SU1703420A1 - Device for dressing side surface of flexible cut-off wheel - Google Patents

Device for dressing side surface of flexible cut-off wheel Download PDF

Info

Publication number
SU1703420A1
SU1703420A1 SU894762742A SU4762742A SU1703420A1 SU 1703420 A1 SU1703420 A1 SU 1703420A1 SU 894762742 A SU894762742 A SU 894762742A SU 4762742 A SU4762742 A SU 4762742A SU 1703420 A1 SU1703420 A1 SU 1703420A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
drive shaft
tool
wheel
holder
housing
Prior art date
Application number
SU894762742A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Иванович Толкачев
Ина Григорьевна Толкачева
Original Assignee
Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро При Заводе "Контур"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро При Заводе "Контур" filed Critical Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро При Заводе "Контур"
Priority to SU894762742A priority Critical patent/SU1703420A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1703420A1 publication Critical patent/SU1703420A1/en

Links

Abstract

Изобретение относитс  к машиностроению , в частности к устройствам дл  правки отрезных кругов, используемых дл  резки монокристаллов полупроводников не пластины . Цель изобретени  - повышение производительности и качества правки.The invention relates to mechanical engineering, in particular to devices for straightening cutting wheels used for cutting single crystals of semiconductors not on a wafer. The purpose of the invention is to improve the performance and quality of edits.

Description

Изобретение относитс  к машиностроению и может быть использовано при операци х резки с помощью кругов.The invention relates to mechanical engineering and can be used in cutting operations with circles.

Целью изобретени   вл етс  повышение производительности и качества правки.The aim of the invention is to improve the performance and quality of edits.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство , осевой разрез: на фиг. 2 - рабоча  зона, осевой разрез.FIG. 1 shows the proposed device, axial section: FIG. 2 - working area, axial section.

Устройство дл  правки боковых поверхностей отрезного круга содержит основание 1 и установленные на нем механизм удержани  и вращени  круга 2. механизм вращени  прав щих инструментов, механизм вертикальных перемещений механизма вращени  прав щих инструментов и механизм их поворота. Механизм удержани  и вращени  круга выполнен в виде ротора 3 с укрепленной на нем планшайбой 4. оснащенной вакуумным прижимом 5. Механизм вращени  прав щих инструментов содержит корпус б и вал 7 шпиндел  с приоодом вращени , прав щие профильные абразивные круги 8, 9, укрепленные на ребордных втулках (дисках) 10,11. посажен- .ных на эластичные втулки 12, 13, укрепленные на валу 7 шпиндел  (на промежуточных втулках). Механизм вертикальных перемещений механизма вращени  прав щих инструментов выполнен на известных технических решени х и потому не описан в элементах.The device for straightening the side surfaces of the cutting wheel contains a base 1 and a mechanism for holding and rotating a wheel 2. mounted on it 2. a mechanism for rotating the right tools, a mechanism for vertical movements of the mechanism for rotating the right tools and a mechanism for their rotation. The mechanism for holding and rotating the circle is made in the form of a rotor 3 with a faceplate 4. mounted on it and equipped with a vacuum clamp 5. The rotation mechanism of the right tools includes a housing b and a spindle shaft 7 with rotational rotation, the right abrasive wheels 8, 9 mounted on the flange bushings (disks) 10,11. mounted on elastic bushings 12, 13, mounted on the shaft 7 of the spindle (on the intermediate bushings). The mechanism of vertical movements of the rotation mechanism of the right-handed tools is made on the known technical solutions and therefore is not described in the elements.

Механизм поворота прав щих инструментов выполнен в виде стойки 14. укрепленной на корпусе шпиндел , ползунов 15. 16. посаженных на стойку 14 с возможностью возвратно-поступательных перемещений по ней и оснащенных роликами 17, 18 свободного вращени , винта 19, взаимодействующего с винтовыми отверсти ми в ползунах 15.16. и индикатора 20 перемещений, причем ролики 17. 18 установлены с возможностью взаимодействи  с ребордами ребордных втулок 10, 11.The rotation mechanism of the right-handed tools is made in the form of a rack 14. mounted on the housing of the spindle, sliders 15. 15. planted on the rack 14 with the possibility of reciprocating movements along it and equipped with free-rotation rollers 17, 18, a screw 19 interacting with screw holes in the slide 15.16. and a displacement indicator 20, with the rollers 17. 18 mounted with the possibility of interacting with the flanges of the flange sleeves 10, 11.

Работает устройство следующим образом .The device works as follows.

Отрезной круг 2 устанавливают на планшайбу 4 и закрепл ют с помощью вакуумного прижима 5. С помощью механизма вертикальных перемещений устанавливают в требуемое пространственное положениеThe cutting wheel 2 is mounted on the faceplate 4 and secured with a vacuum clamp 5. With the help of the mechanism of vertical displacements it is set to the required spatial position

механизм вращени  прав щих инструментов; рабочие кромки кругов 8, 9 в верхней части (в месте рабочего контакта с калибруемым кругом) разведены на рассто ние, большее начальной толщины обрабатываемого круга. Включают привод прав щих инструментов и привод вращени  ротора. Винтом 19 сближают рабочие кромки кругов 8, 9 до соприкосновени  с кругом и провод т обработку его до требуемого состо ни the rotation mechanism of the right tools; the working edges of the circles 8, 9 in the upper part (in the place of the working contact with the circle to be calibrated) are separated by a distance greater than the initial thickness of the circle being processed. The drive for the right-handed tools and the rotor drive are included. The screw 19 brings the working edges of the circles 8, 9 together to make contact with the circle and process it to the required condition.

по показани м индикатора.according to the indicator.

Claims (1)

Формула изобретени  Устройство дл  правки боковой поверхности гибкого отрезного круга, содержащееThe invention The device for editing the side surface of a flexible cutting wheel, containing корпус, установленные на нем приводной л вал с держателем прав щего инструмента отличающеес  тем. что, с целью повышени  производительности и качества правки, устройство снабжено соосно расположенным на приводном валу вторым держателем прав щего инструмента и механизмом поворота инструментов друг относительно друга вокруг оси, перпендикул рной оси приводного вала, смонтироваиным на корпусе, при этом каждый держатель выполнен в виде закрепленной на приводном валу эластичной втулки и установленного на ней диска, несущего прав щий инструмент и предназначенного дл The housing, the drive shaft mounted on it, with the holder of the right tool, is different. that, in order to increase the productivity and quality of the dressing, the device is equipped with a second tool holder, coaxially located on the drive shaft, and a tool rotating mechanism relative to each other around an axis perpendicular to the drive shaft, mounted on the housing, each holder made in the form of a fixed on the drive shaft of an elastic sleeve and a disk mounted on it that carries the right-hand tool and is designed to контакта с выходным эвеном механизма поворота .contact with the output even of the turning mechanism. /J 11/ J 11 Put. г.Put. year
SU894762742A 1989-10-30 1989-10-30 Device for dressing side surface of flexible cut-off wheel SU1703420A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894762742A SU1703420A1 (en) 1989-10-30 1989-10-30 Device for dressing side surface of flexible cut-off wheel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894762742A SU1703420A1 (en) 1989-10-30 1989-10-30 Device for dressing side surface of flexible cut-off wheel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1703420A1 true SU1703420A1 (en) 1992-01-07

Family

ID=21481390

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894762742A SU1703420A1 (en) 1989-10-30 1989-10-30 Device for dressing side surface of flexible cut-off wheel

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1703420A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1214400, кл. В 24 В 53/10, 1986. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04364727A (en) Method and apparatus for chamfering wafer notch
SU1703420A1 (en) Device for dressing side surface of flexible cut-off wheel
JP3816119B2 (en) Blade sector manufacturing method and apparatus
JPS5850822B2 (en) A method of polishing a knife and a polishing machine for carrying out the method
JPS63256344A (en) Fly edge polishing method
JPS6260223B2 (en)
JPS62264858A (en) Surface grinding method
CN218312429U (en) Auxiliary device for machining inner hole of precise ceramic thin-wall ring
JPH02180554A (en) Method and device for notch grinding of semiconductor wafer
JPH11347901A (en) Truing tool and chamfering device for wafer therewith
JPS59187432A (en) Turn table
JPH07186017A (en) Grinding method and grinder for end surface plane part of disc-shaped work
KR860002812Y1 (en) Indexing device for grinder
GB2137542A (en) Grinding wheel assembly
SU1701448A1 (en) Device for sharpening band saws
SU1574438A1 (en) Arrangement for grinding shaped surfaces
JPH0337892Y2 (en)
SU814674A1 (en) Apparatus for basing and rotating parts
CN114260823A (en) Double-linear-shaft and double-dressing-spindle symmetric grinding wheel dressing mechanism
SU1155431A1 (en) Tool for finishing working of surface of revolution
CN115026679A (en) Ultra-precise nanometer machine tool
JPS632292Y2 (en)
JPH03131476A (en) Sharp grindstone and molding method therefor
JPS6315101B2 (en)
JP2000094323A (en) Truing device and method thereof