23, полую кулису 24, на муфту 14 обгона и далее, через клиноременную передачу, вал 13 и на предметный столик // с кассетой 12.

По окончании про влени отключают распылительные форсунки про влени и включают форсунки струйной промывки деионизован .ной водой (дистиллированной) при 45- 50°С. По окончании промывки отключают распылительные форсунки промывки и включают электромагнитную муфту 15, котора вращает предметный столик // с большой скоростью (1400 об/мин) от электродвигател 19 через эластичную муфту 20, вал 18, который проходит виутри полого вала 17, и кулису 24, электромагнитную муфту 15, муфту 14 обгона, одновременно совмещающую щкив, далее через клиноременную передачу, вал 13 н .на предметный столик 11с кассетой 12, одновременно включают распылительную форсунку очищенного воздуха, сушат методом центрифугировани с интенсификацией сушки обдувом очищенным воздухом.

Предмет изобретени

Устройство дл про влени фоторезиста, содержащее наружный каркас, реакционную камеру с расположенными на ее крышке распылительными форсунками, размещенный внутри камеры предметный столик, соединенный с приводным механизмом, отличающеес тем, что, с целью интенсификации процесса про влени и повышени качества про влени фоторезиста, крышка с форсунками, которые установлены на сферических шарнирах с разрезными полукольцами, подвижно соединена с каркасом, например, посредством ходового винта, а поверхность предметного столика выполнена наклонно к оси вращени .