SU1653025A1 - Объективна линза электронного микроскопа - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к технике элек- тронно-зондовых устройств дл  формировани  изображений объектов. Целью изобретени   вл етс  повышение разрешающей способности объективной линзы электронного микроскопа путем снижени  шбрации и гермодрейфа Объективна  линза имеет корпус магнигопровода с нижним и верхним полюсными наконечниками ос 2 нование каретки столика объемов с ооъек тодержателем, дпа распсппженны вэо им но перпендикул рны) п ч о с к о с г ч х- Г образных рычага взаиг оцейстп ющ 1 с микровинтами и атушку возбуждытч Ос нование карртки жосгко з крепл но на них нем полюсном наконечнике и отдетено зазорами от др/ги частей линзы упоры вертикальных рпчагон шарнир но св зань1 с кареткой столика объккгор а вторые уп 1ры с основанием Между м|- ровинтами и горизонтальными плечами оы чагов введены дополнительны 5 опоры качени  Рассто ни  от оси ли 3ы цо ЦРЩ DOB шарниров упоров вертик то ы рычагов одинаковы а основание каретм объектодержател и рычаги РЫ ЮЛНРНЫ ил материалов с одинаковыми к эФчнып. лт ми температурною par lunp ji .i 1 1 з п (р ли 2 ил С/) с

Description

Изобретение относитс  к технике злек тронно-зондовых усгроиств дл  формировани  и наблюдени  изображени  объектов, в частности к конструкции объективной линзы электронного микроскопа.

Целью изобретени   вл етс  повышение разрешающей способности за счет снижени  вли ни  вибрации и меньшение вли ни  термодрейфа

На фиг 1 показана линза, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг 1

Объективна  линза содержит магнито- провод 1 с нижним 2 и верхним 3 полюсными наконечниками основание А каретки 5 столика объектов с объектодержателем 6, два расположенных во взаимно перпендикул рных плоскост х Г-образных рычага 7. первые упоры вертикальных плеч которых

св заны при помощи шарниров 8 с кареткой 5, а вторые упоры при помощи шарниров 8 - с основанием 4 каре1 ки 5, которое жест ко соединено с нижним полюсным наконечником 2 Рычаги 7 привод тс  в движение микровинтами 9 В корпусе магнигопровода 1 установлены натушки 10 возбуждени  Горизонтальные пле (и Г-образных рычаюв 7 через опоры 11 качени  опираютс  на микровинты 9 Торец и нижн   плоскость основани  4 каретки 5 отделены зазорами 12 и 13 от внутренней стенки корпуса магнит- провода 1 и катушки 10 возбуждени  Каретка 5 установлена из опоры 14 скольжени  Пружина 15 прижимает рычаги 7 через опору 11 качени  к микровинтлм 9 Пружина 16 (фиг. 2) прижимает каретку 5 столика к рычагам 7. Рассто ни  RK и ROOT оси магнитоо ел

00

о

ю

CJ1

провода 1 до центров шарниров 8 по каретке 5 и по основанию 4 соответственно одинаковы. Основание 4„ каретка 5 столика объектов, объектодержатель 6 и Г-образные рычаги 7 выполнены из материалов с одинаковым коэффициентом температурного рас- ширени , например из бериллиевой бронзы, титана и других немагнитных металлов или сплавов.

Объективна  линза функционирует следующим образом.

При вращении одного из микровинтов 9 он упираетс  через опору 11 качени  в свободный конец горизонтального плеча рычага 7, перемещаемого в вертикальном направлении, поворачива  весь рычаг 7 вокруг шарнира R, установленного на основании Л столика объектов. При этом вертикальное плечо рычага 7 через второй шарнир 8 смещает каретку 5 столика объектов в горизонтальном направлени. Пружина 15 обеспечивает посто нное безлюфтовое прижатие рычага 7 через опору 11 качени  к микровинту 9. Пружина 16 прижимает ка ретку 5 к ръ.агам 7 и обеспе - .шает безлюфтовый ход каретки 5 вс,.ед за ходом рычагов 7.

Размещение шарниров 8 на ос овании 4 столика объектов и введение опор 11 качени  между рычагом 7 и микровинтом 9 обеспечивает практически полную м паническую разв зку каретки 5 в горизонтальном направлении от смещени  микровинтов 9 из-за деформаций и термического расширени  корпуса магнитопрово- да 1 благодар  свободному перекатыванию рычагов 7 на опорах 11 качени  по торцам микровитов 9.

При вибраци х происходит изгиб внешних стенок магнитопровода объективной линзы и смещение относительно центральной недеформируемой части линзы, на которой размещен нижний полюсный наконечник. Перенос точек опор рычагов 7 с внешнего магнитопровода в точку В (фиг. 2) на специально введенное основание 4, св занное непосредственно только с полюсным наконечником 2. а также введение перекатывающейс  в горизонтальном направлении шаровой опоры между рычагом 7 и микровинтом 9 практически полностью устран ет передачу движени  от магнитопровода к объектодержателю. Основание 4 не должно касатьс  других частей линзы и специально отделено от них зазорами . При равенстве рассто ний Rk Rotoiir. 1) от оси линзы до центров шарниров 8 первого и второго упоров вертикальных плеч рычагов и выполнении основани  каретки, объектодержател  и рычагов из материалов с одинаковым коэффициентом температурного расширени  дополнительно обеспечиваетс  компенсаци  термодрейфа. Это обусловлено тем, что температурные изменени  размеров каретки и основани  происход т в одном направлении, а центры их остаютс  неподвижными друг относительно

друга.

При этом основание должно быть жестко св зано по периметру с нижним полюсным наконечником 2, так как в противном случае из-за их различного теплового расширени  возникает неконтролируемый термодрейф .

Claims (2)

1. Объективна  линза электронного

микроскопа, содержаща  корпус магнитопровода с нижним и верхним полюсными наконечниками, основание каретки столика объектов с .5ъектодержателем, два распо лсженных но взаимно перпендикул рных

плоскост  : Г-образных рычага, первые упоры вертикальных плеч которых шарнирно св заны с кареткой, взаимодействующие с горизонтальными плечами рычагов микровинты и катушку возбуждени , отличающ а   с   тем, что, с целью повышени  разрешающей способности за счет снижени  вли ни  вибрации, между микровинтами и горизонтальными плечами рычагов введены опоры качени , при этом вторые

упоры вертикальных плеч рычагов шарнирно св заны с основанием каретки, которое жестко соединено с нижним полюсным наконечником и отделено зазорами от корпуса магнитопровода и катушки возбуждени .

2. Линза по п. 1, отличающа с 

тем, что, с целью уменьшени  вли ни  термодрейфа , рассто ни  от оси линзы до центров шарниров первого и второго упоров вертикальных плеч рычагов одинаковы, а

основание, каретка столика объектов, объектодержатель и рычаги выполнены из материалов с одинаковым коэффициентом температурного расширени .

Фиг.1