SU294958A1 - Вакуумный насос - Google Patents
Вакуумный насосInfo
- Publication number
- SU294958A1 SU294958A1 SU1404202A SU1404202A SU294958A1 SU 294958 A1 SU294958 A1 SU 294958A1 SU 1404202 A SU1404202 A SU 1404202A SU 1404202 A SU1404202 A SU 1404202A SU 294958 A1 SU294958 A1 SU 294958A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pump
- vacuum
- vacuum pump
- molecular
- wheels
- Prior art date
Links
- 210000003027 Ear, Inner Anatomy 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
Description
Известны вакуумные насосы, содержащие размещенный в корпусе ротор в виде установленных на валу рабочих колес.
Цель изобретени - повышение компактности насоса.
Дл этого в предлагаемом вакуумном насосе колеса в высоковакуумной области выполнены молекул рными, например турбомолекул рными , а в форвакуумной - вихревыми.
На фиг. 1 изображен описываемый насос с турбомолекул рными колесами в высоковакуумной области; на фиг. 2 - насос с молекул рными колесами.
В корпусе 1 вакуумного насоса на валу 2 установлены роторы в виде молекул рных 3 и вихревых 4 колес. Вал вращаетс в подшипниках 5, уплотненных посредством лабиринтов 6. Привод насоса осуществл етс от высокочастотных либо асинхронных двигателей через ременную передачу.
Работает насос следующим образом.
Газ через вакуумный затвор 7 и всасывающий патрубок 8, раздел сь на два потока, поступает в молекул рную часть насоса, в которой сжимаетс от давлени Ю мм рт. ст., соответствующего молекул рным режимам течени , до форвакуумного давлени . Затем газ проходит в вихревую часть, где сжимаетс до давлени , несколько большего 1 ата, и выходит из насоса через нагнетательный патрубок 9. Так как подшипники
наход тс под атмосферным давлением, то
смазывают их с помощью масл ного насоса
или капельниц с дозированной подачей масла.
Вследствие того что давление нагнетани
несколько выще давлени в подшипниковых камерах, обеспечиваетс посто нна продувка газа в направлении от рабочей полости к подшипникам, что исключает загр знение сжимаемого газа маслом. Подшипниковые узлы
сообщаютс с атмосферой.
При остановке насоса перекрываетс вакуумный затвор 7. Возмолсно применение однопоточного насоса, однако при этом необходимы подшипники, не нуждающиес в смазке.
Запускают насос с атмосферного давлени , при пониженных числах оборотов или с дросселированием на всасывании.
При наличии двух приводных двигателей в момент пуска включают оба двигател , чем
обеспечиваетс повышенна пускова мощность; при выходе на режим один из двигателей отключают.
Предмет изобретени
Вакуумный )шсос, содержащий размещенный в корпусе ротор в виде устаиовленных на валу рабочих колес, отличающийс тем, что, с целью повышени компактности, колеса в высоковакуумпой области выполнены моле 2
:
2 Э
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU294958A1 true SU294958A1 (ru) |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6464451B1 (en) * | 1999-09-06 | 2002-10-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6464451B1 (en) * | 1999-09-06 | 2002-10-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU1771514C (ru) | Первичный двухступенчатый роторный насос | |
US5387090A (en) | Two-stage positive displacement pump | |
US4990069A (en) | Multi-stage roots vacuum pump with sealing module | |
KR19990054851A (ko) | 터보 압축기 | |
US20120051948A1 (en) | Vacuum Pump | |
JP2001207984A (ja) | 真空排気装置 | |
JP2001027195A (ja) | 真空ポンプ | |
SU294958A1 (ru) | Вакуумный насос | |
EP1234982B1 (en) | Vacuum pump | |
JP2002310092A (ja) | 真空ポンプ | |
US3666374A (en) | Rotary molecular vacuum pump | |
JPH04136497A (ja) | ターボ真空ポンプ | |
KR101347199B1 (ko) | 터보압축기 | |
KR20010010869A (ko) | 터보 압축기의 실링장치 | |
US6672828B2 (en) | Vacuum pump | |
KR100320192B1 (ko) | 터보 압축기의 가스베어링 구조 | |
KR100273376B1 (ko) | 터보압축기 | |
SU200710A1 (ru) | Вакуумная установка | |
KR100339545B1 (ko) | 터보 압축기 | |
KR100296306B1 (ko) | 터보 압축기의 가스베어링 구조 | |
KR100339549B1 (ko) | 터보 압축기의 실링장치 | |
WO2023280660A1 (en) | Vacuum pump | |
KR100273374B1 (ko) | 터보압축기의 스러스트 베어링 구조 | |
JPS6385286A (ja) | 真空ポンプ | |
KR100246435B1 (ko) | 터보압축기의 레이디얼 베어링 구조 |