SU355489A1

SU355489A1 - INTERFEROMETER TO CONTROL THE QUALITY OF CONCURSED CYLINDRICAL SURFACES

Info

Publication number: SU355489A1
Application number: SU1445255A
Authority: SU
Original assignee: И. И. Духопел , Т. В. Симоненко

Description

Изобретение относитс к оптическим контрольно-измерительным приборам и может быть использовано дл контрол качества вогнутых цилиндрических поверхностей оптических деталей на предпри ти х оптической промышленности.The invention relates to optical instrumentation and can be used to control the quality of the concave cylindrical surfaces of optical components in enterprises of the optical industry.

Известные интерферометры дл контрол цилиндрических поверхиостей позвол ют нроводить измереин в небольшом диапазоне радиусов кривизны провер емых поверхностей. Дл их работы требуетс образцова цилиндрическа новерхиость.Known interferometers for testing cylindrical surfaces allow measuring the area in a small range of curvature radii of the tested surfaces. For their work, a sample cylindrical surface is required.

Особенностью П)едложеино1о интерферометра вл етс ограничение разделенных зрачков интерферометра с помощью узких (дифракционных ) щелей, которые снижают вли ние аберраций интерференционной системы. В результате становитс возможным нсиользовать в качестве образцовой поверхности нлоскость невысокого качества и контролировать на одном приборе цилиндрические иоверхности любых радиусов кривизны.The peculiarity of the interferometer is the restriction of the separated pupils of the interferometer by means of narrow (diffraction) slits, which reduce the effect of the aberrations of the interference system. As a result, it becomes possible to use as a model surface a low quality plane and to control cylindrical surfaces of any radii of curvature on one device.

Предложенный интерферометр показан на чертеже.The proposed interferometer is shown in the drawing.

Интерферометр содержит газовый лазер /, конденсор 2, диафрагму 3, зеркало 4, объектив коллил|атора 5, цилиндрическую линзу 6, кубик 7 с иолупрозрачной диагональной rpain:)io, цилиндрическую линзу 8, плоскую зеркал1зиоотражающую поверхность 9, провер емую деталь 10, цилиндрическую линзу 11, объектив коллиматора 12.The interferometer contains a gas laser /, a condenser 2, a diaphragm 3, a mirror 4, a collision lens | ator 5, a cylindrical lens 6, a cube 7 with translucent diagonal rpain:) io, a cylindrical lens 8, a flat mirror-reflecting surface 9, a test piece 10, a cylindrical lens 11, collimator lens 12.

Выход щий из объектива коллиматора 5 параллельный нучок направл етс па цилппдрическую линзу 6, с помощью которой на гран х а и б кубика 7 собираетс в пр мые линии , параллельные образующим цилиндрических новерхностей линзы 8 и нровер емой детали W и расноложенные, соответственно, в фокалыюй плоскости линзы 8 и п.чоскости центров кривнзн) провер емо поверхности. Ма гран х а б 1()Л1) , в середн е котор| Х юреза 1Ь прозрач1 з1е 11,е. (см. вид по стрелке Л). Щел) на б совме1це а с фокальной л пи1ей 6 и ронус ;ает к новерхности провер емой детали ч-ольку ту часть учка, сотора дифрагировала на щели. После отражени от детали 10 пучок направл етс в интерферометр зеркально полоски. Такой ход пучка обеспечиваетс соответству О ЦН смещеппем детали 10 в плоскости чертежа. Референтный пучок проходит к 8 A parallel nipple coming out of the lens of the collimator 5 is guided by a pedal lens 6, with which on the facets a and b of the cube 7 it is assembled into straight lines parallel to the cylindrical surfaces of lens 8 and the checked part W and spaced, respectively, into focal points the plane of the lens 8 and the area of the centers of the curves) of the surface being checked. Ma gran h a b 1 () L1), in the middle of which | X yureza 1b transparent1.11, e. (see view along arrow L). Scratch on the camera and with the focal line 6 and the radius; to the surface of the tested part, only that part of the unit was diffracted on the slit. After reflection from part 10, the beam is directed to the interferometer in the mirror-like stripe. Such a course of the beam is provided according to the TsN displacement of the part 10 in the plane of the drawing. The reference beam passes to 8

зеркаль ой полоски, апесенной ia .. ч. В обратном направлен П1 он пропускаетс через щель, что достигаетс соответству оп1,м Р аклоном поверх 1ост1 9. дечалей 8the mirror of the first strip, apa ia .. h. In the opposite direction, P1, it is passed through a slit, which is achieved by the corresponding op1, m P with aeon over 1post1 9. decals 8

и 9 может б1)ТЬ уСТа 1ОВЛе О Ц Л 1НД М ЧеСКОе зеркало, . которого раСПОЛОЖе 1а к ЛОСКОСТ Г1),and 9 can b1) Tb of the Arrangement 1 OWL O C L 1ND M Chezkoj Mirror,. which is located 1a to the LOS GOST G1),

с получени полос, параллельных или перпендикул рных образующей цилиндрической посерхности . По их иепр молинейиости суд т о качестве провер емой детали. Качество большинства деталей схемы, в том числе и поверхности 9, не оказывают заметного вли ни на точность контрол .from obtaining bands parallel or perpendicular to the forming cylindrical surface. According to their design, the quality of the inspected part is judged. The quality of most parts of the circuit, including the surface 9, does not have a noticeable effect on the accuracy of control.

Предмет изобретем и Subject invent and

Интерферометр дл контрол качества вогнутых цилиидрических поверх юстей оптических деталей, еодержащий оптические узлыInterferometer to control the quality of concave ciliydric optical components on the top, containing optical nodes

дл формировани рабочей и референтной воли цилиидрической формы и наблюдени имтерфереипионной картииы, отличающийс тем, что, с гд-лью обеспечени абсолютного метода контрол качества ни.пшдрических новерхиостей и раеширеии диапазона измерений , в фокальной илоекости цилиндрической линзы осветительного узла и за светоделительным устройством установлен две дифракционные Н1ели, причем щель в рабочем пучке установлена иа пути пр мого хода, а в референтном - на пути обратного хода лучей.to form the working and reference volatility of the ciliydric form and to observe the interfering cartia, characterized in that, in order to provide an absolute method of quality control of the lower limit and range of measurements, in the cylindrical lens of the lighting unit and in the light-emitting device, in the focal length of the cylindrical lens of the lighting unit and following the device. There are no slots, moreover, the slit in the working beam is set up on the forward path, and in the reference path on the reverse path of the rays.