SU167600A1 - - Google Patents
Info
- Publication number
- SU167600A1 SU167600A1 SU817111A SU817111A SU167600A1 SU 167600 A1 SU167600 A1 SU 167600A1 SU 817111 A SU817111 A SU 817111A SU 817111 A SU817111 A SU 817111A SU 167600 A1 SU167600 A1 SU 167600A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- pump
- grid electrode
- potential
- Prior art date
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 1
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Description
Известны магнитные электроразр дные вакуумные насосы, содержащие анод и распыл емый титановый катод. В них используетс разр д пеннинга, в результате которого происходит внедрение ионизированного газа в катоды с одновременным распыливанием катода и сорбцией газа распыленным материалом катода на стенках анода и других поверхност х насоса. С возрастанием энергии ионов оба процесса - внедрение ионов и распыление катодов - интенсифицируютс , что приводит к увеличению скорости откачки насоса.
Предлагаемый насос отличаетс от известных тем, что между анодом и катодом размещен сетчатый электрод, потенциал которого имеет промежуточное отрицательное значение между потенциалом анода и катода. Такое выполнение насоса позвол ет увеличивать скорость откачки путем повышени энергии ионов без увеличени напр женности магнитного пол .
На чертеже изобрал ена схема предлагаемого насоса.
В насосе разр д горит в системе, ограниченной анодом / и сетчатым электродом 2 при анодном напр жении LJ и напр женности магнитного пол Я, соответствующим обычному насосу диодного типа. Поток ионов, пролета через сетчатый катод, получает добавочную энергию в электрическом поле между сетчатым электродом 2 и распыл емым катодом 3. Энерги ионов, попадающих в катод 3, больше чем в известных насосах диодного типа на величину, соответствующую напр жению и между сетчатым электродом 2 и распылелным катодом 3.
Предмет изобретени
Магнитный электроразр дный вакуумный насос, содержащий анод и распыл емый титановый катод, отличающийс тем, что, с целью повыщени энергии ионов и увеличени скорости откачки насоса, между анодом и катодом размещен сетчатый электрод, потенциал которого имеет промежуточное .отрицательное значение между потенциалом анода и катода.
Д
/ 2
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU167600A1 true SU167600A1 (ru) |
Family
ID=
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2797815C2 (ru) * | 2021-07-30 | 2023-06-08 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") | Откачное вакуумное устройство |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2797815C2 (ru) * | 2021-07-30 | 2023-06-08 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") | Откачное вакуумное устройство |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE9704607D0 (sv) | A method and apparatus for magnetically enhanced sputtering | |
| ATE406467T1 (de) | Plasmabehandlungsvorrichtung mit kombinierter anoden/ionen quelle | |
| US7819633B2 (en) | Sputter ion pump | |
| SU167600A1 (ru) | ||
| JP2006511921A (ja) | スパッタイオンポンプ用磁石アセンブリ | |
| GB797232A (en) | Improvements in or relating to high vacuum ion pumps | |
| US3540812A (en) | Sputter ion pump | |
| US3890535A (en) | Ion sources | |
| US3827829A (en) | Sputter-ion pump | |
| US3535055A (en) | Cold-cathode discharge ion pump | |
| US3198422A (en) | Vacuum sputtering pump | |
| US3452923A (en) | Tetrode ion pump | |
| RU2716133C1 (ru) | Источник быстрых нейтральных молекул | |
| RU2240627C1 (ru) | Ионный источник с холодным катодом | |
| Brubaker | A method for greatly enhancing the pumping action of a penning discharge | |
| GB1053215A (ru) | ||
| JP3092814B2 (ja) | スパッタイオンポンプ | |
| RU158216U1 (ru) | Источник быстрых нейтральных частиц | |
| SU750612A1 (ru) | Магнитный электроразр дный насос | |
| RU148499U1 (ru) | Источник быстрых нейтральных частиц | |
| JPH10275566A (ja) | イオン源 | |
| US3409211A (en) | High vacuum pumps | |
| RU2817564C1 (ru) | Источник быстрых атомов для травления диэлектриков | |
| RU2789534C1 (ru) | Высокочастотный источник плазмы | |
| RU76164U1 (ru) | Газоразрядный источник ионов |