SU1724729A1 - Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы - Google Patents
Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы Download PDFInfo
- Publication number
- SU1724729A1 SU1724729A1 SU894696538A SU4696538A SU1724729A1 SU 1724729 A1 SU1724729 A1 SU 1724729A1 SU 894696538 A SU894696538 A SU 894696538A SU 4696538 A SU4696538 A SU 4696538A SU 1724729 A1 SU1724729 A1 SU 1724729A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- sleeves
- wear
- casing
- coating
- products
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оборудованию дл нанесени покрытий, в частности износостойких покрытий при термораспаде неорганических соединений. Цель изобретени - повышение качества за счет увеличени износостойкости обработанных изделий. Кожух 4 поднимают, дава свободный доступ к подложкодержателю 3. Издели 10, заключенные концами в гильзы 9, вставл ют в отверсти подлож ко держател 3. При этом торец одной из гильз 9 опираетс на торец шайбы 23, а торцы остальных гильз 9 опираютс на шарики 11. Кожух 4 опускают на основание 5, Включением вакуумного насоса из камеры 6 по трубопроводу 7 удал ют воздух. Когда рабоча часть издели 10 проходит индуктор 15, включают закалочный узел 14. При прохождении нагретого издели 10 через форсунку 16 из испарител 17 подают кре мнеорганическое соединение в паровой (газовой) фазе. Соединение осаждаетс на поверхность изделий 10. образу износостойкое покрытие. Конструктивные особенности установки обеспечивают повышение стойкости обработанных фрез в 4 раза. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к металлургии и машиностроению, использующей дл упрочнени изделий как термообработку, так и нанесение износостойких покрытий при термораспаде неорганических соединений, и может найти применение в инструментальной промышленности при изготовлении сверл, метчиков, разверток и др.
Известно устройство, содержащее реактор с п о длож ко держателем, приводом вращени и нагревателем, размещенными в камере, разделенной перегородками на секции, к одной из которых подведены патрубки подачи МОС и отвода продуктов распада .
Известна установка, имеюща термостатированную кольцевую камеру, разделенную радиальными перегородками на секции, выполн ющие регламентированные технологические операции.
Недостаток этих устройств заключаетс в том, что при длительном пребывании изделий в камере при температуре 400-500°С, вл ющейс температурой нанесени кар- бидохромового покрыти , приводит к снижению их первоначальной (поле закалки) микротвердости на 10-15%.
Цель изобретени - повышение качества за счет увеличени износостойкости обработанных изделий, например сверл, метчиков, разверток, пальцевых фрез и др.
Поставленна цель достигаетс тем, что установка снабжена рабочей емкостью с закалочным узлом токами высокой частоты, ванной дл хладагента и механизмом перемещени обрабатываемых изделий, при этом форсунка дл подачи металлооргани- ческих соединений установлена в рабочей емкости между закалочным узлом и ванной.
На чертеже дана установка, разрез.
Установка содержит стойку 1 с приводом 2 вращени подложкодержател 3, закрываемого кожухом 4. Опира сь на основание 5, кожух 4 образует камеру 6, сообщающуюс через трубопровод 7 с вакуумным насосом. Подложкодержатель 3 разделен радиальными перегородками 8 на секции, количество которых равно количеству устанавливаемых гильз 9 с издели ми 10. Торцы гильз 9, как и торец подложкодержател 3, опираютс на шарики 11, размещенные с отверсти ми сепараторного кольца
12.Снизу к основанию 5 параллельно оси подложкодержател 3 прикреплена емкость
13,сообщающа с с камерой 6. Внутри емкости 13 установлены закалочный узел 14 токами высокой частоты (ТВЧ), индуктор 15 которого подсоединен к энергопитанию, форсунка 16, соединенна с испарителем 17.
К торцу емкости 13 присоединен силовой элемент 18, например гидроцилиндр, вл ющийс дном ванны 19 с хладагентом 20.
На штоке 21, выход щем из гидроцилиндра , смонтирован подпружиненный стакан 22, а на торце закреплена шайба 23.
Электронагревательный элемент 24 размещен в центральной части кожуха 4.
Установка дл нанесени износостойких покрытий из паровой (газовой) фазы работает следующим образом.
Кожух 4 поднимают, дава свободный доступ к подложкодержателю 3. Издели 10,
заключенные концами в гильзы 9, вставл ют в отверсти подложкодержател 3.
При этом торец одной из гильзы 9 опираетс на торец шайбы 23, а торцы остальных гильз 9 опираютс на щарики 11. Кожух
4 опускают на основание 5. Включением вакуумного насоса из камеры 6 по трубопроводу 7 удал ют воздух (показано стрелкой ). Одновременно включают электронагревательный элемент 24.
При достижении разрежени в камере 6 пор дка 1 мм рт.ст. в штоковую полость силового элемента 18 подают давление. Шток 21 вместе с шайбой 23 отходит от торца гильзы 9 вовнутрь стакана 22. Под
давлением силы т жести гильза 9 с изделием 10 также опускаютс в стакан 22 и вместе с шайбой 23 попадают в емкость 13. Когда рабоча часть издели 10 проходит индуктор 15, включают закалочный узел ТВЧ 14. Изделие 10 нагревают до температуры закалки . При прохождении нагретого издели 10 через форсунку 16 из испарител 17 подают кремнеорганическое соединение в паровой (газовой) фазе. Соединение осаждаетс на поверхность издели 10, образу износостойкое покрытие.
При дальнейшем перемещении штока 21 изделие 10 попадает в ванну 19 с хладагентом 20, где проходит окончательную стадию закалки. После этого давление повышают в бесштоковой полости силового элемента 18. Шток 21 возвращает изделие 10 вместе с гильзой 9 в камеру 6 в первоначальное положение. Включают привод 2. Подложкодержатель 3 поворачиваетс на угол, равный углу расположени в подлож- кодержателе гильз 9 с изделием 10. При этом ось издели 10, не прошедшего нанесени покрыти , совмещаетс с осью штока 21.
Последовательность работы установки повтор етс до тех пор, пока все издели , наход щиес в камере, не пройдут процесс закалки и нанесени покрыти .
Издели 10, прошедшие закалку и нанесение покрыти и наход щиес в камере б в ожидании окончани процесса над всеми издели ми, проход т в это врем восстановительный отпуск при 500-600°С. После окончани работы установки в камере б выравнивают давление с окружающей средой, поднимают кожух 4, разгружают подлбжко- держатель 3 от готовых изделий, а на освободившеес место устанавливают новые издели 10.
Фрезы d 10 мм из стали Р6М5, прошедшие закалку и карбидокремниевое покрытие в предлагаемой установке, имеют твердость основы 68 ед. ННСэ при микротвердости покрыти 3200 кг/мм2. Стойкость фрез по сравнению с изготовленными по известной технологии повышаетс в 4 раза.
0
5
0
Claims (1)
- Формула изобретени Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы, содержаща термостатированную камеру с поворотным под- ложкодержателем,разделеннуюрадиальными перегородками на секции и соединенную трубопроводом с вакуумным насосом, и испаритель металлорганических соединений с форсункой, отличающа с тем, что, с целью повышени качества за счет увеличени износостойкости обработанных изделий, она снабжена рабочей емкостью с закалочным узлом токами высокой частоты, ванной дл хладагента и механизмом перемещени обрабатываемых изделий , при этом форсунка дл подачи металлоорганических соединений установлена в рабочей емкости между закалочным узлом и ванной.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894696538A SU1724729A1 (ru) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894696538A SU1724729A1 (ru) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1724729A1 true SU1724729A1 (ru) | 1992-04-07 |
Family
ID=21450058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894696538A SU1724729A1 (ru) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1724729A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2550464C2 (ru) * | 2010-02-24 | 2015-05-10 | Сингулус Текнолоджиз Аг | Способ и устройство для быстрого нагревания и охлаждения подложки и немедленного последующего нанесения на нее покрытия в вакууме |
-
1989
- 1989-04-11 SU SU894696538A patent/SU1724729A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР Мг 699031, кл. С 23 С 16/00, 1976. Авторское свидетельство СССР № 954512,кл. С 23 С 16/00, 1980. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2550464C2 (ru) * | 2010-02-24 | 2015-05-10 | Сингулус Текнолоджиз Аг | Способ и устройство для быстрого нагревания и охлаждения подложки и немедленного последующего нанесения на нее покрытия в вакууме |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA1272077A (en) | Hard surface coatings for metals in fluidized beds | |
KR102395488B1 (ko) | 기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노 | |
US5216223A (en) | Plasma treatment apparatus | |
US4709655A (en) | Chemical vapor deposition apparatus | |
CN107267908B (zh) | 一种钻杆接头表面制备NiCrBSi-TiN梯度复合涂层耐磨带的方法 | |
US4258658A (en) | CVD Coating device for small parts | |
CN1017260B (zh) | 一种用于对多种材料进行深冷处理的装置和方法 | |
JP2012512321A5 (ru) | ||
US6656413B2 (en) | Method and apparatus for quenching metal workpieces | |
CN206089796U (zh) | 用于pvd加工的挂具 | |
CN213538101U (zh) | 一种用于管道内壁的高频感应熔覆装置 | |
SU1724729A1 (ru) | Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы | |
US4769092A (en) | Variable cooling device for turbo engine wall parts | |
US3783007A (en) | Metal carbonitrile coatings | |
EP0672194B1 (en) | Method and apparatus for controlling heat transfer between a container and workpieces | |
US3769068A (en) | Method for manufacturing steel plates coated with aluminum powder | |
RU2182935C1 (ru) | Способ термодиффузионного нанесения покрытий на сложнопрофильные металлические изделия и технологическая линия термодиффузионного нанесения покрытий на сложнопрофильные металлические изделия | |
TWI496938B (zh) | A heat treatment method including a heating step, a processing step and a cooling step | |
CN105780000B (zh) | 一种发动机燃烧室表面复合硅化物涂层的制备方法 | |
SU1611578A1 (ru) | Установка дл нанесени покрыти из металлического порошка | |
KR102611396B1 (ko) | 티타늄 코팅용 증착 장치 | |
RU2194088C2 (ru) | Устройство для осаждения покрытий из парогазовой фазы | |
RU2786959C1 (ru) | Ультравысокотемпературные и окислительностойкие покрытия из диборидов тугоплавких металлов и карбида кремния на композиционных материалах | |
CN114774646B (zh) | 星轮淬火工装 | |
CN217628611U (zh) | 一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积设备 |