SU358908A1

SU358908A1 - METHOD OF MANUFACTURING ADB.LZIVNYH TOOL \ ENTOV

Info

Publication number: SU358908A1
Application number: SU1397784A
Authority: SU
Original assignee: В. Ф. Шаталов , А. Копытни
Priority date: 1970-01-04
Filing date: 1970-01-04
Publication date: 1973-07-11

Description

Изобретение относитс к производству алмазно-абразивных инструментов, которые могут быть применены в полупроводниковой промышленности дл полировки пластин из полупроводниковых материалов.The invention relates to the production of diamond-abrasive tools that can be used in the semiconductor industry for polishing wafers of semiconductor materials.

Известен способ изготовлени алмазно-абразивных инструментов на бакелитовой св зке, состо 1Щ-П1 в том, что алмазно-абразивные материалы смешивают с жидким бакелитом при нагревании, а затем прессованием изготавливают инструменты любых типоразмеров.A known method of making diamond abrasive tools on a bakelite bond, the condition of 1SP-P1 is that diamond abrasive materials are mixed with liquid bakelite when heated, and then tools of any sizes are made by pressing.

Однако этот способ не дает возможности получить режуш,ую часть инстру.мента с заданной структурой, улучшаюшей его полирующие свойства.However, this method does not give the opportunity to get rezhush, the first part of the tool.ment with a given structure, which improves its polishing properties.

Цель изобретени - улучшить полир ющие свойства алмазно-абразивных инструментов.The purpose of the invention is to improve the polishing properties of diamond abrasive tools.

В предлагаемом изобретении поставленна цель достигаетс внедрением приготовленной смеси алмазно-абразивного материала с жидКИМ бакелитом в заготовку инструмента, выполненную из подпрессованной цельнсн древесины .In the present invention, the goal is achieved by introducing the prepared mixture of diamond abrasive material with liquid bakelite into a tool blank made of pre-pressed solid wood.

По описываемому способу разогретый до 50-60°С жидкий бакелит смеи1ивают с высушейным алмазно-абразивным микронорошком до нолучеии однородной смеси. Получеин ю смесь внедр ют Р. заготовку инструмента, выполненную из цельной поднрессованно) древесины , имеющую влажность 12--15%. Внедрение производ т в течение 50-60 сек иод давлением 300-400 кг.см- в камере с гидравлическим акк мул тором энергии. После пропитки заготовку высушивают при температуре 100-ИОЧ: в течение 10-12 час.According to the described method, liquid bakelite heated to 50-60 ° C is mixed with a dried diamond abrasive micronumine to obtain a homogeneous mixture. Pupine mix introduces R. billet tool, made of solid pressed wood, having a moisture content of 12–15%. The introduction was carried out within 50-60 seconds. Iodine pressure of 300-400 kg. Cm - in a chamber with a hydraulic energy accumulator. After impregnation, the workpiece is dried at a temperature of 100-IOC: for 10-12 hours.

Заготовка из псдпрсссованно древесины может выполн тьс любого типоразмера (г;ольцо, круг и т. п.).The timber blank can be made of any size (g; ring, circle, etc.).

В процессе внедрени смеси в заготовку алмаз110-абразив .;ыо зерна ориентируютс вдоль iiO.ioKOH древесины, в результате чего нол)частс заданна структура с наличием нродольlibix каналов, расноложепных на концентрическ;гх окружност х годичных слое древесины и заполненньгх алмазно-абпазивным микропоpOHIKOM .In the process of introducing the mixture into the diamond 110g abrasive. The grain oo is oriented along the iiO.ioKOH wood, resulting in a zero-predetermined structure with the presence of nodallibix channels located on the concentric, annular layer of wood and filled with diamond abpasive microorgans.

Оптимальна концентраци алмазно-абразивных зерен инструмента достигаетс нроHeiiTHbiM составом и применением 3ai0товки из древесины с задангой степенью прессовани .The optimum concentration of diamond abrasive tool grains is achieved by a nroHeiiTHbiM composition and the application of a 3a0g of wood with a given degree of pressing.

П р с д м е т и 3 о б р е т е i: н P r d d e m e and 3 o b r e te e: n

Способ изготовлени абразивных инструментов на бакелитовой св зке путем сменшвани аллгазно-абр;;з;1;;ного ):и)рошка с жидким бакелитом ;ри нагреванни, отличающийс тем, что, с 1слыо улучшени полирующих CBoiiCTB инстр .мент;, нриготовлсииую смесьA method of making abrasive tools on a bakelite bond by changing the allgas-abr ;; h; 1 ;;): i) a powder with liquid bakelite; heated up, characterized in that, with an improvement in polishing with a CBoiiCTB tool;