SU1744519A1 - Устройство дл измерени температуры - Google Patents
Устройство дл измерени температуры Download PDFInfo
- Publication number
- SU1744519A1 SU1744519A1 SU894738617A SU4738617A SU1744519A1 SU 1744519 A1 SU1744519 A1 SU 1744519A1 SU 894738617 A SU894738617 A SU 894738617A SU 4738617 A SU4738617 A SU 4738617A SU 1744519 A1 SU1744519 A1 SU 1744519A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- thermocouple
- thermistor
- free ends
- temperature
- flange
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к термометрии и позвол ет повысить эффективность путем обеспечени измерени в услови х вакуума Устройство содержит термопару и теп/товы- равнивающий элемент в виде вакуумного фланга с гермовводами, вдолост х которого размещены свободные концы термопары и терморезистор Выполнение полости дл терморезистора во фланге со стороны атмосферы позвол ет ввести в устройство только два гермоввода, через которые свободные концы термопары посредством сое- динительных проводов из материала гермовводов подключены к измерительному прибору 1 ил.
Description
Изобретение относитс к термометрии и может быть использовано дл измерений температуры наход щихс в вакууме объектов .
Известно устройство дл измерени температуры наход щихс в вакууме объектов , используемое в источнике испарени дл молекул рно-лучевой эпитаксии. Устройство представл ет собой термопару, рабочий спай которого прижат к тиглю эффузионной чейки, где размещаетс испар емый материал, а свободные концы
присоединены к расположенным на фланце гермовводам, подключенным другими концами к электроизмерительному прибору.
Недостатком указанного устройства вл етс низка точность измерени температуры, обусловленна отсутствием компенсации измерени температуры холодного спа термопары .
Погрешность измерени увеличиваетс из-за значительного разогрева холодного
спа , так как в услови х вакуума теплопередача происходит за счет излучени и непосредственного теплового контакта узлов, что приводит к большой разнице температур концов гермовводов внутри и снаружи вакуумной камеры.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс устройство дл измерени температуры, содержащее термопару и выполненный из двух изолированных друг от друга частей тепловыравнива- ющий элемент, в полост х которого размещены терморезистор и свободные концы термопары, подключенные через соединительные провода к измерительному прибору.
Недостатком известного устройства вл етс невысока эффективность. обусловленна невозможностью обеспечени измерени тем- пературы в вакууме, что св зано с выполнением тепловыравнивающего тела и способом размещени в нем свободных концов термопары .
Ј
2
4 СП
Ю
Цель изобретени - повышение эффективности устройства путем обеспечени измерени в услови х вакуума.
Использование изобретени , например , в установках молекул рно-лучевойэпи- таксии позвол ет повысить точность поддержани температуры молекул рных источников, в которых размещаютс исходные компоненты требуемой пленочной структуры, и, следовательно, повысить качество выращиваемых пленочных структур и полупроводниковых приборов на их основе.
Поставленна цель достигаетс тем, что в устройстве дл измерени температуры, содержащем термопару и тепловыравнива- ющий элемент, в полост х которого размещены терморезистор и свободные концы термопары, через соединительные провода подключенные к измерительному прибору, тепловыравнивающий элемент выполнен в виде вакуумного фланца с гермовводами, полости дл свободных концов термопары и терморезистора размещены с противоположных сторон фланца, а часть соединительных проводов между свободными концами термопары и гермовводами выполнена из материала последних.
Расположение свободных концов термопары и терморезистора в теле фланца в непосредственной близости один от другого позвол ет уменьшить тепловое сопротивление между ними, снизить вли ние теплового излучени объекта, в результате чего повышаетс точность измерени температуры . Размещение терморезистора со стороны атмосферы и наличие гермовводов позвол ют обеспечить измерени в вакууме без натекани до давлени 1 х 10 Па.
На чертеже изображено предлагаемое устройство.
Устройство содержит термопару, гор чий спай 2.которой прижат к объекту 1, а свободный спай 3 заведен в полости, выполненные в теле фланца 4 на стороне вакуума, Проводники 5, подключающие термопару к гермовводам 6, выполнены из материала гермовводов. Терморезистор 7 размещен в полости, выполненной во фланце 4 на стороне атмосферы. Гермовводы 6 и терморезистор 7 подключены к измерительному прибору 8, а фланец 4 присоединен к вакуумной камере 9. Холодный (свободный) спай 3 термопары и терморезистор 7 изолированы от тела фланца 4 керамическими шайбами 10,
Устройство работает следующим образом .
При разогреве объекта 1 температура
гор чего спа 2 термопары повышаетс , в результате чего на гермовводах 6 возникает термоЭДС, величина которой определ етс разностью температур гор чего 2 и свободно0 го 3 спаев. Терморезистор 7 измер ет температуру свободного спа 3. Полости в теле фланца 4, в которых размещены свободный спай 3 термопары и терморезистор 7, расположены близко одна от другой, что обес5 печивает малое тепловое сопротивление между ними, а следовательно, и малую погрешность измерени . Так как терморезистор 7 расположен со стороны атмосферы, то дл работы устройства требуютс только
0 два гермоввода 5, что обеспечивает его высокую герметичность.
В процессе разогрева объекта 1 за счет излучени происходит разогрев стенок вакуумной камеры 9, фланца 4, гермовводов 6,
5 проводников 5. Керамические шайбы 10 защищают свободный спай 3 от излучени обьекта 1, поэтому температура спа 3 близка к температуре фланца 4. Разогрев элементов устройства в процессе работы не
0 вли ет на точность измерени , поскольку .она определ етс разностью температур свободного (холодного) спа 3 и терморезистора 7 и сводитс к минимуму. Вли ние температуры окружающей среды со сторо5 ны атмосферы незначительно, поскольку фланец 4 представл ет собой изотермическую панель.
Claims (1)
- Формула изобретени Устройство дл измерени температу0 ры, содержащее термопару и тепловыравнивающий элемент, в полост х которого размещены терморезистор и свободные концы термопары, через соединительные провода подключенные к измерительному5 прибору, обличающеес тем, что, с целью повышени эффективности путем обеспечени измерени в услови х вакуума, тепловыравнивающий элемент выполнен в виде вакуумного фланца с гермовводами, полости дл свободных концов термопары и0 терморезистора размещены с противоположных сторон фланца, а часть соединительных проводов между свободными концами термопары и гермовводами выполнена из материала последних.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894738617A SU1744519A1 (ru) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | Устройство дл измерени температуры |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894738617A SU1744519A1 (ru) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | Устройство дл измерени температуры |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1744519A1 true SU1744519A1 (ru) | 1992-06-30 |
Family
ID=21470333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894738617A SU1744519A1 (ru) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | Устройство дл измерени температуры |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1744519A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2475712C1 (ru) * | 2011-09-16 | 2013-02-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Способ измерения температуры термопарами, измерительная информационная система для его осуществления и температурный переходник |
CN103542946A (zh) * | 2012-07-12 | 2014-01-29 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种温度检测组件 |
-
1989
- 1989-09-18 SU SU894738617A patent/SU1744519A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Проспект фирмы VG Semicon, Великобритани , 1988. Авторское свидетельство СССР Мг Т422024,кл. G 01 К 7/12. 1987. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2475712C1 (ru) * | 2011-09-16 | 2013-02-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) | Способ измерения температуры термопарами, измерительная информационная система для его осуществления и температурный переходник |
CN103542946A (zh) * | 2012-07-12 | 2014-01-29 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种温度检测组件 |
CN103542946B (zh) * | 2012-07-12 | 2016-03-09 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种温度检测组件 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GB1462509A (en) | Photometric instruments | |
US4178800A (en) | Method of and apparatus for the measuring of quantities of heat | |
SU1744519A1 (ru) | Устройство дл измерени температуры | |
US3521018A (en) | Temperature sensor | |
US4989991A (en) | Emissivity calibration apparatus and method | |
US4788416A (en) | Direct wafer temperature control | |
US3260102A (en) | Calibration method and device for heat flux sensors | |
SU1076775A1 (ru) | Способ определени теплоотдачи теплообменника | |
JPH02298829A (ja) | 熱処理装置 | |
JPS55149025A (en) | Internal temperature measuring method | |
SU748150A1 (ru) | Способ определени степени черноты тепловыдел ющих изделий | |
RU1796921C (ru) | Устройство дл измерени температуры в вакууме | |
SU1068740A1 (ru) | Дифференциальный сканирующий микрокалориметр | |
SU892239A1 (ru) | Датчик теплового потока | |
SU1422024A2 (ru) | Устройство дл измерени температуры | |
JPS6018747A (ja) | 線膨張係数測定装置 | |
SU1668887A1 (ru) | Способ контрол герметичности термосифонов, собранных с полупроводниковыми приборами | |
SU618659A1 (ru) | Устройство дл измерени количества тепла | |
RU2011980C1 (ru) | Нагреватель интегрального газочувствительного датчика | |
SU1069030A1 (ru) | Устройство стабилизации криогенной температуры объекта в электроннозондовом приборе | |
JPS589914B2 (ja) | 球形炉 | |
SU824159A1 (ru) | Термостат | |
SU1659815A1 (ru) | Способ определени теплопроводности материалов | |
JPS61101994A (ja) | ホツトプレ−ト装置 | |
Sun et al. | Measurement of temperature distribution of a flat-plate heat pipe using thermochromic liquid crystal and color imaging techniques |