SU1724729A1 - Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы - Google Patents

Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы Download PDF

Info

Publication number
SU1724729A1
SU1724729A1 SU894696538A SU4696538A SU1724729A1 SU 1724729 A1 SU1724729 A1 SU 1724729A1 SU 894696538 A SU894696538 A SU 894696538A SU 4696538 A SU4696538 A SU 4696538A SU 1724729 A1 SU1724729 A1 SU 1724729A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
sleeves
wear
casing
coating
products
Prior art date
Application number
SU894696538A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Михайлович Слушков
Николай Николаевич Смирнов
Николай Павлович Пухин
Original Assignee
Нижегородское станкостроительное производственное объединение
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Нижегородское станкостроительное производственное объединение filed Critical Нижегородское станкостроительное производственное объединение
Priority to SU894696538A priority Critical patent/SU1724729A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1724729A1 publication Critical patent/SU1724729A1/ru

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к оборудованию дл  нанесени  покрытий, в частности износостойких покрытий при термораспаде неорганических соединений. Цель изобретени  - повышение качества за счет увеличени  износостойкости обработанных изделий. Кожух 4 поднимают, дава  свободный доступ к подложкодержателю 3. Издели  10, заключенные концами в гильзы 9, вставл ют в отверсти  подлож ко держател  3. При этом торец одной из гильз 9 опираетс  на торец шайбы 23, а торцы остальных гильз 9 опираютс  на шарики 11. Кожух 4 опускают на основание 5, Включением вакуумного насоса из камеры 6 по трубопроводу 7 удал ют воздух. Когда рабоча  часть издели  10 проходит индуктор 15, включают закалочный узел 14. При прохождении нагретого издели  10 через форсунку 16 из испарител  17 подают кре мнеорганическое соединение в паровой (газовой) фазе. Соединение осаждаетс  на поверхность изделий 10. образу  износостойкое покрытие. Конструктивные особенности установки обеспечивают повышение стойкости обработанных фрез в 4 раза. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к металлургии и машиностроению, использующей дл  упрочнени  изделий как термообработку, так и нанесение износостойких покрытий при термораспаде неорганических соединений, и может найти применение в инструментальной промышленности при изготовлении сверл, метчиков, разверток и др.
Известно устройство, содержащее реактор с п о длож ко держателем, приводом вращени  и нагревателем, размещенными в камере, разделенной перегородками на секции, к одной из которых подведены патрубки подачи МОС и отвода продуктов распада .
Известна установка, имеюща  термостатированную кольцевую камеру, разделенную радиальными перегородками на секции, выполн ющие регламентированные технологические операции.
Недостаток этих устройств заключаетс  в том, что при длительном пребывании изделий в камере при температуре 400-500°С,  вл ющейс  температурой нанесени  кар- бидохромового покрыти , приводит к снижению их первоначальной (поле закалки) микротвердости на 10-15%.
Цель изобретени  - повышение качества за счет увеличени  износостойкости обработанных изделий, например сверл, метчиков, разверток, пальцевых фрез и др.
Поставленна  цель достигаетс  тем, что установка снабжена рабочей емкостью с закалочным узлом токами высокой частоты, ванной дл  хладагента и механизмом перемещени  обрабатываемых изделий, при этом форсунка дл  подачи металлооргани- ческих соединений установлена в рабочей емкости между закалочным узлом и ванной.
На чертеже дана установка, разрез.
Установка содержит стойку 1 с приводом 2 вращени  подложкодержател  3, закрываемого кожухом 4. Опира сь на основание 5, кожух 4 образует камеру 6, сообщающуюс  через трубопровод 7 с вакуумным насосом. Подложкодержатель 3 разделен радиальными перегородками 8 на секции, количество которых равно количеству устанавливаемых гильз 9 с издели ми 10. Торцы гильз 9, как и торец подложкодержател  3, опираютс  на шарики 11, размещенные с отверсти ми сепараторного кольца
12.Снизу к основанию 5 параллельно оси подложкодержател  3 прикреплена емкость
13,сообщающа с  с камерой 6. Внутри емкости 13 установлены закалочный узел 14 токами высокой частоты (ТВЧ), индуктор 15 которого подсоединен к энергопитанию, форсунка 16, соединенна  с испарителем 17.
К торцу емкости 13 присоединен силовой элемент 18, например гидроцилиндр,  вл ющийс  дном ванны 19 с хладагентом 20.
На штоке 21, выход щем из гидроцилиндра , смонтирован подпружиненный стакан 22, а на торце закреплена шайба 23.
Электронагревательный элемент 24 размещен в центральной части кожуха 4.
Установка дл  нанесени  износостойких покрытий из паровой (газовой) фазы работает следующим образом.
Кожух 4 поднимают, дава  свободный доступ к подложкодержателю 3. Издели  10,
заключенные концами в гильзы 9, вставл ют в отверсти  подложкодержател  3.
При этом торец одной из гильзы 9 опираетс  на торец шайбы 23, а торцы остальных гильз 9 опираютс  на щарики 11. Кожух
4 опускают на основание 5. Включением вакуумного насоса из камеры 6 по трубопроводу 7 удал ют воздух (показано стрелкой ). Одновременно включают электронагревательный элемент 24.
При достижении разрежени  в камере 6 пор дка 1 мм рт.ст. в штоковую полость силового элемента 18 подают давление. Шток 21 вместе с шайбой 23 отходит от торца гильзы 9 вовнутрь стакана 22. Под
давлением силы т жести гильза 9 с изделием 10 также опускаютс  в стакан 22 и вместе с шайбой 23 попадают в емкость 13. Когда рабоча  часть издели  10 проходит индуктор 15, включают закалочный узел ТВЧ 14. Изделие 10 нагревают до температуры закалки . При прохождении нагретого издели  10 через форсунку 16 из испарител  17 подают кремнеорганическое соединение в паровой (газовой) фазе. Соединение осаждаетс  на поверхность издели  10, образу  износостойкое покрытие.
При дальнейшем перемещении штока 21 изделие 10 попадает в ванну 19 с хладагентом 20, где проходит окончательную стадию закалки. После этого давление повышают в бесштоковой полости силового элемента 18. Шток 21 возвращает изделие 10 вместе с гильзой 9 в камеру 6 в первоначальное положение. Включают привод 2. Подложкодержатель 3 поворачиваетс  на угол, равный углу расположени  в подлож- кодержателе гильз 9 с изделием 10. При этом ось издели  10, не прошедшего нанесени  покрыти , совмещаетс  с осью штока 21.
Последовательность работы установки повтор етс  до тех пор, пока все издели , наход щиес  в камере, не пройдут процесс закалки и нанесени  покрыти .
Издели  10, прошедшие закалку и нанесение покрыти  и наход щиес  в камере б в ожидании окончани  процесса над всеми издели ми, проход т в это врем  восстановительный отпуск при 500-600°С. После окончани  работы установки в камере б выравнивают давление с окружающей средой, поднимают кожух 4, разгружают подлбжко- держатель 3 от готовых изделий, а на освободившеес  место устанавливают новые издели  10.
Фрезы d 10 мм из стали Р6М5, прошедшие закалку и карбидокремниевое покрытие в предлагаемой установке, имеют твердость основы 68 ед. ННСэ при микротвердости покрыти  3200 кг/мм2. Стойкость фрез по сравнению с изготовленными по известной технологии повышаетс  в 4 раза.
0
5
0

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Установка дл  нанесени  покрытий из паровой (газовой) фазы, содержаща  термостатированную камеру с поворотным под- ложкодержателем,разделенную
    радиальными перегородками на секции и соединенную трубопроводом с вакуумным насосом, и испаритель металлорганических соединений с форсункой, отличающа с  тем, что, с целью повышени  качества за счет увеличени  износостойкости обработанных изделий, она снабжена рабочей емкостью с закалочным узлом токами высокой частоты, ванной дл  хладагента и механизмом перемещени  обрабатываемых изделий , при этом форсунка дл  подачи металлоорганических соединений установлена в рабочей емкости между закалочным узлом и ванной.
SU894696538A 1989-04-11 1989-04-11 Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы SU1724729A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894696538A SU1724729A1 (ru) 1989-04-11 1989-04-11 Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894696538A SU1724729A1 (ru) 1989-04-11 1989-04-11 Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1724729A1 true SU1724729A1 (ru) 1992-04-07

Family

ID=21450058

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894696538A SU1724729A1 (ru) 1989-04-11 1989-04-11 Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1724729A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2550464C2 (ru) * 2010-02-24 2015-05-10 Сингулус Текнолоджиз Аг Способ и устройство для быстрого нагревания и охлаждения подложки и немедленного последующего нанесения на нее покрытия в вакууме

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР Мг 699031, кл. С 23 С 16/00, 1976. Авторское свидетельство СССР № 954512,кл. С 23 С 16/00, 1980. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2550464C2 (ru) * 2010-02-24 2015-05-10 Сингулус Текнолоджиз Аг Способ и устройство для быстрого нагревания и охлаждения подложки и немедленного последующего нанесения на нее покрытия в вакууме

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1272077A (en) Hard surface coatings for metals in fluidized beds
KR102395488B1 (ko) 기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노
US5216223A (en) Plasma treatment apparatus
US4709655A (en) Chemical vapor deposition apparatus
CN107267908B (zh) 一种钻杆接头表面制备NiCrBSi-TiN梯度复合涂层耐磨带的方法
US4258658A (en) CVD Coating device for small parts
CN1017260B (zh) 一种用于对多种材料进行深冷处理的装置和方法
JP2012512321A5 (ru)
US6656413B2 (en) Method and apparatus for quenching metal workpieces
CN206089796U (zh) 用于pvd加工的挂具
CN213538101U (zh) 一种用于管道内壁的高频感应熔覆装置
SU1724729A1 (ru) Установка дл нанесени покрытий из паровой (газовой) фазы
US4769092A (en) Variable cooling device for turbo engine wall parts
US3783007A (en) Metal carbonitrile coatings
EP0672194B1 (en) Method and apparatus for controlling heat transfer between a container and workpieces
US3769068A (en) Method for manufacturing steel plates coated with aluminum powder
RU2182935C1 (ru) Способ термодиффузионного нанесения покрытий на сложнопрофильные металлические изделия и технологическая линия термодиффузионного нанесения покрытий на сложнопрофильные металлические изделия
TWI496938B (zh) A heat treatment method including a heating step, a processing step and a cooling step
CN105780000B (zh) 一种发动机燃烧室表面复合硅化物涂层的制备方法
SU1611578A1 (ru) Установка дл нанесени покрыти из металлического порошка
KR102611396B1 (ko) 티타늄 코팅용 증착 장치
RU2194088C2 (ru) Устройство для осаждения покрытий из парогазовой фазы
RU2786959C1 (ru) Ультравысокотемпературные и окислительностойкие покрытия из диборидов тугоплавких металлов и карбида кремния на композиционных материалах
CN114774646B (zh) 星轮淬火工装
CN217628611U (zh) 一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积设备