SU1694501A1

SU1694501A1 - Solution for quartz etching

Info

Publication number: SU1694501A1
Application number: SU884621004A
Authority: SU
Inventors: Эдуард Григорьевич Раков; Андрей Евгеньевич Федоров; Дмитрий Геннадиевич Купрюнин; Михаил Владимирович Мелкумянц; Надежда Максимовна Быстрова; Лев Петрович Лаврищев
Original assignee: Московский химико-технологический институт им.Д.И.Менделеева; Предприятие П/Я Х-5332
Priority date: 1988-11-10
Filing date: 1988-11-10
Publication date: 1991-11-30

Description

1one

(21)4621004/33(21) 4621004/33

(22) 10.11.88(22) 11/10/88

(46)30.11.91. Бюл. №44(46) 11/30/91. Bul №44

(72) Э.Г.Раков, А.Е.Федоров, Д.Г.Купрюнин,(72) E.G.Rakov, A.E.Fyodorov, D.G.Kupryunin,

М.В.Мелкум нц, Н.М.Быстрова и Л.П.ЛаврищевM.V. Melkum nts, N.M. Bystrova and L.P. Lavrishchev

(53)666.1.053.63(088.8)(53) 666.1.053.63 (088.8)

(56)Патент Франции № 2320275, кл. С 03 С 15/00, 1977.(56) Patent of France No. 2320275, cl. From 03 to 15/00, 1977.

Патент Великобритании № 1285778, , кл. С 03 С 15/00, 1972 (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦАPatent of Great Britain No. 1285778, class C 03 C 15/00, 1972 (54) SOLUTION FOR THE PREPARATION OF QUARTZ

(57)Изобретение относитс к неорганической химии, в частности к составам растворов дл травлени , и может быть использовано дл химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и механической промышленности. Целью изобретени вл етс повышение качества поверхности. Дл этого раствор содержит фторсодержащий компонент с концентрацией 2,0-21,0 моль/л и органический спирт с одной функциональной группой ОН при длине углеводородного радикала с концентрацией 0,3-13,7 моль/л. При использовании растворов указанной концентрации качество поверхности улучшаетс . 1 табл.(57) The invention relates to inorganic chemistry, in particular to etching solution compositions, and can be used for chemical processing of quartz products used in the electronic and mechanical industry. The aim of the invention is to improve the quality of the surface. For this, the solution contains a fluorine-containing component with a concentration of 2.0-21.0 mol / l and an organic alcohol with one functional group, OH, with a length of hydrocarbon radical with a concentration of 0.3-13.7 mol / l. By using solutions of the indicated concentration, the surface quality is improved. 1 tab.

Изобретение относитс к неорганической химии, в частности к составам раство- ров дл травлени , и может быть использовано дл химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и оптико-механической промышленности.The invention relates to inorganic chemistry, in particular, compositions of etching solutions, and can be used for chemical processing of quartz products used in the electronic and optical-mechanical industry.

Целью изобретени вл етс повышение качества поверхности.The aim of the invention is to improve the quality of the surface.

Испытани провод т на круглых образцах кварца с диаметром 7 мм с исходной шероховатостью ,1 мкм. Образцы помещают в раствор определенного состава и трав т при определенной температуре. Значение шероховатости поверхности измер ют на проф- илографе-профилометре Tallsurf-6.The tests were carried out on round quartz samples with a diameter of 7 mm with an initial roughness of 1 µm. Samples are placed in a solution of a specific composition and etched at a certain temperature. The surface roughness value is measured on a Tallsurf-6 profilometer profilometer.

Конкретные составы растворов и их свойства приведены в таблице.The specific compositions of the solutions and their properties are given in the table.

Раствор дл травлени кварца готов т следующим образомThe quartz etching solution is prepared as follows.

П р и м е р. К 58 мл 50%-ной фтористоводородной кислоты приливают 10 мл изогепта- нола-1, добавл ют 14,8 г фторида аммони NH4F и довод т объем дистиллированной водой до 100 мл. Полученный раствор с концентрацией ПАВ 0,9 моль/л при тщательном перемешивании нагревют до 75°С и1 помещают в него круглые образцы кварца с диаметром, равным 7 мм, с исходным значением шероховатости поверхности Ra, равным 0,1 мкм, и трав т при этой температуре в течение 30 мин. После этого образцы вынимают из раствора, тщательно отмывают гор чей водой, сушат, измер ют значение Ra на профилогра- фе-профилометре, которое при этом составило 0,06 мкм.PRI me R. To 58 ml of 50% hydrofluoric acid are poured 10 ml of isoheptanol-1, 14.8 g of ammonium fluoride NH4F are added and the volume is brought to 100 ml with distilled water. The resulting solution with a surfactant concentration of 0.9 mol / l is heated to 75 ° C with thorough stirring, and round samples of quartz with a diameter of 7 mm are placed in it, with an initial surface roughness of Ra equal to 0.1 μm, and etched at this temperature for 30 min. After that, the samples are removed from the solution, washed thoroughly with hot water, dried, and the Ra value is measured on a profilogram-profilometer, which in this case was 0.06 µm.

Claims

Claims A solution for etching a quartz, including a fluorine-containing component and an organic alcohol, characterized in that, in order to improve the quality, an organic alcohol with one functional group HE is used with the length of the hydrocarbon radical. Ca-Xiu, with a concentration of 0.3-13.7 mol / l and a fluorine-containing component with a concentration of 2.0-21.0 mol / l.

(Ls

ABOUT

Che

4 SP O

Quartz Etching Results