SU370279A1 - УСТРОЙСТВО дл ТРАНСПОРТИРОВКИ и СМЕНЫ ПОДЛОЖЕК в ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ - Google Patents

Description

Изобретение касаетс  микроэлектронной техники и может быть использовано при применении вакуумной технологии дл  изготовлени  тонкопленочных блоков микроэлектроники .

Известны устройства дл  транспортировки и смены подложек в вакуумных установках, содержащие выполненный в виде диска держатель подложек, размещенных в кассетах, стапельный магазин с кассетами, механизм съема и укладки кассет и механический привод .

Целью изобретени   вл етс  упрощение конструкции устройства и повышение его надежности .

Дл  этого предложенное устройство снабжено механизмом захвата кассет из магазина , выполненным в виде упруго закрепленных на нижней плоскости держател  П-образных рамок, снабженных скосами дл  захвата кассеты и роликом, взаимодействующим с кулачком , св занным с механическим приводом. Механизм съема кассет выполнен в виде подпружиненного рычага, одно плечо которого снабжено скосами дл  съема кассеты, а другое взаимодействует с кулачком. Механизм укладки кассет выполнен в виде стержн , расположенного под держателем перпендикул рно под держателем перпендикул рно к его плоскости и служащего дл  нанизывани  готовых кассет.

На фиг. 1 показана кассета с закрепленной на ней подложкой; на фиг. 2 - карусельный держатель кассет с подложками, вид снизу; на фиг. 3 - держатель и сопр женные с ним

подающий магазин и .приемник кассет, разрез. Подлежащие обработке подложки 1 закреплены в рамоЧ.ных кассетах ., снабженных пазами 5 и вырезами 4. Кассеты 2 уложены в виде вертикальной стопки 5 в неподвижный корпус

магазина 6, снабженного передвижной в вертикальном направлении палкой-подавателем 7, котора  при помощи груза 8 прижимает стопку 5 кассет к неподвижному козырькуограничителю 9. Дл  предохранени  от случайного или преждевременного смещени  верхней кассеты в стопке 5 имеетс  удерживающа  ее тормозна  пружина 10. Над магазином 6 расположен поворотный диск-держатель //, в рабочих позици х которого имеютс 

окна 12 и захваты 13, подвещенные на пружинах 14, выполн ющих роль щарниров. Захваты 13 прижаты к нижней поверхности дискадержател  11 прижимными пружинами 15 и снабжены кронштейнами с роликами 16. Передние кромки захватов 13 имеют заходные фаски 17. Между магазином 6 и осью поворота диска-держател  // расположен в направл ющих 18 передвижной кулачок 19, св занный с механическим вакуумным вводом 20.

Кулачок 19 кинематически св зан с поворотным упором 21, снабженным возвратной пружиной 22. Дл  ограничени  крайних положений имеютс  два неподвижных упора 23 и 24. На неподвижной стойке 25 закреплен стержень 26, заостренный конец которого направлен вертикально вверх и принимает обработанные кассеты.

Дл  загрузки кассет 2 из магазина 6 в дискдержатель 11 кулачок 19 поднимают при помощи механического вакуумного ввода 20 до упора 24 и поворачивают диск-держатель // в направлении стрелки А. При этом ролики 16, обкатыва  снизу кулачок 19, отклон ют захваты 13 вниз. Перемеща сь в направлении стрелки, передние кромки захвата 13 заход т в боковые пазы 5 верхней в стопке 5 кассеты, и преодолева  сопротивление пружины W, вывод т кассету из стопки. По окончании воздействи  кулачка 19 на ролик 16 захват 13 под воздействием пружины 15 поднимаетс  и прижимает кассету 2 к нижней поверхности диска держател  11, придава  ей положение Б.

При дальнейшем повороте держател  аналогично заполн ют все рабочие позиции дискадержател  П, .после чего кулачок 19 перевод т в нейтральное положение В. При этом держатель может свободно вращатьс , не взаимодейству  ни с магазином 6, ни с упором 11. Дл  выгрузки обработанных подложек / из диска-держател  11 кулачок 19 опускают в нижнее положение Г, в результате чего упор 2/ поворачиваетс  в положение Д, а диск-держатель 11 проворачивают в направлении стрелки Е. Кассеты 2 наталкиваютс  на подн тый упор 21 и при дальнейшем проворачивании диска-держател  11 сход т с захватов 13 и подаютс  вниз, нанизыва сь вырезами 4 на приемный стержень 26. Дл  предохранени  кассет 2 от излишне резких ударов о стойку 25 или одна о другую.стержень 26 имеет плавный изгиб. После операции выгрузки диск-держатель 11 может быть вновь заполнен кассетами из магазина 6.

Предмет изобретени 

Claims (2)

1.Устройство дл  транспортировки и смены подложек в вакуумных установках, содержащее вЫПолненный в виде диска держатель подложек, размещенных в кассетах, стапельный магазин с кассетами, механизм съема и укладки кассет и механический привод, отличающеес  тем, что, с целью упрощени  конструкции и повышени  надежности устройства , оно снабжено механизмом захвата кассет из магазина, выполненным в виде упруго закрепленных на нижней плоскости держател  П-образных рамок, снабженных скосами дл  захвата кассеты и роликом, взаимодействующим с кулачком, св занным с механическим приводом, а механизм съема кассет выполнен в виде подпружиненного рычага, одно плечо которого снабжено скосами дл  съема кассеты, а другое взаимодействует с кулачком .

2.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что механизм укладки кассет выполнен в виде стержн , расположенного под держателем перпендикул рно к его плоскости и служащего дл  нанизывани  готовых кассет.

Фиг. 2 -.g777.,p,./ .. ... w /2 75 76