SU1696860A1

SU1696860A1 - Misalignment measuring device

Info

Publication number: SU1696860A1
Application number: SU894752606A
Authority: SU
Inventors: Константин Александрович Баженов; Игорь Анатольевич Орлов
Original assignee: Научно-исследовательское проектно-технологическое бюро "Онега"
Priority date: 1989-10-25
Filing date: 1989-10-25
Publication date: 1991-12-07

Abstract

Изобретение касаетс оптикозлектрон- ных измерений и может быть использовано дл контрол несоосности одновременно в нескольких сечени х. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности и производитель- йости процессов измерени . Поставленна цель достигаетс тем, что устройство содержит источник 1 коллимированного потока 2 излучени и последовательно установленных в точке п фотоэлектрических головок 3, состо щих из фотомишеней, выполненных в виде чередующихс прозрачных и непрозрачных участков дл потока излучени , развернутых кажда последующа относительно предыдущей на угол /2п, и фотопреобразователей, установленных диаметрально противоположно на непрозрачных участках фотомишени и блока 6 регистрации, соединенного входами с выходами фотопреобразователей , обеспечивающего информацию о величине разностного сигнала с диаметрально противоположных фотопреобразователей дл каждой фотоэлектрической головки 3 3 илThe invention relates to optoelectronic measurements and can be used to monitor the misalignment at the same time in several sections. The aim of the invention is to increase the sensitivity and performance of measurement processes. The goal is achieved by the fact that the device contains a source of 1 collimated flux 2 radiation and successively installed at the point n photoelectric heads 3, consisting of phototargets made in the form of alternating transparent and opaque sections for the flux of radiation, deployed each subsequent relative to the previous angle угол2 and photoconverters installed diametrically opposite on the opaque areas of the phototarget and the registration unit 6 connected by inputs to the phototransformation outputs 3-sludge cells providing information about the magnitude of the difference signal from diametrically opposite photovoltaic cells for each photoelectric head

Description

ТТTt

Фиг.11

ОABOUT

ю о со о оyoo soooo

Изобретение относитс к области оптико-электронных измерений и может быть использовано дл контрол несоосности одновременно в нескольких сзчени х.The invention relates to the field of optoelectronic measurements and can be used to monitor the misalignment of several measurements simultaneously.

Целью изобретени вл етс обеспечение возможности одновременного измерени несоосности в нескольких сечени х и повышение чувствительности.The aim of the invention is to provide the possibility of simultaneously measuring the misalignment in several sections and increasing the sensitivity.

На фиг, 1 показана структурна схема устройства; на фиг, 2 -схема расположени фотомишеней в потоке излучени ; на фиг. 3 - схема положени Фотопреобразователей по сечению пучка относительно оси симметрии . .Fig, 1 shows a block diagram of the device; Fig. 2 is a schematic of the arrangement of phototargets in the radiation flux; in fig. 3 is a diagram of the position of the PVs over the beam section relative to the axis of symmetry. .

Устройство содержит источник 1 колли- ммрованного потока 2 излучени , фотоэлектрические измерительные головки 3, установленные в измер емых сечени х с угловым смещением одна относительно другом, состо щие из фотомишеней 4 и диаметрально расположенных в двух взаимно перпендикул рных плоскост х фотопреобразователей о, IA блока 6 регистрации,The device contains a source 1 of a collimated flux 2 of radiation, photoelectric measuring heads 3 installed in the measured cross sections with an angular displacement one relative to the other, consisting of photomultiples 4 and diametrically located in two mutually perpendicular planes of photoconverters, IA block 6 registration,

Устройство работает следующие образом .The device works as follows.

Фотоэлектрические измерительные головки 3 устанавливаютс так. чтобы их ось совпадала с осью объекта, который необходимо выставить. Коллимированный поток 2 измерени совмещаетс с линией, вл ющейс базовой ссью объекта, и направл етс на фо- тспреобразоаатели 5 таким образом, что на мх выходе поток излучени вызывает по вление электрических сигналов равной величины , В результегге обработки этих сигналов в бчоке 6 регистрации сигнал на выходе последнего отсутствует. Рели ось объекта в каком-либо сечении смещена относительно центра потока 2 изучени , то-осве- щенность диаметрально противоположно расположенных фотопреобразователей 5 становитс неодинаковой вследствие того, что поток 2 излучени по сечению пучка распределен не равномерно, а в виде функции показанной на фиг. 3. Неодинакова освещенность фотопреобразователей5 вызывает по вление сигнала на соответствующем выходе блока 6 регистрации, пропорционального разности освещенностей в точках контролируемого сечени потока 2 излучени , а следовательно, и величине смещени центра фотомишени относительно центра сечени потока излучени . Последовательное расположение п фотоэлектрических измерительных головок 3 в потоке излучени 2 обеспечивает получение информации о положении оси объекта относительно центров сечений вдоль потока 2 измерени и позвол ет оценить несоосносгь последних, при этом рассто ние, на котором должны быть установлены центры фотопреобразователей 5, должно быть выбрано из услови 4dn/jr , где d диаметр фотопреобразователей , а фотомишени должны иметь угловое смещение относительно другой, равное п /2п, чтобы поток 2 измерени бэспреп тственно приходил на каждую мишень.The photoelectric measuring heads 3 are mounted like this. so that their axis coincides with the axis of the object to be set. The collimated measurement flow 2 is aligned with the line that is the basic reference of the object and directed to photo converters 5 in such a way that at the mx output the radiation flux causes the appearance of electrical signals of equal magnitude. As a result of processing these signals in block 6, the signal on the output of the latter is missing. The relay axis of the object in any section is shifted relative to the center of the study flux 2, the illumination of the diametrically opposed photovoltaic units 5 becomes unequal due to the fact that the radiation flux 2 is not evenly distributed over the beam section, but as a function of the function shown in FIG. 3. Different illumination of the photoconverters5 causes the appearance of a signal at the corresponding output of the recording unit 6 proportional to the difference in illumination at the points of the controlled cross section of the radiation flux 2, and consequently, the amount of displacement of the phototarget center relative to the center of the radiation flux cross section. The sequential arrangement of the n photoelectric measuring heads 3 in the radiation flux 2 provides information on the position of the object's axis relative to the centers of sections along the measurement flow 2 and makes it possible to estimate the inconsistency of the latter, while the distance at which the centers of the photoconverters 5 should be installed must be chosen from conditions 4dn / jr, where d is the diameter of the photoconverters, and the phototargets must have an angular displacement relative to another, equal to n / 2p, so that the flow 2 of measurement will arrive and each target.

Claims

DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A device for measuring LCCDs containing a successive source of collimation

a photoelectric measuring device and a recording unit, characterized in that, in order to increase the sensitivity and performance

measurement processes, it is equipped with additional photoelectric measuring heads, installed so that each subsequent is deployed relative to the previous one in a plane perpendicular to the optical axis at an angle n / 2p, where, 2.3 photoelectric measuring heads are made identical in the form of a phototarget with alternating transparent and opaque portions and phototransformation (pitch set in opaque plots of fistomysheny in two mutually perpendicular planes at a distance from the axis of the target R 4nd / 7i;

where d is the diameter of the photoconverter; n is the number of measuring heads.

Rig.Z