SU345540A1 - УСТРОЙСТВО дл ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА - Google Patents
УСТРОЙСТВО дл ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКАInfo
- Publication number
- SU345540A1 SU345540A1 SU1452804A SU1452804A SU345540A1 SU 345540 A1 SU345540 A1 SU 345540A1 SU 1452804 A SU1452804 A SU 1452804A SU 1452804 A SU1452804 A SU 1452804A SU 345540 A1 SU345540 A1 SU 345540A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- voltage
- ion source
- cathode
- frequency ion
- extracting ions
- Prior art date
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 title description 12
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 235000013533 rum Nutrition 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Description
Изобретение относитс к устройствам питани высокочастотных ионных нсточников, используемых на электростатических ускорител х зар женных частиц.
Дл выт гивани ионов используютс источники посто нного напр жени , в частности выпр мители, при непрерывном режиме работы источника и более сложные источники импульсов напр жени при импульсном режиме. Величина тока ионов, извлекаемых из плазмы ионного источника, при неизменных прочих услови х разр да в плазме зависит от величины выт гивающего напр жени , приложенного между выт гивающим . электродом (катодом ) и анодом, который находитс под потенциалом плазмы ионного источника. Часть тока ионов проходит через канал в катоде и образует собственно ионный пучок, друга часть попадает на катод (катодный ток), вызыва его разогрев, износ и в конечном итоге выход из стро вместе с другими элементами системы выт гивани . Существует оптимальное напр жение выт гивани , при котором катодный ток имеет наименьщую величину. Оптимальное напр жение зависит от условий разр да и состо ни системы выт гивани . При отклонении от оптимального напр жени износ катода резко увеличиваетс .
ром вручную. Поскольку обычно ионные источники на ускорител х наход тс под высоким напр жением и дл измерени параметров питани источника требуетс очень сложное и дорогое оборудование телеизмерени , то часто не имеют нолной информации о параметрах питани . Напр жение выт гивани не может быть поэтому установлено оптимальным .
В предлолченном устройстве обеспечено автоматическое управление выт гиванием с помощью обратной св зи по катодному току. Дл этого выпр мителем выт гивани управл ет фазочувствнтельный усилитель; последовательно выпр мптелю включен источник небольшого синусоидального напр л енн (например , обмотка трансформатора); последовательно с катодом включено измерительное сопротивление , на котором переменна составл юща катодного тока создает сигнал обратной св зи, поступающий на усилитель.
Предложенное устройство показано на чертеже .
Устройство содержит высокочастотный ионный источник, включающий в себ анод / - электрод, наход щийс под потенциалом плазмы 2, и катод 3, источник 4 небольщого синусоидального напр жени ; управл емый выпр митель выт гивани 5, фазочувствительный
плиту 8 ускорител , наход щуюс под ускор ющим потенциалом.
Синусоидальное напр жение приводит к по влению переменной составл ющей той же частоты в катодном токе /к, причем если напр жение выт гивани меньше оптимального, то фаза тока противоположна фазе напр жени . При больщем папр жепии фазы тока и напр жени совпадают, при оптимальпом папр жении в катодном токе нет составл ющей этой частоты.
Усилитель в зависимости от фазы катодпого тока увеличивает или уменьшает напр жение выт гивани , поддержива его оптимальным .
Предмет изобретени
Устройство дл извлечени ионов из высокочастотпого ионного источника, состо щее из выт гивающего электрода и управл емого высоковольтного выпр мител , отличающеес тем, что, с целью уменьшени износа электродов , оно содержит цепь обратной св зи с помощью фазочувствительного усилител , вход
которого подключеп параллельно сопротивлению в цепи выт гивающего электрода, а выход подключеп к цепи управлени высоковольтного выпр мител , последовательно с которым включен низковольтный источник
синусоидального папр жепи .
Ионный пучок
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU345540A1 true SU345540A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8624501B2 (en) | Measuring and controlling parameters of a plasma generator | |
KR101959719B1 (ko) | 스위칭 모드 이온 에너지 분포 시스템의 고장, 비정상 및 다른 특성들을 모니터링하기 위한 시스템 및 방법 | |
JP6237924B2 (ja) | 質量分析装置 | |
CN104769830B (zh) | 高电压电源装置以及应用了该电源装置的质量分析装置 | |
JP4687716B2 (ja) | 高電圧電源装置及び該電源装置を用いた質量分析装置 | |
US7764025B2 (en) | Power supply apparatus and high-frequency circuit system | |
KR101340392B1 (ko) | 제전 장치 | |
US20100133429A1 (en) | Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer | |
WO2021140667A1 (ja) | 電源装置および電気推進システム | |
SU345540A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА | |
JPS60243960A (ja) | イオンマイクロビ−ム装置 | |
US4481447A (en) | Power supply for a magnetron | |
US2514235A (en) | System for controlling the charging of storage batteries | |
KR102141684B1 (ko) | 전류 펄스를 제어하는 모듈레이터 및 그 방법 | |
Dollinger et al. | Stripper foil requirements for optimum ion transmission at the Munich MP-tandem | |
CN117352365B (zh) | 电离电流控制装置及质谱仪 | |
CN116073678B (zh) | 一种耦合型电子内靶高压调制电源装置及调制方法 | |
SU194976A1 (ru) | Полуавтомат для тренировки высоковольтных электронных приборов | |
KR102128054B1 (ko) | 전류 펄스를 제어하는 모듈레이터 및 그 방법 | |
KR101599591B1 (ko) | 마이크로 펄스 시스템, 마이크로 펄스 시스템의 제어방법, 및 마이크로 펄스 시스템을 포함하는 전기 집진장치 | |
RU2275710C1 (ru) | Устройство для управления формой и плотностью потока электронно-лучевой пушки | |
US20240194450A1 (en) | Plasma processing device and plasma processing method | |
RU2660186C1 (ru) | Устройство для управления электронно-лучевым вентилем | |
JPS62196070A (ja) | 高電圧電源 | |
Shin et al. | Energy density distribution of a modulated electron beam in a source with a plasma cathode based on a low pressure arc |