SU1644551A1 - Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий - Google Patents
Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытийInfo
- Publication number
- SU1644551A1 SU1644551A1 SU4485201/21A SU4485201A SU1644551A1 SU 1644551 A1 SU1644551 A1 SU 1644551A1 SU 4485201/21 A SU4485201/21 A SU 4485201/21A SU 4485201 A SU4485201 A SU 4485201A SU 1644551 A1 SU1644551 A1 SU 1644551A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- coats
- unit
- cathode
- ion
- tool
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к устройствам нанесения износостойких покрытий ионно - плазменным методом преимущественно на мелкоразмерный прецизионный инструмент. Целью изобретения является улучшение качества покрытий путем уменьшения капельной фазы. Устройство содержит вакуумную камеру источник ускорения ионов, имеющий катод 2, поджигающий электрод 3 и держатель 4 инструмента. На камере размещена стабилизирующая электромагнитная катушка 5, электромагнитная фокусирующая катушка 6. Реактивный газ (азот) подается с помощью натекателя 7. Экран 8 является одновременно анодом и выполнен в виде полого цилиндра, внутри которого размещен мелкоразмерный инструмент 10. Блок 9 служит для подачи отрицательного потенциала на инструмент 10. На поджигающий электрод 3 подается напряжение от блока 11. Дуговой разряд между катодом 2 и экраном 8 питается от блока 12. Стойкость обрабатываемого инструмента увеличиваетя в 2,2 - 2,3 раза. 1 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4485201/21A SU1644551A1 (ru) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4485201/21A SU1644551A1 (ru) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1644551A1 true SU1644551A1 (ru) | 1996-05-20 |
Family
ID=60530217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4485201/21A SU1644551A1 (ru) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1644551A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2661162C1 (ru) * | 2017-08-18 | 2018-07-12 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Установка для ионно-плазменного модифицирования и нанесения покрытий на моноколеса с лопатками |
RU2682741C1 (ru) * | 2017-12-22 | 2019-03-21 | Научно-производственная Ассоциация "Технопарк авиационных технологий" (НПА "Технопарк АТ") | Способ ионно-имплантационной обработки лопаток рабочего моноколеса компрессора из титановых сплавов |
RU2685893C1 (ru) * | 2018-05-08 | 2019-04-23 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ упрочнения лопаток блиска из легированных сталей |
-
1988
- 1988-07-29 SU SU4485201/21A patent/SU1644551A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2661162C1 (ru) * | 2017-08-18 | 2018-07-12 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Установка для ионно-плазменного модифицирования и нанесения покрытий на моноколеса с лопатками |
RU2682741C1 (ru) * | 2017-12-22 | 2019-03-21 | Научно-производственная Ассоциация "Технопарк авиационных технологий" (НПА "Технопарк АТ") | Способ ионно-имплантационной обработки лопаток рабочего моноколеса компрессора из титановых сплавов |
RU2685893C1 (ru) * | 2018-05-08 | 2019-04-23 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ упрочнения лопаток блиска из легированных сталей |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5503725A (en) | Method and device for treatment of products in gas-discharge plasma | |
EP0396603B1 (en) | Procedure and apparatus for the coating of materials by means of a pulsating plasma beam | |
WO2002078041A3 (en) | Neutral particle beam processing apparatus | |
EP0838840A3 (en) | Pulsed plate plasma implantation method and apparatus | |
WO2002078043A3 (en) | Beam processing apparatus | |
EP0885981A3 (de) | Verfahren und Anlage zum Behandeln von Substraten mittels Ionen aus einer Niedervoltbogenentladung | |
EP0432528A3 (en) | Process for the production of hard carbon layers and apparatus for carrying out the process | |
US4461954A (en) | Ion-processing method and apparatus | |
GB1154471A (en) | Polishing and Figuring of Refractory Dielectric Materials | |
WO2002078407A3 (en) | Neutral particle beam processing apparatus | |
SU1644551A1 (ru) | Устройство для ионно-плазменного нанесения покрытий | |
SE431473B (sv) | Anordning for paforande av beleggningar i vakuum | |
RU2187576C2 (ru) | Установка для нанесения защитных покрытий | |
AU2001242287A1 (en) | Method and device for plasma-treating the surface of substrates by ion bombardment | |
EP0099725A3 (en) | High pressure, non-local thermal equilibrium arc plasma generating apparatus for deposition of coatings upon substrates | |
CA2029505A1 (fr) | Torche a plasma a injection non refroidie de gaz plasmagene | |
SU751158A1 (ru) | Способ ионной цементации стальных деталей | |
ATE110515T1 (de) | Plasmabrenner mit elektromagnetischer spule zur rotierung des lichtbogens. | |
RU2058428C1 (ru) | Устройство для нанесения покрытий в вакууме | |
RU2116707C1 (ru) | Устройство для создания низкотемпературной газоразрядной плазмы | |
RU1812239C (ru) | Способ обработки металлических изделий в вакууме | |
KR100188270B1 (ko) | 이온 플레이팅용 이온 혼합 쏘스 장치 | |
RU2711067C1 (ru) | Способ ионного азотирования в скрещенных электрических и магнитных полях | |
SU1751224A1 (ru) | Устройство дл нанесени покрытий в вакууме | |
RU2061092C1 (ru) | Установка для нанесения покрытий |