SU373519A1

SU373519A1 - Интерферометр для контроля качества оптических

Info

Publication number: SU373519A1
Application number: SU1644726A
Authority: SU
Inventors: Н. Л. Лазарева витель Д. Т. Пур
Original assignee: Московское ордена Ленина , ордена Трудового Красного Зндм высшее техническое училище Н. Э. Баумаиа
Priority date: 1971-04-06
Filing date: 1971-04-06
Publication date: 1973-03-12

Description

1

Изобретение относитс к области онтического приборостроени -и предназначено дл контрол оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра.

Известен интерферометр дл контрол качества оптических деталей, например асферических зеркал и линз большого диаметра, содержаш ,ий монохроматический источник света, например, оптический квантовый генератор, объектив, создающий точечный источник света , светоделительный блок в виде плоскопараллельной пластинки, эталонную, рабочую и наблюдательные ветви и компенсатор, установленный в рабочей ветви.

В известном интерферометре эталонный волновой фронт и волновой фронт сравнени создаютс с помош,ью светоделительного элемента - нлосконараллельной пластинки, к которому предъ вл ютс высокие требовани к точности его изготовлени и установки в интерферометре .

Кроме того, эталонный волновой фронт в известном интерферометре создаетс с помонцью специальной оптической детали - сферического или плоского зеркала, установленного в эталонной ветви.

Наличие высокочастотного разделительного элемента и эталонной ветви усложн ет конструкцию интерферометра. Предлагаемый интерферометр отличаетс от

известного тем, что, с целью упрощени его, компенсатор установлен между объективом и контролируемой деталью и выполнен так, что центр кривизны первой вогнутой сферической

поверхности компенсатора совмещен с задним (|)окусом объектива, и лучи, отраженные от этой поверхности, создают эталонный волновой (зроит сравнени , а .тучи, преломленные или отраженные при участии всего компенсатора в целом - эталонный волновой фронт заданной формы; кроме того, с целью контрол менисковых иоложительиых линз, компенсатор выполнен )i виде плосковогнутой .чиизы, плоска поверхность которой обраи1ена к контролируемой линзе.

На фиг. 1 изображена принципиальна схема интерферометра; на фиг. 2 - рабоча ficTBh интерферометра при iconTpo/ie менискоаы полол ительных линз.

Интерферометр содержит монохроматический источник света У, иапример, оптический квантовый генератор, нолупрозрачную пл астпику 2, объектив 3, компенсатор 4, экран 5; 6 - контролируема деталь, например, линза

большого диаметра.

Рабоча ветвь образована компенсатором 4 и контролируемой деталью 6, наблюдательна - экраном 5.

Работает предлагаемый интерферометр следующим образом.

Параллельный пучок лучей, идущий из оптического квантового генератора, проходит через полупрозрачную пластинку 2 и направл етс к объективу 3, который фокусирует лучи в заднем фокусе F. После объектива 3 расположен компенсатор 4, у которого перва поверхность вл етс вогнутой сферической, причем центр кривизны С этой поверхности совмещен с задним фокусом F объектива 3. Лучи, отраженные от первой поверхности компенсатора , создают эталонный сферический волновой фронт сравнени . Преломленные компенсатором лучи после выхода из него также создают эталонный волновой фронт, форма которого определ етс параметрами контролируемой детали. Например, дл случа , изображенного на фиг. 1, волновой фронт, выход щий из компенсатора, вл етс асферическим , но после прелом.тени на первой поверхности контролируемой линзы 6 преобразуетс в сферический, совпадающий с теоретической формой второй, выпуклой поверхности линзы 6. Поэтому после отражени от нее лучи новтор ют свой путь в обратном направлении и интерферируют с лучами, отраженными от первой поверхности компенсатора 4. По возникающей интерференционной картине, которую наблюдают при помощи экрана 5, делают заключение о качестве контролируемой детали.

Отличительной особенностью интерферометра вл етс устройство и положение компенсатора , с помощью которого одновременно создаютс два эталонных волновых фронта: сферический волновой фронт сравнени и рабочий волновой фронт, форма которого определ етс параметрами контролируемой детали.

К полупрозрачной пластинке 2 и объективу 3 не предъ вл ютс высокие требовани , так как них всегда проход т только совмещенные пучки лучей. Поэтому в предлагаемом интерферометре, в отличие от известных, содержитс только одна детал-ь, к которой

предъ вл ютс высокие требовани , - компенсатор .

Интерферометр может быть применен дл контрол качества вогнутых асферических поверхностей и линз большого диаметра. На фиг. 2 показано взаимное расположение компенсатора 4 в виде плосковогнутой линзы и менисковой линзы 6, диаметр которой в несколько раз превышает диаметр компенсатора 4.

Предлагаемый интерферометр позвол ет с помощью компенсатора малого диаметра получить интерференционную картину одновременно всей контролируемой поверхности, а не

отдельных ее участков, что повышает надежность и точность контрол .

Предмет изобретени

Claims

1. Р1нтерферометр дл контрол качества оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, например , оптический квантовый генератор, обьектив , создающий точечный источник света, рабочую и наблюдательные ветви, и линзовый компенсатор, отличающийс тем, что, с це«1ью упрощени интерферометра, компенса-шр установлен между объективом и контролируемой

деталью и выполнен так, что центр кривизны первой вогнутой сферической поверхности компенсатора совмещен с задним фокусом объектива , и лучи, отраженные от этой поверхности, создают эталонный волновой фронт сравнени ,

а лучи, нреломленные или отраженные при участии всего компенсатора в целом,- эта . ониый волновой фронт заданной формы.

2. Интерферометр по п. 1, отличающийс тем, что, с целью контрол менисковых ноложнтельных линз, компенсатор выполнен в виде плосковогнутой- линзы, плоска поверхность которой обращена к контролируемой линзе.

83s

и

Фиг. i

Фаг. 2