SU1642063A1

SU1642063A1 - Cryogenic condensate roughing-down pump

Info

Publication number: SU1642063A1
Application number: SU894675880A
Authority: SU
Inventors: Георгий Иванович Сайдаль; Вадим Николаевич Столяров
Original assignee: Балашихинское научно-производственное объединение криогенного машиностроения им.40-летия Октября
Priority date: 1989-04-11
Filing date: 1989-04-11
Publication date: 1991-04-15

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики насоса и повысить его экономичность . В корпусе 1 с входным патрубком (П) 2 расположен сосуд (С) 4 дл хладагента , в котором размещен откачивающий элемент в виде трубок (Т) 5, объединенных коллектором (К) 6. К П 2 и К 6 подключен змеевик 8 с тепловым контактом соединенный со змеевиком 9, подключенным к верхней части С 4. Змеевики 8 и 9 образуют теплообменник дл охлаждени откачиваемого газа. Змеевик 8 снабжен сборником 10, в который стекает конденсат легкоконденсируемых компонентов откачиваемого газа, конденсирующихс в змеевике 8. Основна масса откачиваемого газа конденсируетс в Т 5 и собираетс в сборнике 7 1 ил.The invention relates to vacuum technology and improves pumping characteristics of the pump and improves its efficiency. In the housing 1 with the inlet pipe (P) 2 there is a vessel (C) 4 for the refrigerant in which the pumping element is placed in the form of tubes (T) 5 connected by a collector (K) 6. P 2 and K 6 are connected to a heat coil 8 The contact is connected to a coil 9 connected to the upper part of C 4. The coils 8 and 9 form a heat exchanger for cooling the pumped gas. The coil 8 is provided with a collector 10, into which the condensate of the easily condensable components of the evacuated gas, which condenses in the coil 8, flows. The bulk of the pumped gas is condensed in T 5 and collected in the collector 7 1 Il.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям форвакуумных крионасосов.The invention relates to vacuum equipment, namely to the designs of fore-vacuum cryopumps.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик и повышение экономичности.The purpose of the invention is the improvement of pumping characteristics and increased efficiency.

На чертеже представлена схема насоса.The drawing shows a diagram of the pump.

В корпус 1 с входным патрубком 2 расположен с образованием кольцевого зазора 3 сосуд 4 для хладагента с размещенным в нем откачивающим элементом в виде набора параллельных трубок 5, объединенных в верхней части входным коллектором 6. Сборник 7 жидкого конденсата установлен под трубами 5. Теплообменник предварительного охлаждения откачиваемого газа выполнен в виде двух трубчатых змеевиков 8 и 9, соединенных друг с другом с тепловым контактом и расположенных в кольцевом зазоре 3, причем змеевик 8 подключен к входному патрубку 2 и входному коллектору 6 и снабжен дополнительным сборником 10 жидкого конденсата, расположенным в зоне входного патрубка 2, а один из концов змеевика 9 подключен к верхней части сосуда 4 для хладагента. Кроме того, другой конец змеевика 9 может иметь выход в атмосферу или подключаться к вакуумному насосу для переохлаждения хладагента.A vessel 4 for refrigerant with a pumping element placed in it in the form of a set of parallel tubes 5, united in the upper part by an inlet manifold 6. A condensate collector 7 is installed under the pipes 5. A pre-cooling heat exchanger is located in the housing 1 with the inlet 2; it forms an annular gap 3; the pumped gas is made in the form of two tubular coils 8 and 9, connected to each other with a thermal contact and located in the annular gap 3, and the coil 8 is connected to the inlet pipe 2 and the input collector yell 6 and is provided with an additional liquid condensate collector 10, located in the inlet zone 2, and one end of the coil 9 is connected to the upper portion of the container 4 to the coolant. In addition, the other end of the coil 9 can be vented to the atmosphere or connected to a vacuum pump to cool the refrigerant.

Насос работает следующим образом.The pump operates as follows.

В сосуд 4 подается жидкий хладагент, охлаждающий трубки 5 откачивающего элемента. Откачиваемый газ через входной патрубок 2 поступает в змеевик 8 и охлаждается в нем вследствие теплообмена с парами хладагента, отводящимися по змеевикуA liquid refrigerant is supplied to the vessel 4, cooling the tubes 5 of the pumping element. The pumped gas through the inlet pipe 2 enters the coil 8 and cools in it due to heat exchange with refrigerant vapor discharged along the coil

9. Легкоконденсируемые компоненты откачиваемого газа конденсируются в змеевике 8 и в виде жидкого конденсата стекают в дополнительный сборник 10. Основное количество откачиваемого газа поступает в коллектор 6 и конденсируется в трубках 5, стекая 5 в виде жидкого конденсата в сборник 7. Для понижения предельного давления, достигаемого насосом, пары хладагента из сосуда 4 могут откачиваться внешним насосом, обеспечивая снижение температуры хладагента.9. The easily condensable components of the pumped gas are condensed in the coil 8 and flow into the additional collector in the form of liquid condensate 10. The bulk of the pumped gas enters the manifold 6 and condenses in the tubes 5, flowing 5 in the form of liquid condensate to the collector 7. To reduce the ultimate pressure, achieved by the pump, the refrigerant vapor from the vessel 4 can be pumped out by an external pump, providing a reduction in the temperature of the refrigerant.

Обеспечение встречных потоков откачи¹θ ваемого газа и паров хладагента позволяет наиболее эффективно использовать энтальпию паров, в результате повышается экономичность насоса.Providing oncoming flows of the evacuated ¹ θ of the injected gas and refrigerant vapors makes it possible to use the vapor enthalpy most effectively, as a result, the pump efficiency is increased.

Claims

A cryogenic condensation fore-vacuum pump containing a housing with an inlet pipe located in the housing with the formation of an annular gap vessel for ² θ refrigerant with a pumping element placed in it in the form of a set of parallel tubes combined in the upper part with an inlet manifold, a liquid condensate collector mounted under the tubes; and 25 a heat exchanger for pre-cooling the evacuated gas, characterized in that, in order to improve efficiency, the heat exchanger is made in the form of two tubular coils connected to each other with a thermal contact and located in a 30 annular gap, one of the coils being connected to the inlet pipe and the inlet pipe the collector and is equipped with an additional liquid condensate collector located in the area of the inlet pipe, and one of the ends of the other coil is connected to the upper part of the refrigerant vessel.