SU1677521A1 - Растровый датчик линейных перемещений - Google Patents
Растровый датчик линейных перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU1677521A1 SU1677521A1 SU894489008A SU4489008A SU1677521A1 SU 1677521 A1 SU1677521 A1 SU 1677521A1 SU 894489008 A SU894489008 A SU 894489008A SU 4489008 A SU4489008 A SU 4489008A SU 1677521 A1 SU1677521 A1 SU 1677521A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- photodetectors
- measuring
- signals
- windows
- grid
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени - повышение точности измерений за счет уменьшени неинформационных фазовых сдвигов сигналов , снимаемых с фотоприемников. Поток излучени , формируемый светодиодом 1, преобразуетс в параллельный поток линзой 2. Поток излучени модулируетс по амплитуде измерительной 4 и индикаторными 6 решетками, нанесенными на- подвижный 3 и неподвижный 5 элементы. При перемещении подвижного элемента 3 на выходах фотоприемников формируютс сигналы, сдвинутые по фазе относительно друг друга на 90° Сигналы обрабатываютс измерительным блоком 11. Наиболее геометрически искаженные участки теневого изображени измерительной решетки 4 не попадают на фоточувствительныеплощадки фотоприемников. 3 ил.
Description
Фиг.1
Изобретение относитс к измерительной технике,
Цель изобретени - повышение точности измерени за счет уменьшени неинформационных фазовых сдвигов сигналов, снимаемых с фотоприемников,
На фиг.1 представлена функциональна схема устройства; на фиг.2 и 3 - расположение фотоприемников.
Устройство содержит оптически св занные светодиод 1, линзу 2, подвижный элемент 3 с нанесенной измерительной решеткой 4, неподвижный элемент 5 с четырьм окнами, на которые нанесены четыре индикаторные решетки 6, которые смещены друг относительно друга на четверть периода решетки, четыре фотоприемника 7-10 и измерительный блок 11.
Датчик работает следующим образом.
Поток излучени формируетс светоди- одом 1, преобразуетс в поток, близкий к параллельному, линзой 2. При перемещении подвижного элемента 3 относительно не- подвижного элемента 5 происходит модул ци потока излучени , На выходе фотоприемников 7-10 формируютс электрические сигналы, сдвинутые друг относительно друга на 90° за счет взаимного смещени индикаторных решеток б, нанесенных на неподвижный элемент 5. Измерительный блок 11 подсчитывает число периодов электрических сигналов, снимаемых с фотоприемников 7-10, количество которых св зано с величиной перемещени подвижного элемента 3,
Поток излучени , формируемый линзой 2, имеет расходимость вследствие конечности размера свет щегос элемента светоди- ода 1, что приводит к смещению теневого изображени растровой решетки 4 относительно индикаторных решеток 6. Наибольшее смещение и искажение теневого мзобрахсенм происходит в направлении,
перпендикул рном направлению штрихов; измерительной решетки 4 и в углах изображени . За счет выполнени фоточувствительных площадок 12 фотоприемников 7-10
в виде пр моугольников со срезанными углами , искаженные теневые изображени измерительной решетки 4 не попадают на фоточувствительные площадки 12, что уменьшает неинформационные фазовые
сдвиги сигналов, снимаемых с фотоприемников 7, 8, 9, 10.
Использование устройства позвол ет повысить точность измерений за счет уменьшени неинформационных фазовых
сдвигов сигналов, снимаемых с фотоприемников .
Claims (1)
- Формула изобретени Растровый датчик линейных перемещений , содержащий оптически св занные све- тодиод, линзу, подвижный элемент с нанесенной измерительной решеткой, неподвижный элемент с четырьм окнами, на которые нанесены четыре индикаторные решетки , которые смещены одна относительно другой на четверть периода решеток, четыре фотоприемника и измерительный блок, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерений за счетуменьшени неинформационных фазовых сдвигов сигналов, снимаемых с фотоприем- киков, первое и второе, третье и четвертое окна образуют две пары, размещенные одна под другой на неподвижном элементефотоприемники выполнены в виде пр моугольников , большие стороны которых расположены параллельно штрихам индикаторных решеток, первый и второй, третий и четвертый фотоприемники образуютдве пары, размещенные одна под другой, фотонувствительные площадки фотоприемников сопр жены с соответствующими окнами .ю8Фиг.2Фм.З
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894489008A SU1677521A1 (ru) | 1989-09-30 | 1989-09-30 | Растровый датчик линейных перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894489008A SU1677521A1 (ru) | 1989-09-30 | 1989-09-30 | Растровый датчик линейных перемещений |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1677521A1 true SU1677521A1 (ru) | 1991-09-15 |
Family
ID=21402018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894489008A SU1677521A1 (ru) | 1989-09-30 | 1989-09-30 | Растровый датчик линейных перемещений |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1677521A1 (ru) |
-
1989
- 1989-09-30 SU SU894489008A patent/SU1677521A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР Ns887929, кл. G 01 В 21/00,11/14,1979. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0132450B2 (ru) | ||
CN101995233B (zh) | 用于太阳精密跟踪的数字式光电角度传感器 | |
JPH0131127B2 (ru) | ||
EP0474149B1 (en) | Optical encoder | |
JPH07286861A (ja) | 光学変換器および方法 | |
SU1677521A1 (ru) | Растровый датчик линейных перемещений | |
ATE91781T1 (de) | Winkelmesseinrichtung. | |
US5530543A (en) | Detector array for use in interferometric metrology systems | |
JP2767936B2 (ja) | リニアエンコーダの誤差補正方法 | |
SU665205A1 (ru) | Датчик линейных перемещений | |
SU1693380A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещени | |
JPS6363916A (ja) | 光学式変位検出器 | |
SU1285319A1 (ru) | Фотоэлектрический растровый датчик | |
JP2750618B2 (ja) | 光学式変位検出装置 | |
SU1033862A1 (ru) | Фотоэлектрический растровый датчик угловых перемещений | |
JPS5892819A (ja) | 光電式エンコ−ダ装置 | |
JPH0733134Y2 (ja) | 光学式変位検出装置 | |
SU670802A1 (ru) | Позиционна система измерени перемещений | |
JP2578493B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
SU388292A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещение —код | |
JPH02232520A (ja) | 位置検出装置 | |
SU1619013A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещени | |
JPH0233132Y2 (ru) | ||
JPS6316221A (ja) | 変位変換器 | |
SU1404809A1 (ru) | Оптический способ измерени линейных перемещений |