SU1752139A1 - Способ изготовления мдп-конденсаторов - Google Patents

Способ изготовления мдп-конденсаторов

Info

Publication number
SU1752139A1
SU1752139A1 SU4673816/25A SU4673816A SU1752139A1 SU 1752139 A1 SU1752139 A1 SU 1752139A1 SU 4673816/25 A SU4673816/25 A SU 4673816/25A SU 4673816 A SU4673816 A SU 4673816A SU 1752139 A1 SU1752139 A1 SU 1752139A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
dielectric
metal
plates
manufacturing
semiconductor capacitor
Prior art date
Application number
SU4673816/25A
Other languages
English (en)
Inventor
Ю.Н. Асеев
В.В. Гаганов
Original Assignee
Научно-исследовательский институт электронной техники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт электронной техники filed Critical Научно-исследовательский институт электронной техники
Priority to SU4673816/25A priority Critical patent/SU1752139A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1752139A1 publication Critical patent/SU1752139A1/ru

Links

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

Способ изготовления МДП-конденсаторов. Использование: приборостроение, микроэлектроника. Сущность изобретения: МДП-конденсаторы с многослойным диэлектриком. На полупроводниковую пластину наносят диэлектрические и металлические слои. Формируют группами верхние металлические обкладки. Число обкладок в группе определяют с учетом технологических и конструктивных допусков. Площади обкладок в группе формируют отличающимися по площади на величину ± ΔS Величина ΔS рассчитывается по формуле с учетом параметров, характеризующих диэлектрические слои, погрешности измерения емкостей и величины отклонения значений емкостей по площади пластины.
SU4673816/25A 1989-04-05 1989-04-05 Способ изготовления мдп-конденсаторов SU1752139A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4673816/25A SU1752139A1 (ru) 1989-04-05 1989-04-05 Способ изготовления мдп-конденсаторов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4673816/25A SU1752139A1 (ru) 1989-04-05 1989-04-05 Способ изготовления мдп-конденсаторов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1752139A1 true SU1752139A1 (ru) 1995-12-10

Family

ID=60532746

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4673816/25A SU1752139A1 (ru) 1989-04-05 1989-04-05 Способ изготовления мдп-конденсаторов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1752139A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2705762C1 (ru) * 2016-08-05 2019-11-11 Ниссан Мотор Ко., Лтд. Полупроводниковый конденсатор

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2705762C1 (ru) * 2016-08-05 2019-11-11 Ниссан Мотор Ко., Лтд. Полупроводниковый конденсатор

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0172784A3 (en) Surface-area pressure transducer and line-selection circuit for use therewith
CN107966481A (zh) 一种基于复合电容式结构的材质识别传感器及其制备方法
GB1361498A (en) Monolithic capacitor components and proc.for producing same
US4931901A (en) Method for adjusting capacitor at manufacture and product
EP0455070A1 (de) Kapazitiver Sensor mit Frequenzausgang
IT1179098B (it) Perfezionamenti alle apparecchiature a condensatore per la misura del diametro di fibre dielettriche
DE68913764D1 (de) Kapazitiver feuchtigkeitsfühler.
SU1752139A1 (ru) Способ изготовления мдп-конденсаторов
KR960011655B1 (en) Dram cell capacitor and the method
ES382416A2 (es) Disposicion de red capacitiva.
GB1410119A (en) Thin-film microcircuits
CN103545107A (zh) 用于薄膜电学性能测试的串联平行板电容器及其制备方法
ES489178A1 (es) Procedimiento para la fabricacion de un condensador estrati-ficado electrico regenerable
FR2309833A1 (fr) Jauge capacitive pour le controle d'une dimension interieure d'un tube
DE4136995A1 (de) Kapazitiver drucksensor
FR2279211A1 (fr) Procede pour la fabrication de condensateurs metal-oxyde-metal a facteur de qualite eleve
DE3482564D1 (de) Temperaturkompensierter kondensator.
JPS6484616A (en) Condenser
DE2644448A1 (de) Struktur mit einer wellenquelle und verfahren zur gemeinsamen herstellung solcher strukturen
CN2402995Y (zh) 容栅角位移传感器
JPS6482608A (en) Method of manufacture of a plurality of beam lead capacitors and capacitors manufactured by the method
JPS60102727A (ja) トリミングコンデンサ及びその製造方法
JPS5771162A (en) Semiconductor device
SU1633950A1 (ru) Емкостный матричный датчик давления
SU1366872A1 (ru) Емкостный датчик дл измерени толщины напыл емой пленки