SU387441A1 - Устройство для проявления фоторезиста - Google Patents
Устройство для проявления фоторезистаInfo
- Publication number
- SU387441A1 SU387441A1 SU1640345A SU1640345A SU387441A1 SU 387441 A1 SU387441 A1 SU 387441A1 SU 1640345 A SU1640345 A SU 1640345A SU 1640345 A SU1640345 A SU 1640345A SU 387441 A1 SU387441 A1 SU 387441A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- photoresist
- stage
- manifestation
- shaft
- spray nozzles
- Prior art date
Links
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл производства радиоэлектронных деталей.
Известные устройства дл про влени фоторезиста , содержащие наружный каркас, реакционную камеру с расположенными на ее крышке распылительными форсунками и размещенный внутри камеры предметный столик , соединенный с приводным механизмом, «е обеспеч:ивают интенсификации процесса про влени и повышени качества про влени фоторезиста.
Цель изобретени - интенсификаци процесса про влени и повышение качества про влени фоторезиста.
Дл этого крышка с форсунками, которые установлены на сферических шариирах с разрезными полукольцами, подв-ижно соединена с каркасом, например, посредством ходового винта, а поверхность предметного столика выполнена наклонно к оси вращени .
На фиг. 1 представлена кинематическа схема предлагаемого устройства; «а фиг. 2 - крепление форсунки на крышке камеры.
Устройство дл про влени фоторезистора состоит из наружного каркаса 1, закрывающего реакционную камеру 2 с расположенными «а ее раздвижной крышке 3 распылительными форсунками 4. Форсунки установлены (см. фиг. 2) на сферических шарнирах 5 с
разрезными полукольцами 6 и болтом 7, позвол ющими измен ть угол наклона факела распылительных форсунок до 20-30° к вертикали . Раздвижна крышка 3 снабжена
внешним цилиндром 8 и соединена при помощи ходового винта 9 и скобы 10 с наружным каркасом /. Это соединение позвол ет измен ть рассто иие между распылительными форсунками и обрабатываемыми издели ми.
Внутри реакционной камеры 2 находитс предметный столик 11, поверхность которого наклонена к оси вращени под углом 5-15 к горизонтали. Наклонное расположение изделий , уложенных в кассеты 12 реакционной
камеры, подобранное в соответствии с центробежной силой при центрифугировании, позвол ет удерживать издели без дополнительных конструктивных средств.
Предметный столик 11 через вал 13, муфту 14 обгона и электромагнитную муфту 15 соединен с планетарным редуктором 16, который имеет два выходных вала, размещенных один в другом, причем, внешний вал 17 одновременно вл етс и кулисой, а внутренний вал
18 обеспечивает пр мую передачу от электродвигател 19. Это позвол ет вращать предметный столик с двум скорост ми.
Принцип работы устройства заключаетс в следующем.
Изделие, подлежащее обработке, укладывают на кассету 12, которую став т на предметный столик // в реакционной камере 2. Ходовым винтом 9 устанавливают . необходимое рассто ние между кассетой 12 и распылительными форсунками 4 и угол наклона факела распылительных форсунок. Затем камеру закрывают крышкой 3.
Фоторезист про вл ют методом пульверизации в среде очищенного воздуха или нейтрального газа при малой скорости вращени (24 об/мин) Предметного столика //. Движеиие от электродвигател 19 передаетс через эластичную муфту 20, центральную шестерню 21, кулису 22, полый вал 17, шестерню 23, полую кулису 24, на муфту 14 обгона и далее, через клиноременную передачу, вал 13 и на предметный столик // с кассетой 12.
По окончании про влени отключают распылительные форсунки про влени и включают форсунки струйной промывки деионизован .ной водой (дистиллированной) при 45- 50°С. По окончании промывки отключают распылительные форсунки промывки и включают электромагнитную муфту 15, котора вращает предметный столик // с большой скоростью (1400 об/мин) от электродвигател 19 через эластичную муфту 20, вал 18, который проходит виутри полого вала 17, и кулису 24, электромагнитную муфту 15, муфту 14 обгона, одновременно совмещающую щкив, далее через клиноременную передачу, вал 13 н .на предметный столик 11с кассетой 12, одновременно включают распылительную форсунку очищенного воздуха, сушат методом центрифугировани с интенсификацией сушки обдувом очищенным воздухом.
Предмет изобретени
Устройство дл про влени фоторезиста, содержащее наружный каркас, реакционную камеру с расположенными на ее крышке распылительными форсунками, размещенный внутри камеры предметный столик, соединенный с приводным механизмом, отличающеес тем, что, с целью интенсификации процесса про влени и повышени качества про влени фоторезиста, крышка с форсунками, которые установлены на сферических шарнирах с разрезными полукольцами, подвижно соединена с каркасом, например, посредством ходового винта, а поверхность предметного столика выполнена наклонно к оси вращени .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1640345A SU387441A1 (ru) | 1971-04-01 | 1971-04-01 | Устройство для проявления фоторезиста |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1640345A SU387441A1 (ru) | 1971-04-01 | 1971-04-01 | Устройство для проявления фоторезиста |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU387441A1 true SU387441A1 (ru) | 1973-06-21 |
Family
ID=20470607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1640345A SU387441A1 (ru) | 1971-04-01 | 1971-04-01 | Устройство для проявления фоторезиста |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU387441A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009062254A1 (en) * | 2007-11-14 | 2009-05-22 | The University Of Queensland | Device and method for preparing microparticles |
-
1971
- 1971-04-01 SU SU1640345A patent/SU387441A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009062254A1 (en) * | 2007-11-14 | 2009-05-22 | The University Of Queensland | Device and method for preparing microparticles |
US9157054B2 (en) | 2007-11-14 | 2015-10-13 | The University Of Queensland | Device and method for preparing microparticles |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ECSP941098A (es) | Un procedimiento para preparar el ester 1-acetoxietilico de cefuroxima, altamente puro, en forma sustancialmente amorfa | |
SU387441A1 (ru) | Устройство для проявления фоторезиста | |
GB1532144A (en) | Washing machine | |
JPS5519681A (en) | Speed reducer for outboard engine | |
GB1025215A (en) | Method and apparatus for production of fine glass fibres | |
KR890013168A (ko) | 분무건조 세정제의 밀도 증가 방법 | |
GB1446923A (en) | Continuously operating centrifuges | |
US3742611A (en) | Drying process and spray dryer for carrying out the process | |
JPS5642758A (en) | Variable speed moving device | |
JPS5581733A (en) | Continuous emulsifying apparatus | |
ATE154430T1 (de) | Ofen für die behandlung von organischem und anorganischem material und das entsprechende verfahren | |
JPS5743049A (en) | Transfer driving unit | |
SU523806A1 (ru) | Устройство дл удалени обло с формовых резиновых изделий | |
SU625729A1 (ru) | Тепломассообменный аппарат | |
GB1334737A (en) | Drying apparatus | |
ES8400515A1 (es) | Perfeccionamientos en los dispositivos accionadores del tambor giratorio de una maquina lavadora de ropa. | |
SU583358A1 (ru) | Установка дл сушки растворов и суспензий в кип щем слое инертных тел | |
SU565890A1 (ru) | Дутьева головка | |
US2591633A (en) | Beating apparatus | |
JPS5246260A (en) | Mechanism and apparatus for continuous speed change of rotating shaft | |
SU783537A1 (ru) | Устройство дл получени искусственного снега | |
SU738903A1 (ru) | Устройство дл охлаждени листовых материалов | |
FR2069960A1 (en) | Simultaneous and continuous double centrifuge - for liquid mixtures - with similar densities | |
GB724602A (en) | A centrifuge for de-watering of granular material | |
ES8104463A1 (es) | Mejoras introducidas en lavadoras y su correspondiente meto-do para lavar articulos de tejido. |