SU345540A1 - УСТРОЙСТВО дл ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА - Google Patents

УСТРОЙСТВО дл ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА

Info

Publication number
SU345540A1
SU345540A1 SU1452804A SU1452804A SU345540A1 SU 345540 A1 SU345540 A1 SU 345540A1 SU 1452804 A SU1452804 A SU 1452804A SU 1452804 A SU1452804 A SU 1452804A SU 345540 A1 SU345540 A1 SU 345540A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
voltage
ion source
cathode
frequency ion
extracting ions
Prior art date
Application number
SU1452804A
Other languages
English (en)
Original Assignee
В. П. Якушев , В. А. Никитин
союзнАр пТпО библиотек
Publication of SU345540A1 publication Critical patent/SU345540A1/ru

Links

Description

Изобретение относитс  к устройствам питани  высокочастотных ионных нсточников, используемых на электростатических ускорител х зар женных частиц.
Дл  выт гивани  ионов используютс  источники посто нного напр жени , в частности выпр мители, при непрерывном режиме работы источника и более сложные источники импульсов напр жени  при импульсном режиме. Величина тока ионов, извлекаемых из плазмы ионного источника, при неизменных прочих услови х разр да в плазме зависит от величины выт гивающего напр жени , приложенного между выт гивающим . электродом (катодом ) и анодом, который находитс  под потенциалом плазмы ионного источника. Часть тока ионов проходит через канал в катоде и образует собственно ионный пучок, друга  часть попадает на катод (катодный ток), вызыва  его разогрев, износ и в конечном итоге выход из стро  вместе с другими элементами системы выт гивани . Существует оптимальное напр жение выт гивани , при котором катодный ток имеет наименьщую величину. Оптимальное напр жение зависит от условий разр да и состо ни  системы выт гивани . При отклонении от оптимального напр жени  износ катода резко увеличиваетс .
ром вручную. Поскольку обычно ионные источники на ускорител х наход тс  под высоким напр жением и дл  измерени  параметров питани  источника требуетс  очень сложное и дорогое оборудование телеизмерени , то часто не имеют нолной информации о параметрах питани . Напр жение выт гивани  не может быть поэтому установлено оптимальным .
В предлолченном устройстве обеспечено автоматическое управление выт гиванием с помощью обратной св зи по катодному току. Дл  этого выпр мителем выт гивани  управл ет фазочувствнтельный усилитель; последовательно выпр мптелю включен источник небольшого синусоидального напр л енн  (например , обмотка трансформатора); последовательно с катодом включено измерительное сопротивление , на котором переменна  составл юща  катодного тока создает сигнал обратной св зи, поступающий на усилитель.
Предложенное устройство показано на чертеже .
Устройство содержит высокочастотный ионный источник, включающий в себ  анод / - электрод, наход щийс  под потенциалом плазмы 2, и катод 3, источник 4 небольщого синусоидального напр жени ; управл емый выпр митель выт гивани  5, фазочувствительный
плиту 8 ускорител , наход щуюс  под ускор ющим потенциалом.
Синусоидальное напр жение приводит к по влению переменной составл ющей той же частоты в катодном токе /к, причем если напр жение выт гивани  меньше оптимального, то фаза тока противоположна фазе напр жени . При больщем папр жепии фазы тока и напр жени  совпадают, при оптимальпом папр жении в катодном токе нет составл ющей этой частоты.
Усилитель в зависимости от фазы катодпого тока увеличивает или уменьшает напр жение выт гивани , поддержива  его оптимальным .
Предмет изобретени 
Устройство дл  извлечени  ионов из высокочастотпого ионного источника, состо щее из выт гивающего электрода и управл емого высоковольтного выпр мител , отличающеес  тем, что, с целью уменьшени  износа электродов , оно содержит цепь обратной св зи с помощью фазочувствительного усилител , вход
которого подключеп параллельно сопротивлению в цепи выт гивающего электрода, а выход подключеп к цепи управлени  высоковольтного выпр мител , последовательно с которым включен низковольтный источник
синусоидального папр жепи .
Ионный пучок
SU1452804A УСТРОЙСТВО дл ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА SU345540A1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU345540A1 true SU345540A1 (ru)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8624501B2 (en) Measuring and controlling parameters of a plasma generator
KR101959719B1 (ko) 스위칭 모드 이온 에너지 분포 시스템의 고장, 비정상 및 다른 특성들을 모니터링하기 위한 시스템 및 방법
JP6237924B2 (ja) 質量分析装置
CN104769830B (zh) 高电压电源装置以及应用了该电源装置的质量分析装置
JP4687716B2 (ja) 高電圧電源装置及び該電源装置を用いた質量分析装置
US7764025B2 (en) Power supply apparatus and high-frequency circuit system
KR101340392B1 (ko) 제전 장치
US20100133429A1 (en) Method of controlling mass spectrometer and mass spectrometer
WO2021140667A1 (ja) 電源装置および電気推進システム
SU345540A1 (ru) УСТРОЙСТВО дл ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА
JPS60243960A (ja) イオンマイクロビ−ム装置
US4481447A (en) Power supply for a magnetron
US2514235A (en) System for controlling the charging of storage batteries
KR102141684B1 (ko) 전류 펄스를 제어하는 모듈레이터 및 그 방법
Dollinger et al. Stripper foil requirements for optimum ion transmission at the Munich MP-tandem
CN117352365B (zh) 电离电流控制装置及质谱仪
CN116073678B (zh) 一种耦合型电子内靶高压调制电源装置及调制方法
SU194976A1 (ru) Полуавтомат для тренировки высоковольтных электронных приборов
KR102128054B1 (ko) 전류 펄스를 제어하는 모듈레이터 및 그 방법
KR101599591B1 (ko) 마이크로 펄스 시스템, 마이크로 펄스 시스템의 제어방법, 및 마이크로 펄스 시스템을 포함하는 전기 집진장치
RU2275710C1 (ru) Устройство для управления формой и плотностью потока электронно-лучевой пушки
US20240194450A1 (en) Plasma processing device and plasma processing method
RU2660186C1 (ru) Устройство для управления электронно-лучевым вентилем
JPS62196070A (ja) 高電圧電源
Shin et al. Energy density distribution of a modulated electron beam in a source with a plasma cathode based on a low pressure arc