SU294958A1 - Вакуумный насос - Google Patents

Вакуумный насос

Info

Publication number
SU294958A1
SU294958A1 SU1404202A SU1404202A SU294958A1 SU 294958 A1 SU294958 A1 SU 294958A1 SU 1404202 A SU1404202 A SU 1404202A SU 1404202 A SU1404202 A SU 1404202A SU 294958 A1 SU294958 A1 SU 294958A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pump
vacuum
vacuum pump
molecular
wheels
Prior art date
Application number
SU1404202A
Other languages
English (en)
Original Assignee
В. Д. Лубенец, М. И. Меньшиков, И. С. Рабинович, М. А. Радути
И. Я. Сухомлинов , В. Н. Хмара
Московское ордена Ленина , ордена Трудового Красного
высшее техническое училиш,е Н. Э. Баумана ФЬпД
Publication of SU294958A1 publication Critical patent/SU294958A1/ru

Links

Description

Известны вакуумные насосы, содержащие размещенный в корпусе ротор в виде установленных на валу рабочих колес.
Цель изобретени  - повышение компактности насоса.
Дл  этого в предлагаемом вакуумном насосе колеса в высоковакуумной области выполнены молекул рными, например турбомолекул рными , а в форвакуумной - вихревыми.
На фиг. 1 изображен описываемый насос с турбомолекул рными колесами в высоковакуумной области; на фиг. 2 - насос с молекул рными колесами.
В корпусе 1 вакуумного насоса на валу 2 установлены роторы в виде молекул рных 3 и вихревых 4 колес. Вал вращаетс  в подшипниках 5, уплотненных посредством лабиринтов 6. Привод насоса осуществл етс  от высокочастотных либо асинхронных двигателей через ременную передачу.
Работает насос следующим образом.
Газ через вакуумный затвор 7 и всасывающий патрубок 8, раздел  сь на два потока, поступает в молекул рную часть насоса, в которой сжимаетс  от давлени  Ю мм рт. ст., соответствующего молекул рным режимам течени , до форвакуумного давлени . Затем газ проходит в вихревую часть, где сжимаетс  до давлени , несколько большего 1 ата, и выходит из насоса через нагнетательный патрубок 9. Так как подшипники
наход тс  под атмосферным давлением, то
смазывают их с помощью масл ного насоса
или капельниц с дозированной подачей масла.
Вследствие того что давление нагнетани 
несколько выще давлени  в подшипниковых камерах, обеспечиваетс  посто нна  продувка газа в направлении от рабочей полости к подшипникам, что исключает загр знение сжимаемого газа маслом. Подшипниковые узлы
сообщаютс  с атмосферой.
При остановке насоса перекрываетс  вакуумный затвор 7. Возмолсно применение однопоточного насоса, однако при этом необходимы подшипники, не нуждающиес  в смазке.
Запускают насос с атмосферного давлени , при пониженных числах оборотов или с дросселированием на всасывании.
При наличии двух приводных двигателей в момент пуска включают оба двигател , чем
обеспечиваетс  повышенна  пускова  мощность; при выходе на режим один из двигателей отключают.
Предмет изобретени 
Вакуумный )шсос, содержащий размещенный в корпусе ротор в виде устаиовленных на валу рабочих колес, отличающийс  тем, что, с целью повышени  компактности, колеса в высоковакуумпой области выполнены моле 2
:
2 Э
SU1404202A Вакуумный насос SU294958A1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU294958A1 true SU294958A1 (ru)

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6464451B1 (en) * 1999-09-06 2002-10-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6464451B1 (en) * 1999-09-06 2002-10-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vacuum pump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU1771514C (ru) Первичный двухступенчатый роторный насос
US5387090A (en) Two-stage positive displacement pump
US4990069A (en) Multi-stage roots vacuum pump with sealing module
KR19990054851A (ko) 터보 압축기
US20120051948A1 (en) Vacuum Pump
JP2001207984A (ja) 真空排気装置
JP2001027195A (ja) 真空ポンプ
SU294958A1 (ru) Вакуумный насос
EP1234982B1 (en) Vacuum pump
JP2002310092A (ja) 真空ポンプ
US3666374A (en) Rotary molecular vacuum pump
JPH04136497A (ja) ターボ真空ポンプ
KR101347199B1 (ko) 터보압축기
KR20010010869A (ko) 터보 압축기의 실링장치
US6672828B2 (en) Vacuum pump
KR100320192B1 (ko) 터보 압축기의 가스베어링 구조
KR100273376B1 (ko) 터보압축기
SU200710A1 (ru) Вакуумная установка
KR100339545B1 (ko) 터보 압축기
KR100296306B1 (ko) 터보 압축기의 가스베어링 구조
KR100339549B1 (ko) 터보 압축기의 실링장치
WO2023280660A1 (en) Vacuum pump
KR100273374B1 (ko) 터보압축기의 스러스트 베어링 구조
JPS6385286A (ja) 真空ポンプ
KR100246435B1 (ko) 터보압축기의 레이디얼 베어링 구조