SU1744519A1 - Устройство дл измерени температуры - Google Patents

Устройство дл измерени температуры Download PDF

Info

Publication number
SU1744519A1
SU1744519A1 SU894738617A SU4738617A SU1744519A1 SU 1744519 A1 SU1744519 A1 SU 1744519A1 SU 894738617 A SU894738617 A SU 894738617A SU 4738617 A SU4738617 A SU 4738617A SU 1744519 A1 SU1744519 A1 SU 1744519A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
thermocouple
thermistor
free ends
temperature
flange
Prior art date
Application number
SU894738617A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Анатольевич Кустов
Игорь Евгеньевич Махов
Александр Галиевич Хафизов
Original Assignee
Научно-исследовательский технологический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский технологический институт filed Critical Научно-исследовательский технологический институт
Priority to SU894738617A priority Critical patent/SU1744519A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1744519A1 publication Critical patent/SU1744519A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к термометрии и позвол ет повысить эффективность путем обеспечени  измерени  в услови х вакуума Устройство содержит термопару и теп/товы- равнивающий элемент в виде вакуумного фланга с гермовводами, вдолост х которого размещены свободные концы термопары и терморезистор Выполнение полости дл  терморезистора во фланге со стороны атмосферы позвол ет ввести в устройство только два гермоввода, через которые свободные концы термопары посредством сое- динительных проводов из материала гермовводов подключены к измерительному прибору 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к термометрии и может быть использовано дл  измерений температуры наход щихс  в вакууме объектов .
Известно устройство дл  измерени  температуры наход щихс  в вакууме объектов , используемое в источнике испарени  дл  молекул рно-лучевой эпитаксии. Устройство представл ет собой термопару, рабочий спай которого прижат к тиглю эффузионной  чейки, где размещаетс  испар емый материал, а свободные концы
присоединены к расположенным на фланце гермовводам, подключенным другими концами к электроизмерительному прибору.
Недостатком указанного устройства  вл етс  низка  точность измерени  температуры, обусловленна  отсутствием компенсации измерени  температуры холодного спа  термопары .
Погрешность измерени  увеличиваетс  из-за значительного разогрева холодного
спа , так как в услови х вакуума теплопередача происходит за счет излучени  и непосредственного теплового контакта узлов, что приводит к большой разнице температур концов гермовводов внутри и снаружи вакуумной камеры.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  устройство дл  измерени  температуры, содержащее термопару и выполненный из двух изолированных друг от друга частей тепловыравнива- ющий элемент, в полост х которого размещены терморезистор и свободные концы термопары, подключенные через соединительные провода к измерительному прибору.
Недостатком известного устройства  вл етс  невысока  эффективность. обусловленна  невозможностью обеспечени  измерени  тем- пературы в вакууме, что св зано с выполнением тепловыравнивающего тела и способом размещени  в нем свободных концов термопары .
Ј
2
4 СП
Ю
Цель изобретени  - повышение эффективности устройства путем обеспечени  измерени  в услови х вакуума.
Использование изобретени , например , в установках молекул рно-лучевойэпи- таксии позвол ет повысить точность поддержани  температуры молекул рных источников, в которых размещаютс  исходные компоненты требуемой пленочной структуры, и, следовательно, повысить качество выращиваемых пленочных структур и полупроводниковых приборов на их основе.
Поставленна  цель достигаетс  тем, что в устройстве дл  измерени  температуры, содержащем термопару и тепловыравнива- ющий элемент, в полост х которого размещены терморезистор и свободные концы термопары, через соединительные провода подключенные к измерительному прибору, тепловыравнивающий элемент выполнен в виде вакуумного фланца с гермовводами, полости дл  свободных концов термопары и терморезистора размещены с противоположных сторон фланца, а часть соединительных проводов между свободными концами термопары и гермовводами выполнена из материала последних.
Расположение свободных концов термопары и терморезистора в теле фланца в непосредственной близости один от другого позвол ет уменьшить тепловое сопротивление между ними, снизить вли ние теплового излучени  объекта, в результате чего повышаетс  точность измерени  температуры . Размещение терморезистора со стороны атмосферы и наличие гермовводов позвол ют обеспечить измерени  в вакууме без натекани  до давлени  1 х 10 Па.
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
Устройство содержит термопару, гор чий спай 2.которой прижат к объекту 1, а свободный спай 3 заведен в полости, выполненные в теле фланца 4 на стороне вакуума, Проводники 5, подключающие термопару к гермовводам 6, выполнены из материала гермовводов. Терморезистор 7 размещен в полости, выполненной во фланце 4 на стороне атмосферы. Гермовводы 6 и терморезистор 7 подключены к измерительному прибору 8, а фланец 4 присоединен к вакуумной камере 9. Холодный (свободный) спай 3 термопары и терморезистор 7 изолированы от тела фланца 4 керамическими шайбами 10,
Устройство работает следующим образом .
При разогреве объекта 1 температура
гор чего спа  2 термопары повышаетс , в результате чего на гермовводах 6 возникает термоЭДС, величина которой определ етс  разностью температур гор чего 2 и свободно0 го 3 спаев. Терморезистор 7 измер ет температуру свободного спа  3. Полости в теле фланца 4, в которых размещены свободный спай 3 термопары и терморезистор 7, расположены близко одна от другой, что обес5 печивает малое тепловое сопротивление между ними, а следовательно, и малую погрешность измерени . Так как терморезистор 7 расположен со стороны атмосферы, то дл  работы устройства требуютс  только
0 два гермоввода 5, что обеспечивает его высокую герметичность.
В процессе разогрева объекта 1 за счет излучени  происходит разогрев стенок вакуумной камеры 9, фланца 4, гермовводов 6,
5 проводников 5. Керамические шайбы 10 защищают свободный спай 3 от излучени  обьекта 1, поэтому температура спа  3 близка к температуре фланца 4. Разогрев элементов устройства в процессе работы не
0 вли ет на точность измерени , поскольку .она определ етс  разностью температур свободного (холодного) спа  3 и терморезистора 7 и сводитс  к минимуму. Вли ние температуры окружающей среды со сторо5 ны атмосферы незначительно, поскольку фланец 4 представл ет собой изотермическую панель.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Устройство дл  измерени  температу0 ры, содержащее термопару и тепловыравнивающий элемент, в полост х которого размещены терморезистор и свободные концы термопары, через соединительные провода подключенные к измерительному
    5 прибору, обличающеес  тем, что, с целью повышени  эффективности путем обеспечени  измерени  в услови х вакуума, тепловыравнивающий элемент выполнен в виде вакуумного фланца с гермовводами, полости дл  свободных концов термопары и
    0 терморезистора размещены с противоположных сторон фланца, а часть соединительных проводов между свободными концами термопары и гермовводами выполнена из материала последних.
SU894738617A 1989-09-18 1989-09-18 Устройство дл измерени температуры SU1744519A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894738617A SU1744519A1 (ru) 1989-09-18 1989-09-18 Устройство дл измерени температуры

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894738617A SU1744519A1 (ru) 1989-09-18 1989-09-18 Устройство дл измерени температуры

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1744519A1 true SU1744519A1 (ru) 1992-06-30

Family

ID=21470333

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894738617A SU1744519A1 (ru) 1989-09-18 1989-09-18 Устройство дл измерени температуры

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1744519A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2475712C1 (ru) * 2011-09-16 2013-02-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Способ измерения температуры термопарами, измерительная информационная система для его осуществления и температурный переходник
CN103542946A (zh) * 2012-07-12 2014-01-29 中国石油天然气股份有限公司 一种温度检测组件

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Проспект фирмы VG Semicon, Великобритани , 1988. Авторское свидетельство СССР Мг Т422024,кл. G 01 К 7/12. 1987. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2475712C1 (ru) * 2011-09-16 2013-02-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Способ измерения температуры термопарами, измерительная информационная система для его осуществления и температурный переходник
CN103542946A (zh) * 2012-07-12 2014-01-29 中国石油天然气股份有限公司 一种温度检测组件
CN103542946B (zh) * 2012-07-12 2016-03-09 中国石油天然气股份有限公司 一种温度检测组件

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB1462509A (en) Photometric instruments
US4178800A (en) Method of and apparatus for the measuring of quantities of heat
SU1744519A1 (ru) Устройство дл измерени температуры
US3521018A (en) Temperature sensor
US4989991A (en) Emissivity calibration apparatus and method
US4788416A (en) Direct wafer temperature control
US3260102A (en) Calibration method and device for heat flux sensors
SU1076775A1 (ru) Способ определени теплоотдачи теплообменника
JPH02298829A (ja) 熱処理装置
JPS55149025A (en) Internal temperature measuring method
SU748150A1 (ru) Способ определени степени черноты тепловыдел ющих изделий
RU1796921C (ru) Устройство дл измерени температуры в вакууме
SU1068740A1 (ru) Дифференциальный сканирующий микрокалориметр
SU892239A1 (ru) Датчик теплового потока
SU1422024A2 (ru) Устройство дл измерени температуры
JPS6018747A (ja) 線膨張係数測定装置
SU1668887A1 (ru) Способ контрол герметичности термосифонов, собранных с полупроводниковыми приборами
SU618659A1 (ru) Устройство дл измерени количества тепла
RU2011980C1 (ru) Нагреватель интегрального газочувствительного датчика
SU1069030A1 (ru) Устройство стабилизации криогенной температуры объекта в электроннозондовом приборе
JPS589914B2 (ja) 球形炉
SU824159A1 (ru) Термостат
SU1659815A1 (ru) Способ определени теплопроводности материалов
JPS61101994A (ja) ホツトプレ−ト装置
Sun et al. Measurement of temperature distribution of a flat-plate heat pipe using thermochromic liquid crystal and color imaging techniques