SU1677521A1 - Растровый датчик линейных перемещений - Google Patents

Растровый датчик линейных перемещений Download PDF

Info

Publication number
SU1677521A1
SU1677521A1 SU894489008A SU4489008A SU1677521A1 SU 1677521 A1 SU1677521 A1 SU 1677521A1 SU 894489008 A SU894489008 A SU 894489008A SU 4489008 A SU4489008 A SU 4489008A SU 1677521 A1 SU1677521 A1 SU 1677521A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
photodetectors
measuring
signals
windows
grid
Prior art date
Application number
SU894489008A
Other languages
English (en)
Inventor
Кобальт Ильич Куштанин
Юрий Оскарович Хайзников
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8543
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8543 filed Critical Предприятие П/Я В-8543
Priority to SU894489008A priority Critical patent/SU1677521A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1677521A1 publication Critical patent/SU1677521A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - повышение точности измерений за счет уменьшени  неинформационных фазовых сдвигов сигналов , снимаемых с фотоприемников. Поток излучени , формируемый светодиодом 1, преобразуетс  в параллельный поток линзой 2. Поток излучени  модулируетс  по амплитуде измерительной 4 и индикаторными 6 решетками, нанесенными на- подвижный 3 и неподвижный 5 элементы. При перемещении подвижного элемента 3 на выходах фотоприемников формируютс  сигналы, сдвинутые по фазе относительно друг друга на 90° Сигналы обрабатываютс  измерительным блоком 11. Наиболее геометрически искаженные участки теневого изображени  измерительной решетки 4 не попадают на фоточувствительныеплощадки фотоприемников. 3 ил.

Description

Фиг.1
Изобретение относитс  к измерительной технике,
Цель изобретени  - повышение точности измерени  за счет уменьшени  неинформационных фазовых сдвигов сигналов, снимаемых с фотоприемников,
На фиг.1 представлена функциональна  схема устройства; на фиг.2 и 3 - расположение фотоприемников.
Устройство содержит оптически св занные светодиод 1, линзу 2, подвижный элемент 3 с нанесенной измерительной решеткой 4, неподвижный элемент 5 с четырьм  окнами, на которые нанесены четыре индикаторные решетки 6, которые смещены друг относительно друга на четверть периода решетки, четыре фотоприемника 7-10 и измерительный блок 11.
Датчик работает следующим образом.
Поток излучени  формируетс  светоди- одом 1, преобразуетс  в поток, близкий к параллельному, линзой 2. При перемещении подвижного элемента 3 относительно не- подвижного элемента 5 происходит модул ци  потока излучени , На выходе фотоприемников 7-10 формируютс  электрические сигналы, сдвинутые друг относительно друга на 90° за счет взаимного смещени  индикаторных решеток б, нанесенных на неподвижный элемент 5. Измерительный блок 11 подсчитывает число периодов электрических сигналов, снимаемых с фотоприемников 7-10, количество которых св зано с величиной перемещени  подвижного элемента 3,
Поток излучени , формируемый линзой 2, имеет расходимость вследствие конечности размера свет щегос  элемента светоди- ода 1, что приводит к смещению теневого изображени  растровой решетки 4 относительно индикаторных решеток 6. Наибольшее смещение и искажение теневого мзобрахсенм  происходит в направлении,
перпендикул рном направлению штрихов; измерительной решетки 4 и в углах изображени . За счет выполнени  фоточувствительных площадок 12 фотоприемников 7-10
в виде пр моугольников со срезанными углами , искаженные теневые изображени  измерительной решетки 4 не попадают на фоточувствительные площадки 12, что уменьшает неинформационные фазовые
сдвиги сигналов, снимаемых с фотоприемников 7, 8, 9, 10.
Использование устройства позвол ет повысить точность измерений за счет уменьшени  неинформационных фазовых
сдвигов сигналов, снимаемых с фотоприемников .

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Растровый датчик линейных перемещений , содержащий оптически св занные све- тодиод, линзу, подвижный элемент с нанесенной измерительной решеткой, неподвижный элемент с четырьм  окнами, на которые нанесены четыре индикаторные решетки , которые смещены одна относительно другой на четверть периода решеток, четыре фотоприемника и измерительный блок, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерений за счет
    уменьшени  неинформационных фазовых сдвигов сигналов, снимаемых с фотоприем- киков, первое и второе, третье и четвертое окна образуют две пары, размещенные одна под другой на неподвижном элементе
    фотоприемники выполнены в виде пр моугольников , большие стороны которых расположены параллельно штрихам индикаторных решеток, первый и второй, третий и четвертый фотоприемники образуют
    две пары, размещенные одна под другой, фотонувствительные площадки фотоприемников сопр жены с соответствующими окнами .
    ю
    8
    Фиг.2
    Фм.З
SU894489008A 1989-09-30 1989-09-30 Растровый датчик линейных перемещений SU1677521A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894489008A SU1677521A1 (ru) 1989-09-30 1989-09-30 Растровый датчик линейных перемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894489008A SU1677521A1 (ru) 1989-09-30 1989-09-30 Растровый датчик линейных перемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1677521A1 true SU1677521A1 (ru) 1991-09-15

Family

ID=21402018

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894489008A SU1677521A1 (ru) 1989-09-30 1989-09-30 Растровый датчик линейных перемещений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1677521A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР Ns887929, кл. G 01 В 21/00,11/14,1979. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0132450B2 (ru)
CN101995233B (zh) 用于太阳精密跟踪的数字式光电角度传感器
JPH0131127B2 (ru)
EP0474149B1 (en) Optical encoder
JPH07286861A (ja) 光学変換器および方法
SU1677521A1 (ru) Растровый датчик линейных перемещений
ATE91781T1 (de) Winkelmesseinrichtung.
US5530543A (en) Detector array for use in interferometric metrology systems
JP2767936B2 (ja) リニアエンコーダの誤差補正方法
SU665205A1 (ru) Датчик линейных перемещений
SU1693380A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещени
JPS6363916A (ja) 光学式変位検出器
SU1285319A1 (ru) Фотоэлектрический растровый датчик
JP2750618B2 (ja) 光学式変位検出装置
SU1033862A1 (ru) Фотоэлектрический растровый датчик угловых перемещений
JPS5892819A (ja) 光電式エンコ−ダ装置
JPH0733134Y2 (ja) 光学式変位検出装置
SU670802A1 (ru) Позиционна система измерени перемещений
JP2578493B2 (ja) 光学式エンコーダ
SU388292A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещение —код
JPH02232520A (ja) 位置検出装置
SU1619013A1 (ru) Фотоэлектрический преобразователь перемещени
JPH0233132Y2 (ru)
JPS6316221A (ja) 変位変換器
SU1404809A1 (ru) Оптический способ измерени линейных перемещений