SU345298A1 - Привод микроперел\е1дений - Google Patents

Привод микроперел\е1дений

Info

Publication number
SU345298A1
SU345298A1 SU1325419A SU1325419A SU345298A1 SU 345298 A1 SU345298 A1 SU 345298A1 SU 1325419 A SU1325419 A SU 1325419A SU 1325419 A SU1325419 A SU 1325419A SU 345298 A1 SU345298 A1 SU 345298A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
drive
nozzles
cavity
valve
electromechanical transducer
Prior art date
Application number
SU1325419A
Other languages
English (en)
Original Assignee
М. Ф. Агашин, В. Э. Пуш , М. А. Шиманович Московский станкоинструментальнын институт
Publication of SU345298A1 publication Critical patent/SU345298A1/ru

Links

Description

Изобретение относитс  к области станкостроенн  и может быть применено, нанрнмер, дл  перемещени  шниндел  станка.
Уже известен привод микроперемещеннй шпиндел  станка, выполненный в виде установленных на входе в противоположные карманы гидростатической опоры регулируемы.ч гидравлических сопротивлений.
Цель изобретени  - повышение жесткости II быстродействи  привода.
Дл  этого регулируемые гидравлические сопротнвленн  выполнены в виде двух встречно расположенных сопел, между которыми консольно закреплена упруга  зослоика, служаш ,а   корем электро еханического преобразовател , причем полость расположеин; заслонки и сопел св зана с источником давлени . Причем корпус, образуюший полость расположени  заслонки и сопел, выполнен из немагнитного материала и в него встроены полостные наконечники электромеханического преобразовател  из магнитом гкого материала , а магнитопровод и обмотки преобразовател  располол ены вне конуса.
На чертеже изображен предложенный привод .
подаетс  через зазоры, образованные сонлами 4 и yHpyroii заслонкой ( корем) 5. Упруга  заслонка выполн ет одновременно роль  кор  электромеханического преобразовател , имеющего полюсные наконечники 6, встроенные в корпус 7 регул тора. На внешней части полюсных наконечников установлены обмотки управлени  8. К полюсным наконечникам прим1 кает магнитопровод 9 с обмоткой возбуждени  10. Работает привод следующим образом.
Пока ист тока в обмотках управлени  S, заслонка 5 нах(хт.итс  под де1 1ствием магнитног{ .) потока, создаваемого обмоткой возбуждени  10. удерживаетс  им в среднем положении . Гидравлические сонротивлени  зазоров между заслонкой 5 н соплами 4 вместе с гидравлическими сопротивлени ми карманов 2 п 3 образуют гидравлический мост, наход щийс  в равновесии.
При нодаче сигнала на обмотки унравлени  8  корь 5 смещаетс , измен   величину зазоров, и равновесие гидравлического моста нарушаетс . Подвижный узел 1 смещаетс  в соответствующую сторону до тех пор, нока равновесие моста не восстановитс  за счет изменени  гидравлического сопротивлени  карманов 2 и 3.
Независимо от величины сигнала на обмотках управлени  8 привод микроперемещений обеспечивает обратную св зь по нагрузке, что повышает его жесткость. При изменении нагрузки Р, действующей на узел /, измен ютс  соответственно давлени  PI и Р в карманах 2 и 3. Равновесие гидравлического моста нарушаетс , и иод действием перепада давлений PI и Р2 заслонка 5 изгибаетс , измен   гидравлическое сопротивление дросселей до тех пор, иска равновесие моста вновь не во.сстановитс . При соответствующем выборе жесткости заслонки 5 положение подвижного узла / не зависит в определенных пределах от величины нагрузки Р.
Заслонка 5 имеет малую длину хода и во врем  движени  не имеет непосредственного контакта с соплами 4 и полюсными наконечниками 6. Это исключает зону нечувствительности и износ рабочих поверхностей деталей регул тора, что повышает точность привода и его быстродействие.
Предмет изобретени 

Claims (2)

1.Привод микроперемещений, выполненный в виде замкнутой гидростатической опоры, на
входе в противоположные несущие карманы которой установлены управл емые гидравлические сопротивлени , отличающийс  тем, что, с целью увеличени  жесткости привода и повышени  его быстродействи , управл емые
гидравлические сопротивлени  выполнены в виде двух встречно расположенных сопел, между которыми консольно закреплена упруга  заслонка, служаща   корем электромеханического преобразовател , причем полость
расположени  заслонки и сопел св зана с источником давлени .
2.Привод по п. 1, отличающийс  тем, что корпус, образующий полость расположеии  заслонки и сопел, выполнен из немагнитного
материала и в него встроены полюсные нако}1ечники электромеханического преобразовател  расположены вне корнуса.
SU1325419A Привод микроперел\е1дений SU345298A1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU345298A1 true SU345298A1 (ru)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6476351B1 (ja) 単一駆動の剛性‐フレキシブルカップリングされる精密移動ステージ及びその実現方法、並びにアプリケーション
US5231336A (en) Actuator for active vibration control
CN103026094B (zh) 缓冲器的阻尼阀
EP0672224A4 (en) MAGNETORHEOLOGICAL VALVE AND DEVICES WITH MAGNETTORHEOLOGICAL ELEMENTS.
CN105179480A (zh) 一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置
CN103016434A (zh) 基于液压微位移放大结构的压电陶瓷直接驱动伺服阀
JPH02168039A (ja) 運動経過を緩衝するための緩衝装置
US11467065B2 (en) Hydro-magnetic linear actuator
SU345298A1 (ru) Привод микроперел\е1дений
Heinken et al. A high response electrorheological servo valve for active vibration decoupling
JPH02113103A (ja) 直動型電気油圧サーボ弁
JP4219162B2 (ja) アクティブダイナミックダンパ装置
JP2015218827A (ja) 静圧流体軸受装置
RO134250B1 (ro) Arc magnetic cu forţă elastică controlabilă
CN102146940A (zh) 一种浮动式伺服阀
CN103047358B (zh) 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器
KR101910639B1 (ko) 전자석 스프링 구조체
Strelyanaya Adaptive control system of a precision spindle assembly
JP2768127B2 (ja) 直動形サーボ弁
JPH0229284Y2 (ru)
JPS6145081B2 (ru)
KR20240096391A (ko) 용접 장치의 제어 방법, 탄성 안내 시스템, 용접 장치 위치 설정 장치 및 용접 장치
Makaino et al. Variable Virtual Spring Ratio and Damping Coefficient Control for Electro-magnetic Suspension with Linear Motor
JPS6319723B2 (ru)
JPH069358Y2 (ja) 負荷試験用制動トルク発生装置