SU1644551A1 - Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий - Google Patents

Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий

Info

Publication number
SU1644551A1
SU1644551A1 SU4485201/21A SU4485201A SU1644551A1 SU 1644551 A1 SU1644551 A1 SU 1644551A1 SU 4485201/21 A SU4485201/21 A SU 4485201/21A SU 4485201 A SU4485201 A SU 4485201A SU 1644551 A1 SU1644551 A1 SU 1644551A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
coats
unit
cathode
ion
tool
Prior art date
Application number
SU4485201/21A
Other languages
English (en)
Inventor
И.М. Питиримов
Н.И. Нефедов
Л.А. Чиненков
И.В. Рубанов
Ю.И. Калинин
В.А. Скуднов
Original Assignee
И.М. Питиримов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by И.М. Питиримов filed Critical И.М. Питиримов
Priority to SU4485201/21A priority Critical patent/SU1644551A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1644551A1 publication Critical patent/SU1644551A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к устройствам нанесения износостойких покрытий ионно - плазменным методом преимущественно на мелкоразмерный прецизионный инструмент. Целью изобретения является улучшение качества покрытий путем уменьшения капельной фазы. Устройство содержит вакуумную камеру источник ускорения ионов, имеющий катод 2, поджигающий электрод 3 и держатель 4 инструмента. На камере размещена стабилизирующая электромагнитная катушка 5, электромагнитная фокусирующая катушка 6. Реактивный газ (азот) подается с помощью натекателя 7. Экран 8 является одновременно анодом и выполнен в виде полого цилиндра, внутри которого размещен мелкоразмерный инструмент 10. Блок 9 служит для подачи отрицательного потенциала на инструмент 10. На поджигающий электрод 3 подается напряжение от блока 11. Дуговой разряд между катодом 2 и экраном 8 питается от блока 12. Стойкость обрабатываемого инструмента увеличиваетя в 2,2 - 2,3 раза. 1 ил.
SU4485201/21A 1988-07-29 1988-07-29 Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий SU1644551A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4485201/21A SU1644551A1 (ru) 1988-07-29 1988-07-29 Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4485201/21A SU1644551A1 (ru) 1988-07-29 1988-07-29 Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1644551A1 true SU1644551A1 (ru) 1996-05-20

Family

ID=60530217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4485201/21A SU1644551A1 (ru) 1988-07-29 1988-07-29 Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1644551A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2661162C1 (ru) * 2017-08-18 2018-07-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Установка для ионно-плазменного модифицирования и нанесения покрытий на моноколеса с лопатками
RU2682741C1 (ru) * 2017-12-22 2019-03-21 Научно-производственная Ассоциация "Технопарк авиационных технологий" (НПА "Технопарк АТ") Способ ионно-имплантационной обработки лопаток рабочего моноколеса компрессора из титановых сплавов
RU2685893C1 (ru) * 2018-05-08 2019-04-23 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ упрочнения лопаток блиска из легированных сталей

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2661162C1 (ru) * 2017-08-18 2018-07-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Установка для ионно-плазменного модифицирования и нанесения покрытий на моноколеса с лопатками
RU2682741C1 (ru) * 2017-12-22 2019-03-21 Научно-производственная Ассоциация "Технопарк авиационных технологий" (НПА "Технопарк АТ") Способ ионно-имплантационной обработки лопаток рабочего моноколеса компрессора из титановых сплавов
RU2685893C1 (ru) * 2018-05-08 2019-04-23 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ упрочнения лопаток блиска из легированных сталей

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5503725A (en) Method and device for treatment of products in gas-discharge plasma
EP0396603B1 (en) Procedure and apparatus for the coating of materials by means of a pulsating plasma beam
WO2002078041A3 (en) Neutral particle beam processing apparatus
EP0838840A3 (en) Pulsed plate plasma implantation method and apparatus
WO2002078043A3 (en) Beam processing apparatus
EP0885981A3 (de) Verfahren und Anlage zum Behandeln von Substraten mittels Ionen aus einer Niedervoltbogenentladung
EP0432528A3 (en) Process for the production of hard carbon layers and apparatus for carrying out the process
US4461954A (en) Ion-processing method and apparatus
GB1154471A (en) Polishing and Figuring of Refractory Dielectric Materials
WO2002078407A3 (en) Neutral particle beam processing apparatus
SU1644551A1 (ru) Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий
SE431473B (sv) Anordning for paforande av beleggningar i vakuum
RU2187576C2 (ru) Установка для нанесения защитных покрытий
AU2001242287A1 (en) Method and device for plasma-treating the surface of substrates by ion bombardment
EP0099725A3 (en) High pressure, non-local thermal equilibrium arc plasma generating apparatus for deposition of coatings upon substrates
CA2029505A1 (fr) Torche a plasma a injection non refroidie de gaz plasmagene
SU751158A1 (ru) Способ ионной цементации стальных деталей
ATE110515T1 (de) Plasmabrenner mit elektromagnetischer spule zur rotierung des lichtbogens.
RU2058428C1 (ru) Устройство для нанесения покрытий в вакууме
RU2116707C1 (ru) Устройство для создания низкотемпературной газоразрядной плазмы
RU1812239C (ru) Способ обработки металлических изделий в вакууме
KR100188270B1 (ko) 이온 플레이팅용 이온 혼합 쏘스 장치
RU2711067C1 (ru) Способ ионного азотирования в скрещенных электрических и магнитных полях
SU1751224A1 (ru) Устройство дл нанесени покрытий в вакууме
RU2061092C1 (ru) Установка для нанесения покрытий